JPH03201450A - 半導体試験装置 - Google Patents
半導体試験装置Info
- Publication number
- JPH03201450A JPH03201450A JP34021589A JP34021589A JPH03201450A JP H03201450 A JPH03201450 A JP H03201450A JP 34021589 A JP34021589 A JP 34021589A JP 34021589 A JP34021589 A JP 34021589A JP H03201450 A JPH03201450 A JP H03201450A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- card
- comparator
- driver
- pinele
- spare
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体の検査に用いる半導体試験装置に関す
るものである。
るものである。
〔従来の技術〕。
第２図は従来の半導体試験装置におけろ信号を供給する
ピンエレカード（ドライバーカード／コンパレータカー
ドを通称する）とテストボードとの関係を示す図である
。図において、（ｌ）はピンエレカード、（２）はテス
トボード、（３）は測定用ソケット、（４１はテストボ
ード（２）上に設置された測定用ソケッｌ−ｆ３１を経
由してピンエレカード（１）からの信号により検査され
るＩＣデバイスである。
ピンエレカード（ドライバーカード／コンパレータカー
ドを通称する）とテストボードとの関係を示す図である
。図において、（ｌ）はピンエレカード、（２）はテス
トボード、（３）は測定用ソケット、（４１はテストボ
ード（２）上に設置された測定用ソケッｌ−ｆ３１を経
由してピンエレカード（１）からの信号により検査され
るＩＣデバイスである。
次に動作について説明する。ＩＣデバイス（４）は複数
のリード足を持ち、このリード足に信号を与えることに
より検査が行われろ。そして、各リード足は測定用ソケ
ッＩ−（３）が設置されたテストボード（２）上の配線
によりｌっのピンエレカード（１）と接続される。従っ
て、ＩＣデバイス（４）は各リードに対応したピンエレ
カード（１）からの信号によって検査される。
のリード足を持ち、このリード足に信号を与えることに
より検査が行われろ。そして、各リード足は測定用ソケ
ッＩ−（３）が設置されたテストボード（２）上の配線
によりｌっのピンエレカード（１）と接続される。従っ
て、ＩＣデバイス（４）は各リードに対応したピンエレ
カード（１）からの信号によって検査される。
従来の半導体試験装置は以上のように構成されていたの
で、ピンエレカードが故障した場合にはＩＣデバイスの
検査は続けられず、検査を続けるには故障したピンエレ
カードを新しいピンエレカードと交換しなければならず
検査時間が減少するという問題点があった。
で、ピンエレカードが故障した場合にはＩＣデバイスの
検査は続けられず、検査を続けるには故障したピンエレ
カードを新しいピンエレカードと交換しなければならず
検査時間が減少するという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ピンエレカードが故障しても新しいピンエレ
カードと交換しないで予備のピンニレカードに切り替え
ることによりＩＣデバイスの検査を中断することなく続
けることのできる半導体試験装置を得ろことを目的とす
る。
たもので、ピンエレカードが故障しても新しいピンエレ
カードと交換しないで予備のピンニレカードに切り替え
ることによりＩＣデバイスの検査を中断することなく続
けることのできる半導体試験装置を得ろことを目的とす
る。
この発明に係る半導体試験装置は、正規のピンエレカー
ドと自由に切り替わって機能する予備のピンエレカード
とその切り替えを行うビンセレクタ機構を設けたもので
ある。
ドと自由に切り替わって機能する予備のピンエレカード
とその切り替えを行うビンセレクタ機構を設けたもので
ある。
この発明におけるビンセレクタは、正規のピンエレカー
ドが故障した場合これを切り離しその代わりに予備のピ
ンエレカードを接続させ、そしてこの予備のピンエレカ
ードは正規のピンエレカードの代替品として設置されそ
れと同等の機能を持つものである。
ドが故障した場合これを切り離しその代わりに予備のピ
ンエレカードを接続させ、そしてこの予備のピンエレカ
ードは正規のピンエレカードの代替品として設置されそ
れと同等の機能を持つものである。
〔発明の実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例であるＩＣデバイスを検査する
状態を示す図である。図において、（１）は正規のピン
エレカード、（２）はテストボード。
図はこの発明の一実施例であるＩＣデバイスを検査する
状態を示す図である。図において、（１）は正規のピン
エレカード、（２）はテストボード。
（３）は測定用ソケット、（４）はＩＣデバイス、（５
）は予備のピンエレカード、（６）は正規のピンエレカ
ード（１）のテストボード（２）への接続及び切り離し
を行うリレー、（７）は予備のピンエレカード（５）の
テストボード（２）への接続および切り離しを行うリレ
ー、（８）Ｌよりレー（６１（７）により構成されプロ
グラムによって自由にピンエレカード（１１（５１とテ
ストボード（２）との接続および切り離しを行うビンセ
レクタである。
）は予備のピンエレカード、（６）は正規のピンエレカ
ード（１）のテストボード（２）への接続及び切り離し
を行うリレー、（７）は予備のピンエレカード（５）の
テストボード（２）への接続および切り離しを行うリレ
ー、（８）Ｌよりレー（６１（７）により構成されプロ
グラムによって自由にピンエレカード（１１（５１とテ
ストボード（２）との接続および切り離しを行うビンセ
レクタである。
次に上記実施例の動作を説明する。通常ＩＣデバイス（
４）を検査するときはビンセレクタ（８）内のリレー（
６）はＯＮ状態、リレー（７）はＯＦＦ状態になってい
る。そこで、正規のピノニレカード＋１１からの信号は
リレー（６）、テストボード（２）そして測定用ソケッ
ｌ−（３１を経由してＩＣデバイス（４）に与えられ検
査が行われる。次に正規のピンエレカードｆｉｌのうち
の１つが故障した場合、それに対応したリレー（６）は
ＯＦＦ状態になる。予備のピンエレカード（５）に繁が
っているリレー（７）のうち故障したピンエレカードに
対応したリレーはＯＮ状態になる。これにより故障した
ピンエレカードに代わって予備のピンエレカード（５）
から従来と同じ信号をＩＣＣデイイス（４）に与えるこ
とができる。
４）を検査するときはビンセレクタ（８）内のリレー（
６）はＯＮ状態、リレー（７）はＯＦＦ状態になってい
る。そこで、正規のピノニレカード＋１１からの信号は
リレー（６）、テストボード（２）そして測定用ソケッ
ｌ−（３１を経由してＩＣデバイス（４）に与えられ検
査が行われる。次に正規のピンエレカードｆｉｌのうち
の１つが故障した場合、それに対応したリレー（６）は
ＯＦＦ状態になる。予備のピンエレカード（５）に繁が
っているリレー（７）のうち故障したピンエレカードに
対応したリレーはＯＮ状態になる。これにより故障した
ピンエレカードに代わって予備のピンエレカード（５）
から従来と同じ信号をＩＣＣデイイス（４）に与えるこ
とができる。
なわ、上記実施例では予備のピンエレカード（５）が１
枚だけで構成されている場合を示しであるが、システム
に応じて２枚以上複数枚でもよく、それに合わせて代替
できる故障した正規のピンエレカード（１１も１枚だけ
でなく何枚でもよい。また、上記実施例ではビンセレク
タ（８）はリレー（６１（７１で構成されている場合を
示したが、ＦＥＴ等の電気的な０Ｎ１０ＦＦ状態が作り
出せる素子で構成してもよい。
枚だけで構成されている場合を示しであるが、システム
に応じて２枚以上複数枚でもよく、それに合わせて代替
できる故障した正規のピンエレカード（１１も１枚だけ
でなく何枚でもよい。また、上記実施例ではビンセレク
タ（８）はリレー（６１（７１で構成されている場合を
示したが、ＦＥＴ等の電気的な０Ｎ１０ＦＦ状態が作り
出せる素子で構成してもよい。
以上のようにこの発明によれば、ピンエレカードが故障
してもこれを交換することなく予備のピンエレカードに
切り替えることができろように構成したので、ピンエレ
カードが故障してもＩＣデバイスの検査の中断を不要と
する効果がある。
してもこれを交換することなく予備のピンエレカードに
切り替えることができろように構成したので、ピンエレ
カードが故障してもＩＣデバイスの検査の中断を不要と
する効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるＩＣデバイスを検査
する状態を示す図、第２図は従来のＩＣデバイスを検査
する状態を示す図である。 図において、（１）はピンエレカード、（２）はテスト
ボード、（３）は測定用ソケット、（４）はＩＣデバイ
ス。 （５）は予備のピンエレカード、 ＋６）［７）はリレ
ー、（８）はビンセレクタを示す。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
する状態を示す図、第２図は従来のＩＣデバイスを検査
する状態を示す図である。 図において、（１）はピンエレカード、（２）はテスト
ボード、（３）は測定用ソケット、（４）はＩＣデバイ
ス。 （５）は予備のピンエレカード、 ＋６）［７）はリレ
ー、（８）はビンセレクタを示す。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- テストボードに信号を供給するピンエレカード（ドラ
イバーカード／コンパレータカード）とテストボードの
間にプログラムにより予備のピンエレカードに切り替え
ることのできるピンセレクタを備えたことを特徴とする
半導体試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34021589A JPH03201450A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 半導体試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34021589A JPH03201450A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 半導体試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03201450A true JPH03201450A (ja) | 1991-09-03 |
Family
ID=18334797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34021589A Pending JPH03201450A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 半導体試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03201450A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010125793A1 (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-04 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置および試験方法 |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP34021589A patent/JPH03201450A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010125793A1 (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-04 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置および試験方法 |
| JPWO2010125793A1 (ja) * | 2009-04-28 | 2012-10-25 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置および試験方法 |
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