JPH0321047B2 - - Google Patents
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- JPH0321047B2 JPH0321047B2 JP58127286A JP12728683A JPH0321047B2 JP H0321047 B2 JPH0321047 B2 JP H0321047B2 JP 58127286 A JP58127286 A JP 58127286A JP 12728683 A JP12728683 A JP 12728683A JP H0321047 B2 JPH0321047 B2 JP H0321047B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- output
- signal
- displacement
- oscillation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は差動トランスを用いた変位測定装置に
関する。
関する。
測長機や計量機などのように差動トランスを用
いた装置では、測定すべき長さや重量などに比例
させて差動トランスのコアを直線方向に変位さ
せ、この変位量を電気信号に変換して長さや重量
などを測定している。しかしてこのような測定装
置では極めて高い測定精度が要求されるため、温
度変化などによる差動トランスや他の電子回路の
特性の変化が大きな測定誤差を生ずる原因となつ
ていた。
いた装置では、測定すべき長さや重量などに比例
させて差動トランスのコアを直線方向に変位さ
せ、この変位量を電気信号に変換して長さや重量
などを測定している。しかしてこのような測定装
置では極めて高い測定精度が要求されるため、温
度変化などによる差動トランスや他の電子回路の
特性の変化が大きな測定誤差を生ずる原因となつ
ていた。
この対策として、従来、例えば第１図に示すよ
うに差動トランス１の１次コイル側に直列にサー
ミスタ２を挿入して差動トランス１の温度による
感度変化を相殺する方法が用いられている。しか
し、この方法では、差動トランス１の特性とサー
ミスタ２の特性を一致させるのが困難なため充分
な温度補償ができず、また差動トランス１の１次
側に発振信号を印加する発振回路４や、出力信号
に増幅、検波あるいはＡ／Ｄ変換などの処理を行
なう変位量検出のための後段の電子回路３などの
温度による感度変化を何ら補償していないため、
測定精度が充分に保てなかつた。（なお図中５は
電子回路３の出力信号によつて変位量を表示する
表示器である。） また従来、第２図に示すように差動トランス１
の出力を、増幅、検波、Ａ／Ｄ変換などの後段の
変位量検出のための電子回路３とは別系統に取り
出して検波回路６で検波して直流電圧にし、これ
を予め設定した基準電圧Ｅと比較回路７で比較
し、両者が一致するように制御信号を発振回路４
に出力して発振電を制御する方法も用いられてい
る。しかし、この方法では変位量検出のための電
子回路３の感度変化を補償できないため、測定精
度が充分に保てなかつた。
うに差動トランス１の１次コイル側に直列にサー
ミスタ２を挿入して差動トランス１の温度による
感度変化を相殺する方法が用いられている。しか
し、この方法では、差動トランス１の特性とサー
ミスタ２の特性を一致させるのが困難なため充分
な温度補償ができず、また差動トランス１の１次
側に発振信号を印加する発振回路４や、出力信号
に増幅、検波あるいはＡ／Ｄ変換などの処理を行
なう変位量検出のための後段の電子回路３などの
温度による感度変化を何ら補償していないため、
測定精度が充分に保てなかつた。（なお図中５は
電子回路３の出力信号によつて変位量を表示する
表示器である。） また従来、第２図に示すように差動トランス１
の出力を、増幅、検波、Ａ／Ｄ変換などの後段の
変位量検出のための電子回路３とは別系統に取り
出して検波回路６で検波して直流電圧にし、これ
を予め設定した基準電圧Ｅと比較回路７で比較
し、両者が一致するように制御信号を発振回路４
に出力して発振電を制御する方法も用いられてい
る。しかし、この方法では変位量検出のための電
子回路３の感度変化を補償できないため、測定精
度が充分に保てなかつた。
本発明は上記の欠点を改良し、充分な感度補償
ができるようにした変位測定装置．を提供するこ
とを目的としている。
ができるようにした変位測定装置．を提供するこ
とを目的としている。
以下、図面に基いて本発明の一実施例を説明す
る。
る。
第３図は本発明の変位測定装置の一実施例を示
すブロツク図である。
すブロツク図である。
同図において、１１は所定周波数と発振信号を
出力する発振回路、１２は測定すべき直線方向の
変位に比例してコア１２ａが変位する差動トラン
スであつて、発振回路１１の発振信号によつて１
次コイル１２ｂが励磁され、逆極性に接続された
２つの２次コイル１２ｃ，１２ｄからコア１２ａ
の変位に対応した出力電圧e1、e2をそれぞれ出力
する。１３は差動トランス１２の２次コイル１２
ｃ，１２ｄの出力電圧e1、e2の差電圧e1−e2を２
次コイル１３ｂに取り出す入力トランスであつ
て、入力トランス１３の１次コイル１３ａの中間
タツプからはe1とe2の平均電圧（e1＋e2）／２が
取り出される。１４は第１の切換スイツチで、入
力トランス１３の２次コイル１３ｂからの出力端
子イと１次コイル１３ａの中間タツプからの出力
端子ロとを切換えるものである。１５は切換スイ
ツチ１４を介した端子イ又はロからの出力信号を
増幅する交流増幅器、１６は交流増幅器１５の出
力信号を検波して直流信号にする検波器、１７は
検波器１６の出力信号を増幅する直流増幅器、１
８は直流増幅器１７の出力信号をデイジタル信号
に変換するＡ／Ｄ変換器である。１９は第２の切
換スイツチで、前記第１の切換スイツチ１４に連
動してＡ／Ｄ変換器１８の出力信号を端子イ，ロ
に振り分ける。２０は変位出力回路で、端子イに
接続され、Ａ／Ｄ変換器１８の出力信号を変位信
号として出力する。２１は端子ロに接続され、
Ａ／Ｄ変換器１８の出力信号をアナログ信号に変
換するＤ／Ａ変換器である。２２はＤ／Ａ変換器
２１の出力信号を予め設定した基準電圧Ｅと比較
して両者が等しくなるように制御信号を出力する
比較回路、２３は比較回路２２の制御信号を記憶
して発振回路１１へ該制御信号を出力して発振回
路１１の発振信号の振幅を制御する制御信号記憶
回路である。
出力する発振回路、１２は測定すべき直線方向の
変位に比例してコア１２ａが変位する差動トラン
スであつて、発振回路１１の発振信号によつて１
次コイル１２ｂが励磁され、逆極性に接続された
２つの２次コイル１２ｃ，１２ｄからコア１２ａ
の変位に対応した出力電圧e1、e2をそれぞれ出力
する。１３は差動トランス１２の２次コイル１２
ｃ，１２ｄの出力電圧e1、e2の差電圧e1−e2を２
次コイル１３ｂに取り出す入力トランスであつ
て、入力トランス１３の１次コイル１３ａの中間
タツプからはe1とe2の平均電圧（e1＋e2）／２が
取り出される。１４は第１の切換スイツチで、入
力トランス１３の２次コイル１３ｂからの出力端
子イと１次コイル１３ａの中間タツプからの出力
端子ロとを切換えるものである。１５は切換スイ
ツチ１４を介した端子イ又はロからの出力信号を
増幅する交流増幅器、１６は交流増幅器１５の出
力信号を検波して直流信号にする検波器、１７は
検波器１６の出力信号を増幅する直流増幅器、１
８は直流増幅器１７の出力信号をデイジタル信号
に変換するＡ／Ｄ変換器である。１９は第２の切
換スイツチで、前記第１の切換スイツチ１４に連
動してＡ／Ｄ変換器１８の出力信号を端子イ，ロ
に振り分ける。２０は変位出力回路で、端子イに
接続され、Ａ／Ｄ変換器１８の出力信号を変位信
号として出力する。２１は端子ロに接続され、
Ａ／Ｄ変換器１８の出力信号をアナログ信号に変
換するＤ／Ａ変換器である。２２はＤ／Ａ変換器
２１の出力信号を予め設定した基準電圧Ｅと比較
して両者が等しくなるように制御信号を出力する
比較回路、２３は比較回路２２の制御信号を記憶
して発振回路１１へ該制御信号を出力して発振回
路１１の発振信号の振幅を制御する制御信号記憶
回路である。
次に上記実施例の動作を説明する。
差動トランス１２の１次コイル１２ｂは発振回
路１１からの発振信号によつて励磁され、２次コ
イル１２ｃ，１２ｄの出力電圧e1、e2はコア１２
ａの変位に対応して変化する。入力トランス１３
の２次コイル１３ｂには出力電圧e1−e2が生じ、
１次コイル１３ａの中間タツプには（e1＋e2）／
２が生じる。
路１１からの発振信号によつて励磁され、２次コ
イル１２ｃ，１２ｄの出力電圧e1、e2はコア１２
ａの変位に対応して変化する。入力トランス１３
の２次コイル１３ｂには出力電圧e1−e2が生じ、
１次コイル１３ａの中間タツプには（e1＋e2）／
２が生じる。
第１の切換スイツチ１４を介して、端子イ又は
ロから得られる出力信号は交流増幅器１５で増幅
され、検波器１６で検波されて直流信号にされ、
直流増幅器１７で増幅され、Ａ／Ｄ変換器１８で
デイジタル信号に変換される。第１、第２の切換
スイツチ１４，１９がイ側に接続されている場合
には、差電圧e1−e2の交流信号が上記のように増
幅、検波され、Ａ／Ｄ変換されて、変位信号とし
て変位出力回路２０から出力される。第１、第２
の切換スイツチ１４，１９がロ側に接続されてい
る場合には、平均電圧（e1＋e2）／２の交流信号
が同一の回路１５〜１８を経てＤ／Ａ変換器２１
でアナログ信号に変換され、比較回路２２で基準
電圧Ｅと比較され、両者が等しくなるように制御
信号が出力される。この制御信号は制御信号記憶
回路２３で記憶され、発振回路１１へ出力されて
発振信号の振幅を制御して発振電圧e0を制御す
る。
ロから得られる出力信号は交流増幅器１５で増幅
され、検波器１６で検波されて直流信号にされ、
直流増幅器１７で増幅され、Ａ／Ｄ変換器１８で
デイジタル信号に変換される。第１、第２の切換
スイツチ１４，１９がイ側に接続されている場合
には、差電圧e1−e2の交流信号が上記のように増
幅、検波され、Ａ／Ｄ変換されて、変位信号とし
て変位出力回路２０から出力される。第１、第２
の切換スイツチ１４，１９がロ側に接続されてい
る場合には、平均電圧（e1＋e2）／２の交流信号
が同一の回路１５〜１８を経てＤ／Ａ変換器２１
でアナログ信号に変換され、比較回路２２で基準
電圧Ｅと比較され、両者が等しくなるように制御
信号が出力される。この制御信号は制御信号記憶
回路２３で記憶され、発振回路１１へ出力されて
発振信号の振幅を制御して発振電圧e0を制御す
る。
周知の如く、差動トランス１２の２次コイル１
２ｃ，１２ｄの出力電圧e1、e2は、第４図に示す
ように、差動トランス１２のコア１２ａの変位に
対応してほぼ直線的に変化する。即ち、コア１２
ａが零点から上方へ（横軸の＋側）変位すると２
次コイル１２ｃの出力電圧e1は増加し、２次コイ
ル１２ｄの出力電圧e2は減少する。コア１２ａが
下方へ変位するとe1は減少し、e2は増加する。こ
のため、差電圧e1−e2は零点から上方、下方への
変位にほぼ比例して増加するが、平均電圧（e1＋
e2）／２はコア１２の変位に無関係にほぼ一定に
なる。
２ｃ，１２ｄの出力電圧e1、e2は、第４図に示す
ように、差動トランス１２のコア１２ａの変位に
対応してほぼ直線的に変化する。即ち、コア１２
ａが零点から上方へ（横軸の＋側）変位すると２
次コイル１２ｃの出力電圧e1は増加し、２次コイ
ル１２ｄの出力電圧e2は減少する。コア１２ａが
下方へ変位するとe1は減少し、e2は増加する。こ
のため、差電圧e1−e2は零点から上方、下方への
変位にほぼ比例して増加するが、平均電圧（e1＋
e2）／２はコア１２の変位に無関係にほぼ一定に
なる。
しかして、温度変化などによつて差動トランス
１２の出力電圧e1、e2に変動が生じると、差電圧
e1−e2及び平均電圧（e1＋e2）／２も変動する。
そして、第４図に鎖線で示すようにe1、e2はコア
の変位に比例して増大するので、e1、e2の変動幅
ａもコアの変位に比例して増大し、このため差電
圧e1−e2の変動幅ｂもコアの変化に比例して増大
するが、平均電圧（e1＋e2）／２の変動幅ｃはコ
アの変位と無関係にほぼ一定になる。従つて、温
度の変化などが生じても平均電圧（e1＋e2）／２
の変動幅ｃを零にする方向に制御すれば差電圧e1
−e2の変動もなくなり、誤差の少ない変位信号が
得られる。また差動トランス１２以外にも、発振
回路１１、入力トランス１３、交流増幅器１５、
検波器１６、直流増幅器１７、Ａ／Ｄ変換器１８
なども温度変化などによつて感度変化を生ずる
が、平均電圧信号（e1＋e2）／２と差電圧信号e1
−e2と全く同一の回路を経由するため、平均電圧
及び差電圧に関して同一比率の変動を生じさせる
ことになる。
１２の出力電圧e1、e2に変動が生じると、差電圧
e1−e2及び平均電圧（e1＋e2）／２も変動する。
そして、第４図に鎖線で示すようにe1、e2はコア
の変位に比例して増大するので、e1、e2の変動幅
ａもコアの変位に比例して増大し、このため差電
圧e1−e2の変動幅ｂもコアの変化に比例して増大
するが、平均電圧（e1＋e2）／２の変動幅ｃはコ
アの変位と無関係にほぼ一定になる。従つて、温
度の変化などが生じても平均電圧（e1＋e2）／２
の変動幅ｃを零にする方向に制御すれば差電圧e1
−e2の変動もなくなり、誤差の少ない変位信号が
得られる。また差動トランス１２以外にも、発振
回路１１、入力トランス１３、交流増幅器１５、
検波器１６、直流増幅器１７、Ａ／Ｄ変換器１８
なども温度変化などによつて感度変化を生ずる
が、平均電圧信号（e1＋e2）／２と差電圧信号e1
−e2と全く同一の回路を経由するため、平均電圧
及び差電圧に関して同一比率の変動を生じさせる
ことになる。
従つて、第２の切換スイツチ１９、Ｄ／Ａ変換
器２１を経た平均電圧信号を比較器２２で予め設
定した基準電圧Ｅと比較して両者が一致するよう
に制御信号を出力すれば、第１、第２の切換スイ
ツチ１４，１９をイ側に切換えた場合の差電圧信
号の変動が補正されて、変位出力回路２０に出力
される。
器２１を経た平均電圧信号を比較器２２で予め設
定した基準電圧Ｅと比較して両者が一致するよう
に制御信号を出力すれば、第１、第２の切換スイ
ツチ１４，１９をイ側に切換えた場合の差電圧信
号の変動が補正されて、変位出力回路２０に出力
される。
従つて、測定ごとに、あるいは一定測定回数ご
とに第１、第２の切換スイツチ１４，１９をロ側
に切換えて発振回路１１の振幅を制御することに
よつて温度変化などによる誤差を著しく減少させ
ることができる。
とに第１、第２の切換スイツチ１４，１９をロ側
に切換えて発振回路１１の振幅を制御することに
よつて温度変化などによる誤差を著しく減少させ
ることができる。
また第５図に示すように、測定対象の変位が著
しく大きく、コア１２ａの変位が大きい場合に
は、e1、e2、e1−e2、（e1＋e2）／２のいずれもあ
る変位より上では直線性が悪くなる。従つて、こ
のような場合にも（e1＋e2）／２の例えば第５図
にｄで示す曲線部分を直線部分d′となるように比
較回路２２から制御信号を出力すれば、差電圧信
号e1−e2の曲線部分ｆを直線部分f′となるように
することができるから、測定の非直線性による誤
差の補償も可能である。
しく大きく、コア１２ａの変位が大きい場合に
は、e1、e2、e1−e2、（e1＋e2）／２のいずれもあ
る変位より上では直線性が悪くなる。従つて、こ
のような場合にも（e1＋e2）／２の例えば第５図
にｄで示す曲線部分を直線部分d′となるように比
較回路２２から制御信号を出力すれば、差電圧信
号e1−e2の曲線部分ｆを直線部分f′となるように
することができるから、測定の非直線性による誤
差の補償も可能である。
なお上記実施例では制御信号を発振回路１１に
出力しているが、第２の切換スイツチ１９からの
出力電圧が一定になるように閉ループ制御すれば
同じ結果が得られるから、制御信号を交流増幅器
１５、検波器１６、直流増幅器１７、Ａ／Ｄ変換
器１８のいずれかに出力してもよい。
出力しているが、第２の切換スイツチ１９からの
出力電圧が一定になるように閉ループ制御すれば
同じ結果が得られるから、制御信号を交流増幅器
１５、検波器１６、直流増幅器１７、Ａ／Ｄ変換
器１８のいずれかに出力してもよい。
以上説明したように本発明の変位測定装置では
変位出力のための電子回路の最終段の出力と同じ
出力端子から得た出力に基づいて測定値補償のた
めの制御量を決定し、この制御量を記憶しておい
て、この記憶した制御量によつて、以後の測定を
制御するようにしたから、変位出力のための回路
全体の温度特性の直線性を補償することができ
る。
変位出力のための電子回路の最終段の出力と同じ
出力端子から得た出力に基づいて測定値補償のた
めの制御量を決定し、この制御量を記憶しておい
て、この記憶した制御量によつて、以後の測定を
制御するようにしたから、変位出力のための回路
全体の温度特性の直線性を補償することができ
る。
第１図及び第２図は従来の補償回路付き変位測
定装置を示すブロツク図、第３図は本発明の一実
施例を示すブロツク図、第４図及び第５図は差動
トランスのコアの変位に対する出力特性を示す図
である。 １１……発振回路、１２……差動トランス、１
４……第１の切換スイツチ、１７……直流増幅
器、１９……第２の切換スイツチ、２０……変位
出力回路、２２……比較回路、２３……制御信号
記憶回路。
定装置を示すブロツク図、第３図は本発明の一実
施例を示すブロツク図、第４図及び第５図は差動
トランスのコアの変位に対する出力特性を示す図
である。 １１……発振回路、１２……差動トランス、１
４……第１の切換スイツチ、１７……直流増幅
器、１９……第２の切換スイツチ、２０……変位
出力回路、２２……比較回路、２３……制御信号
記憶回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 所定周波数の発振信号を発生する発振回路
と、 該発振回路の発振信号によつて１次コイルが励
磁され、二つの２次コイルの出力電圧がコアの変
位に対応して変化する差動トランスと、 前記二つの２次コイルの出力電圧の差電圧信号
を出力する差電圧出力回路と、 前記差電圧信号を増幅検波する増幅検波回路
と、 前記差電圧信号についての前記増幅検波回路の
出力信号を受けて、これを前記コアの変位信号と
して出力する変位出力回路とを備えた変位測定装
置において、 前記二つの２次コイルの出力電圧の和電圧信号
を出力する和電圧出力回路と、 前記増幅検波回路への入力を、前記差電圧出力
回路と和電圧出力回路のいずれかに切換える第１
の切換スイツチと、 前記和電圧出力回路の出力を前記第１の切換ス
イツチによつて前記増幅検波回路へ入力させた場
合の前記増幅検波回路の出力信号を予め設定され
た基準電圧と比較して、前記発振回路へ制御信号
を出力する制御回路と、 前記増幅検波回路の出力を、前記変位出力回路
と前記制御回路のいずれかに前記第１の切換スイ
ツチに連動して切換える第２の切換スイツチと、 前記制御回路の制御信号を記憶する制御信号記
憶回路とを設け、 前記第１の切換スイツチを介して前記和電圧信
号出力回路の出力を入力したときの前記増幅検波
回路の出力信号を、前記第２の切換スイツチを介
して前記制御回路で受けて、このときの制御回路
の制御信号を前記制御信号記憶回路に記憶させた
後、前記第１切換スイツチを前記差電圧信号出力
回路へ切換えると共に、前記第２の切換スイツチ
を前記変位出力回路側へ切換えて、以後の変位測
定において前記制御信号記憶回路に記憶された制
御信号で前記発振回路を制御するようにしたこと
を特徴とする変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12728683A JPS6018701A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12728683A JPS6018701A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6018701A JPS6018701A (ja) | 1985-01-30 |
| JPH0321047B2 true JPH0321047B2 (ja) | 1991-03-20 |
Family
ID=14956211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12728683A Granted JPS6018701A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6018701A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2526597Y2 (ja) * | 1988-03-07 | 1997-02-19 | トヨタ自動車株式会社 | 差動変圧器型変位検出器 |
| US5066911A (en) * | 1989-04-07 | 1991-11-19 | Sundstrand Data Control, Inc. | Apparatus and method for sensing displacement using variations magnetic flux linkage |
| JP4852666B1 (ja) * | 2011-03-04 | 2012-01-11 | 株式会社マコメ研究所 | 変位センサ |
| JP2015184093A (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | 多摩川精機株式会社 | 直線型差動トランスセンサ装置及びその温度補正方法 |
| CN109870098A (zh) * | 2017-12-04 | 2019-06-11 | 北京自动化控制设备研究所 | 一种无人机舵系统位置检测方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5246748U (ja) * | 1975-09-30 | 1977-04-02 |
-
1983
- 1983-07-13 JP JP12728683A patent/JPS6018701A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6018701A (ja) | 1985-01-30 |
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