JPH03220438A - ポリゴンスキャナ面出入り測定装置 - Google Patents
ポリゴンスキャナ面出入り測定装置Info
- Publication number
- JPH03220438A JPH03220438A JP1363390A JP1363390A JPH03220438A JP H03220438 A JPH03220438 A JP H03220438A JP 1363390 A JP1363390 A JP 1363390A JP 1363390 A JP1363390 A JP 1363390A JP H03220438 A JPH03220438 A JP H03220438A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon scanner
- pipes
- light beam
- air
- polygon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光ビームを用いてポリゴンスキャナの面出入り
を測定するポリゴンスキャナ面出入り測定装置に関する
ものである。
を測定するポリゴンスキャナ面出入り測定装置に関する
ものである。
（従来の技術）
第２図に従来の技術の一例を示す。
光源１ａから出射した、ほぼ平行な光ビームＬ１がポリ
ゴンスキャナ３によって反射した光ビームＬ３を第１の
プリズムミラー５ａに入射、分割し、第１及び第２のセ
ンサ６ｃ、６ｄに入射させる。更に光源１ｂから出射し
た光ビームＬ１２がポリゴンスキャナ３によって反射し
た光ビームをビームスプリッタ４によって反射した後、
プリズムミラー５ｂによって分割して、第３及び第４の
センサ６ａ、６ｂに入射し、センサ６ａ、６ｂの出力パ
ワーが等しくなった瞬間に第１及び第２のセンサ６ｃ、
６ｄの出力パワーの比を測定し、光ビームＬ３の水平方
向の位置ズレ量を検出する。
ゴンスキャナ３によって反射した光ビームＬ３を第１の
プリズムミラー５ａに入射、分割し、第１及び第２のセ
ンサ６ｃ、６ｄに入射させる。更に光源１ｂから出射し
た光ビームＬ１２がポリゴンスキャナ３によって反射し
た光ビームをビームスプリッタ４によって反射した後、
プリズムミラー５ｂによって分割して、第３及び第４の
センサ６ａ、６ｂに入射し、センサ６ａ、６ｂの出力パ
ワーが等しくなった瞬間に第１及び第２のセンサ６ｃ、
６ｄの出力パワーの比を測定し、光ビームＬ３の水平方
向の位置ズレ量を検出する。
この位置ズレ量からポリゴンスキャナ３の面出入り量を
検出している。
検出している。
（発明が解決しようとする課題）
前記従来のポリゴンスキャナ面出入り測定装置では光ビ
ームが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆら
ぎによって光ビームのパワーが変動し、測定値にノイズ
となって現われる。この空気のゆらぎによるノイズが大
きいために、それ以上の精度で面出入り測定を行うこと
ができなかった。
ームが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆら
ぎによって光ビームのパワーが変動し、測定値にノイズ
となって現われる。この空気のゆらぎによるノイズが大
きいために、それ以上の精度で面出入り測定を行うこと
ができなかった。
（課題を解決するための手段）
本発明は前記課題を解決するためになされたもので、実
施例に対応する第１図で説明すると、本発明は光源１ａ
から出射した、ほぼ平行な光ビームＬ１がポリゴンスキ
ャナ３によって反射した光ビームＬ３を第１のプリズム
ミラー５ａに入射、分割し、第１及び第２のセンサ６ｃ
、６ｄに入射させ、更に光源１から出射した光ビームＬ
２がポリゴンスキャナ３によって反射した光ビームをビ
ームスプリッタ４によって反射した後、プリズムミラー
５ｂによって分割して、第３及び第４のセンサ６ａ、６
ｂに入射し、センサ６ａ、６ｂの出力パワーが等しくな
った瞬間に第１及び第２のセンサ６ｃ、６ｄの出力パワ
ーを測定し、光ビームＬ３の位置を検出して成るポリゴ
ンスキャナ面出入り測定装置において、ポリゴンスキャ
ナ３と第１のプリズムミラー５ａとの間の光軸、及びポ
リゴンミラー３とビームスプリッタ４との間の光軸、更
にポリゴンミラー３と光源１ａとの間の光軸が貫通する
ように防風用のプラスチック製あるいは金属製のパイプ
２ａ、２ｂ、２Ｃをそれぞれ配設したものである。
施例に対応する第１図で説明すると、本発明は光源１ａ
から出射した、ほぼ平行な光ビームＬ１がポリゴンスキ
ャナ３によって反射した光ビームＬ３を第１のプリズム
ミラー５ａに入射、分割し、第１及び第２のセンサ６ｃ
、６ｄに入射させ、更に光源１から出射した光ビームＬ
２がポリゴンスキャナ３によって反射した光ビームをビ
ームスプリッタ４によって反射した後、プリズムミラー
５ｂによって分割して、第３及び第４のセンサ６ａ、６
ｂに入射し、センサ６ａ、６ｂの出力パワーが等しくな
った瞬間に第１及び第２のセンサ６ｃ、６ｄの出力パワ
ーを測定し、光ビームＬ３の位置を検出して成るポリゴ
ンスキャナ面出入り測定装置において、ポリゴンスキャ
ナ３と第１のプリズムミラー５ａとの間の光軸、及びポ
リゴンミラー３とビームスプリッタ４との間の光軸、更
にポリゴンミラー３と光源１ａとの間の光軸が貫通する
ように防風用のプラスチック製あるいは金属製のパイプ
２ａ、２ｂ、２Ｃをそれぞれ配設したものである。
（作用）
本発明によれば測定装置の光路に光ビームが通過するよ
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによる測定値のノイズが低減
される。
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによる測定値のノイズが低減
される。
（実施例）
第１図は、本発明による一実施例の構成図を示すポリゴ
ンスキャナ面出入り測定装置で、ｌａ。
ンスキャナ面出入り測定装置で、ｌａ。
１ｂは光源、２ａ、２ｂ、２ｃはプラスチック製あるい
は金属製のパイプ、３はポリゴンスキャナ。
は金属製のパイプ、３はポリゴンスキャナ。
４はビームスプリッタ、５ａ、５ｂはプリズムミラー、
６ａ、６ｂ、６Ｃ，６ｄはセンサを示している。光源１
ａから発生した光ビームはパイプ２ａを通ってポリゴン
スキャナ３によって反射され、パイプ２Ｃを通った後に
プリズムミラー５ａによって分割され、センサ６ｃ、６
ｄに入射する。
６ａ、６ｂ、６Ｃ，６ｄはセンサを示している。光源１
ａから発生した光ビームはパイプ２ａを通ってポリゴン
スキャナ３によって反射され、パイプ２Ｃを通った後に
プリズムミラー５ａによって分割され、センサ６ｃ、６
ｄに入射する。
光源１ｂから発生した光ビームはビームスプリッタ４を
通過してパイプ２ｂを通り、ポリゴンスキャナ３によっ
て反射され、パイプ２Ｃを再び通ってからビームスプリ
ッタ４によって下方向へ進路を曲げられ、プリズムミラ
ー５ｂによって分割されてセンサ６ａ、６ｂに入射する
６センサ６ａ。
通過してパイプ２ｂを通り、ポリゴンスキャナ３によっ
て反射され、パイプ２Ｃを再び通ってからビームスプリ
ッタ４によって下方向へ進路を曲げられ、プリズムミラ
ー５ｂによって分割されてセンサ６ａ、６ｂに入射する
６センサ６ａ。
６ｂはトリガの役割を果たしており、センサ６ａ。
６ｂで測定されるパワーが等しくなった瞬間にセンサ６
ｃ、６ｄに入射する光ビームのパワーを測定し、その比
によって光ビームの水平方向の位置ズレを計算する。こ
の位置ズレはポリゴンスキャナ３の面出入りによって生
じるものであるから、位置ズレ量から面出入り量を検出
することができる。
ｃ、６ｄに入射する光ビームのパワーを測定し、その比
によって光ビームの水平方向の位置ズレを計算する。こ
の位置ズレはポリゴンスキャナ３の面出入りによって生
じるものであるから、位置ズレ量から面出入り量を検出
することができる。
パイプ２ａ、２ｂ、’２ｃを設けたことによって空気の
ゆらぎによる測定値のノイズが低減される。
ゆらぎによる測定値のノイズが低減される。
なお、パイプ２ａ、２ｂ、２Ｃの内部形状が長手方向で
見て波状のものを用いればポリゴンスキャナ３によって
走査された光ビームのパイプ２ａ。
見て波状のものを用いればポリゴンスキャナ３によって
走査された光ビームのパイプ２ａ。
２ｂ、２Ｃ内における乱反射を防止することができる。
（発明の効果）
以上、詳細に説明したように本発明によれば、測定装置
内の光路長の長い部分にプラスチック製あるいは金属製
のパイプを設けたことによって空気のゆらぎによるノイ
ズが低減できるという効果を得られ、これによってポリ
ゴンスキャナ面出入りのより高精度な測定が可能になる
という利点を有する。
内の光路長の長い部分にプラスチック製あるいは金属製
のパイプを設けたことによって空気のゆらぎによるノイ
ズが低減できるという効果を得られ、これによってポリ
ゴンスキャナ面出入りのより高精度な測定が可能になる
という利点を有する。
第１図は本発明による一実施例を示す構成図、第２図は
従来例を示す構成図である。 １・・・光源 ２ａ、２ｂ、２ｃ・・・プラスチック製パイプ３・ポリ
ゴンスキャナ ４・・・ビームスプリッタ ６ ａ 、 ６ ｂ 、 ６ ｃ 、 ６ ｄ ・＝セ
ンサＬＬ、Ｌ２．Ｌ３・・・光ビーム
従来例を示す構成図である。 １・・・光源 ２ａ、２ｂ、２ｃ・・・プラスチック製パイプ３・ポリ
ゴンスキャナ ４・・・ビームスプリッタ ６ ａ 、 ６ ｂ 、 ６ ｃ 、 ６ ｄ ・＝セ
ンサＬＬ、Ｌ２．Ｌ３・・・光ビーム
Claims (1)
- 光源１ａから出射した、ほぼ平行な光ビームＬ１がポリ
ゴンスキャナ３によって反射した光ビームＬ３を第１の
プリズムミラー５ａに入射、分割し、第１及び第２のセ
ンサ６ｃ，６ｄに入射させ、更に光源１ｂから出射した
光ビームＬ２がポリゴンスキャナ３によって反射した光
ビームをビームスプリッタ４によって反射した後、プリ
ズムミラー５ｂによって分割して、第３及び第４のセン
サ６ａ，６ｂに入射し、センサ６ａ，６ｂの出力パワー
が等しくなった瞬間に第１及び第２のセンサ６ｃ，６ｄ
の出力パワーの比を測定し、光ビームＬ３の位置を検出
して成るポリゴンスキャナ面出入り測定装置において、
ポリゴンスキャナ３と第１のプリズムミラー５ａとの間
の光軸、及びポリゴンミラー３とビームスプリッタ４と
の間の光軸、更にポリゴンミラー３と光源１ａとの間の
光軸が貫通するように防風用のパイプ２ａ、２ｂ、２ｃ
をそれぞれ配設したことを特徴とするポリゴンスキャナ
面出入り測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363390A JPH0682084B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面出入り測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363390A JPH0682084B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面出入り測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03220438A true JPH03220438A (ja) | 1991-09-27 |
| JPH0682084B2 JPH0682084B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=11838640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1363390A Expired - Lifetime JPH0682084B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面出入り測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682084B2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP1363390A patent/JPH0682084B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682084B2 (ja) | 1994-10-19 |
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