JPH0321075B2 - - Google Patents

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JPH0321075B2
JPH0321075B2 JP57177475A JP17747582A JPH0321075B2 JP H0321075 B2 JPH0321075 B2 JP H0321075B2 JP 57177475 A JP57177475 A JP 57177475A JP 17747582 A JP17747582 A JP 17747582A JP H0321075 B2 JPH0321075 B2 JP H0321075B2
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    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、大規模集積回路(LSI)デバイスを
試験するためのテスト・データのシーケンス装置
に関する。
一般に、100000個もの個別テスト信号が各LSI
ピンに与えられ、その各ピンから受けた信号を基
準信号と比較する。各ピンに対するテスト・デー
タ(テスト信号及び基準信号を含む)はそのピン
に専用の高速スタテイツク・ランダム・アクセ
ス・メモリに記憶される。スタテイツク・ランダ
ム・アクセス・メモリの容量は限定されるので、
テスト・データは大容量のダイナミツク・ランダ
ム・アクセス・メモリに記憶されるときがあり、
この場合必要によつてはグループでスタテイツ
ク・ランダム・アクセス・メモリに転送される。
スタテイツク・ランダム・アクセス・メモリに新
しいグループのテスト・データがロードされる度
毎に試験が休止される。
本発明は、概述すれば、各デバイスが多数のピ
ンを有するLSIデバイスを試験するテスト・デー
タの連続シーケンスを提供する装置であつて、各
ピンに関連してテスト・データを記憶する複数の
メモリ素子と、該メモリ素子よりも大容量で低速
のテスト・データを記憶する記憶素子と、前記メ
モリ素子の任意の1つからピンにテスト・データ
を選択的に送るテスト・シーケンス制御回路と、
前記記憶素子に記憶されたテスト・データの一部
をメモリ素子の任意の1つに選択的にロードする
再ロード回路(テスト・データをピンには与えな
い)と、から構成される装置である。
好適実施例において、メモリ素子はスタテイツ
クRAMから成り、記憶素子はダイナミツク
RAMから成る。記憶素子は、また、複数の記憶
副素子を有し、該記憶副素子を再ロードされるメ
モリ素子に周期的に反復して接続するスイツチン
グ回路が含まれ、アドレス情報を記憶副素子に各
サイクル毎に与えて記憶副素子に記憶されるテス
ト・データが各副素子の実効転送速度よりも高速
でメモリ素子に差し込まれそしてロードされる。
記憶副素子はダイナミツクRAMから成り、グル
ープ毎に結合される。テスト・データを記憶する
ための、大規模蓄積メモリが含まれ、また、大規
模蓄積メモリをしてテスト・データの一部をグル
ープの任意の1つに選択的にロードさせる大規模
蓄積スイツチング回路(メモリ素子にテスト・デ
ータを与えない)が含まれる。テスト・データは
記憶副素子からテスト・データがピンに送られる
速度よりも高速で再ロードされるメモリ素子にロ
ードされる。2つのメモリ素子があり、テスト・
シーケンス制御回路と再ロード回路をして第1の
メモリ素子からテスト・データを発送すると共に
第2のメモリ素子にロードし、第2のメモリ素子
からテスト・データを発送するとき第1のメモリ
素子にテスト・データをロードすることを交互に
行う制御装置が含まれる。
本発明は、スタテイツクRAMに再ロードする
ための休止を必要とせずに、テスト信号の長いシ
ーケンスを高速で連続して、そして経済的に伝送
することを可能にする。
本発明を以下実施例に従つて詳細に説明する。
第1図を参照すると、LSIデバイス試験装置が
示され、Aメモリ10及びBメモリ12(各4K
スタテイツクRAM)が被試験デバイス16の各
ピン14に対するテスト・データ(テスト信号、
基準値、関連のタイミング及びフオーマツト情報
を含む)を収納する。A及びBメモリ10,12
の出力は、ソース・セレクタ18(周知のマルチ
プレクサ)を介して、フオーマツト装置20(テ
スト信号の印加及び比較のフオーマツトを作りそ
してタイミングを決めるための、マルチプレクサ
を含む集積回路論理素子から成る)に接続され
る。該フオーマツト装置20は、2ウエイ・ライ
ン22によつて被試験デバイス16を保持するテ
スト・ステーシヨン24(ピン出力フオロアー及
び周知のピン・ドライバ回路を有する)に接続さ
れる。A及びBメモリ10,12の各々は、再ロ
ード制御回路30(マルチプレクサ)に接続され
る入力を有し、その制御回路の4つの入力は4つ
の64KダイナミツクRAM32(全体でCメモリ
34を構成し、テスト・データの一群を記憶す
る)に夫々接続される。ダイナミツクRAM32
の全体のアドレス入力はCアドレス・ライン36
によつてCアドレス発生器及び制御カウンタ38
(Cメモリ34をアドレス指定して再ロードを制
御する集積回路の論理及びタイミング回路を有す
る)に接続される。該Cアドレス発生器及び制御
カウンタ38は、また、制御ライン40によつて
再ロード制御回路に、制御ライン42によつて一
対のセレクタ44,46(マルチプレクサ)の制
御入力に、そしてCアドレス・ライン36によつ
てセレクタ44,46のデータ入力に、接続され
る。セレクタ44,46は、A及びBアドレス信
号発生器48,50(カウンタ、マルチプレクサ
及びエクスクルーセブORゲートから成る)に
夫々接続される他のデータ入力、及びA及びBア
ドレス・ライン52,54によつて夫々A及びB
メモリ10,12のアドレス入力に接続される出
力を有する。A及びBアドレス信号発生器48,
50と、Cアドレス発生器及び制御カウンタ38
はシーケンス制御RAM60(各々112ビツトの
4K命令ワードの容量を有するプログラム可能マ
イクロプロセツサ)に接続される。RAM60は
ソース・セレクト・メモリ62(RAM)に接続
され、該メモリ62の出力はソース制御ライン6
4によつてソース・セレクタ18に接続されると
共に、次に実行されるべき制御命令のアドレスを
決定する回路(図示せず)に接続される。
次に動作について説明する。
すべてのピンに対するテスト・データのシーケ
ンスはフオーマツト装置20にA又はBメモリ1
0又は12から交互に送られる。その選択は、シ
ーケンス制御RAM60の制御の下でソース・セ
レクト・メモリ62による指令に従つてソース・
セレクタ18によつて決定される。Aメモリ10
がソース・セレクタ18によつて選択されると
き、Aアドレス信号発生器48からセレクタ44
(Cアドレス発生器及び制御カウンタ38によつ
て制御される)を介してAアドレス・ライン52
上に与えられるアドレスによつて指定される一連
のメモリ・ロケーシヨンから記憶されたテスト・
データを送出する。同時に、Bメモリ12はCメ
モリ34から再ロード・ライン66を介して再ロ
ードされる。再ロード制御回路30は周期的に反
復してRAM32をAメモリ10に接続し、各サ
イクルにそこからデータが転送されるRAM32
のロケーシヨンがライン36を介して送られる一
連のアドレスの1つによつて指定される。転送さ
れたデータを受信するBメモリ12内の一連のロ
ケーシヨンのアドレスは、セレクタ46(Cアド
レス発生器及び制御カウンタ38に制御される)
を介してCアドレス・ライン36に、Aメモリ1
0へのAアドレスの伝送速度よりも速い速度で送
られる。
Aメモリ10がテスト・データを全部送出して
しまつた後で、ソース・セレクタ18は遅延なく
Bメモリ12を介して新しく補充されたテスト・
データを送出させ、Aメモリ10はCメモリ34
から再ロードされる。
別の実施例を第2図に示す。ダイナミツク
RAM32が2グループに分割され、夫々再ロー
ドライン110,112によつてセレクタ114
を介して大規模蓄積Dメモリ116に接続される
入力を有する。Dメモリ116はアドレス・ライ
ン118によつてDアドレス制御回路120に接
続され、該制御回路はシーケンス制御RAM60
にまたセレクタ114に制御ライン122によよ
つて接続される。RAM32の2つのグループは
A及びBメモリ10及び12を交互に再ロードす
る(再ロード制御回路30を介して)。各グルー
プが再ロードしない間はDメモリ116に記憶さ
れた一群からのテスト・データで補充される。2
グループ間での補充動作のスイツチングはDアド
レス制御回路120の制御によつてセレクタ11
4から指令を受ける。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明によるスタテイツク・メモリ
再ロード回路を含むLSIデバイス試験装置のブロ
ツク図である。第2図は、ダイナミツク・メモリ
補充回路を含む第1図の試験装置の一部を示すブ
ロツク図である。 (符号説明)、 10:Aメモリ、12:Bメ
モリ、14:ピン、16:被試験デバイス、1
8:ソース・セレクタ、20:フオーマツト装
置、30:再ロード制御回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 多数のピンを有するLSIデバイスにテスト・
    データの連続シーケンスを供給する装置であつ
    て、 前記ピンの各々と関連して前記テスト・データ
    を記憶する複数のメモリ素子と、 前記メモリ素子の各々より大容量で低速の素子
    であつて複数の記憶副素子を含み前記テスト・デ
    ータを記憶する記憶素子と、 前記メモリ素子の任意の1つからピンにテス
    ト・データを選択的に送るテスト・シーケンス制
    御回路と、 前記記憶素子に記憶されたテスト・データの一
    部を前記メモリ素子の任意の1つに選択的にロー
    ドさせる回路であつて該テスト・データをピンに
    は与えない再ロード回路と、 前記記憶副素子を再ロードされる前記メモリ素
    子に反復して接続し、各サイクル毎にアドレス情
    報を前記副素子に与えるスイツチング回路と、 を有し、前記記憶副素子に記憶されたテスト・デ
    ータが各副素子の実効転送速度よりも高速で前記
    メモリ素子に差し込まれ、そしてロードされる、
    装置。 2 前記メモリ素子がスタテイツクRAMから成
    り、前記記憶素子がダイナミツクRAMから成る
    特許請求の範囲第1項記載の装置。 3 前記メモリ素子がスタテイツクRAMから成
    り、前記記憶副素子がダイナミツクRAMから成
    る特許請求の範囲第1項記載の装置。 4 前記記憶副素子がグループ毎に結合され、前
    記テスト・データを記憶する大規模蓄積メモリ
    と、該蓄積メモリをして前記テスト・データの一
    部を前記グループの任意の1つに選択的にロード
    させる回路であつて、前記メモリ素子にはテス
    ト・データを与えないスイツチング回路と、を有
    する特許請求の範囲第1項又は3項記載の装置。 5 前記テスト・データが、前記記憶副素子から
    再ロードされるべきメモリ素子に、該テスト・デ
    ータが前記ピンに送られる速度よりも高速でロー
    ドされる特許請求の範囲第1項又は3項記載の装
    置。 6 前記メモリ素子が2個も設けられる特許請求
    の範囲第1、2又は3項記載の装置。 7 前記テスト・シーケンス制御回路及び再ロー
    ド回路をして、前記メモリ素子の第1のものから
    テスト・データを送出する間前記メモリ素子の別
    のものにテスト・データをロードし、前記メモリ
    素子の第1のものにテスト・データをロードする
    間前記メモリ素子の別のものからテスト・データ
    を送出する制御装置を有する特許請求の範囲第
    1、2又は3項記載の装置。
JP57177475A 1981-10-09 1982-10-08 Lsiデバイス試験用テスト・デ−タ供給装置 Granted JPS5875078A (ja)

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US06/309,982 US4451918A (en) 1981-10-09 1981-10-09 Test signal reloader
US309982 2001-08-02

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JPS5875078A JPS5875078A (ja) 1983-05-06
JPH0321075B2 true JPH0321075B2 (ja) 1991-03-20

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JP57177475A Granted JPS5875078A (ja) 1981-10-09 1982-10-08 Lsiデバイス試験用テスト・デ−タ供給装置

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FR (1) FR2514529B1 (ja)
GB (1) GB2108278B (ja)

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