JPH03220439A - ポリゴンスキャナジッタ測定装置 - Google Patents
ポリゴンスキャナジッタ測定装置Info
- Publication number
- JPH03220439A JPH03220439A JP1363490A JP1363490A JPH03220439A JP H03220439 A JPH03220439 A JP H03220439A JP 1363490 A JP1363490 A JP 1363490A JP 1363490 A JP1363490 A JP 1363490A JP H03220439 A JPH03220439 A JP H03220439A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon scanner
- pipes
- light beam
- sensors
- reflected
- Prior art date
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- Granted
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本廃明は光ビームを用いてポリゴンスキャナのジッタを
測定するポリゴンスキャナジッタ測定装置に関するもの
である。
測定するポリゴンスキャナジッタ測定装置に関するもの
である。
（従来の技術）
第２図に従来の技術の一例を示す。
光源１から出射した、ほぼ平行な光ビームＬ１がポリゴ
ンスキャナ３によって反射した光ビームＬ２がｆθレン
ズ４を通過しである時間内にはプリズムミラー５ａによ
って分割され、センサ６ａ。
ンスキャナ３によって反射した光ビームＬ２がｆθレン
ズ４を通過しである時間内にはプリズムミラー５ａによ
って分割され、センサ６ａ。
６ｂに入射し、他のある時間内にはプリズムミラー５ｂ
によって分割され、センサ６ｃ、６ｄに入射する。
によって分割され、センサ６ｃ、６ｄに入射する。
センサ６ａ、６ｂにおいて出力する光ビームのパワーが
等しくなる瞬間からセンサ６ｃ、６ｄにおいて出力する
光ビームのパワーが等しくなる瞬間までの時間間隔を測
定してジッタを検出している。
等しくなる瞬間からセンサ６ｃ、６ｄにおいて出力する
光ビームのパワーが等しくなる瞬間までの時間間隔を測
定してジッタを検出している。
（発明が解決しようとする課題）
前記従来のポリゴンスキャナジッタ測定装置では光ビー
ムが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆらぎ
によって光ビームのパワーが変動し、測定値にノイズと
なって現われる。この空気のゆらぎによるノイズが大き
いために、それ以上の精度でジッタ測定を行うことがで
きなかった。
ムが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆらぎ
によって光ビームのパワーが変動し、測定値にノイズと
なって現われる。この空気のゆらぎによるノイズが大き
いために、それ以上の精度でジッタ測定を行うことがで
きなかった。
（課題を解決するための手段）
本発明は前記課題を解決するためになされたもので、実
施例に対応する第１図で説明すると１本発明は、光ｇ１
から出射した、ほぼ平行な光ビームＬ１がポリゴンスキ
ャナ３によって反射した光ビームＬ２がｆθレンズ４を
通過してプリズムミラー５ａによって分割され、センサ
６ａ、６ｂに等しいパワーが検出される時間と、光ビー
ムＬ１がポリゴンスキャナ３によって反射した光ビーム
Ｌ３がｆθレンズ４を通過してプリズムミラー５ｂによ
って分割され、センサ６ｃ、６ｄに等しいパワーが検出
される時間との間隔を測定して成るポリゴンスキャナジ
ッタ測定装置において、光源１からポリゴンスキャナ３
との間の光軸、及びｆθレンズ４からプリズムミラー５
ａとの間の光軸、更にｆθレンズ４からプリズムミラー
５ｂとの間の光軸が貫通するように防風用のプラスチッ
ク製あるいは金属製のパイプ２ａ、２ｂ、２ｃをそれぞ
れ配設したものである。
施例に対応する第１図で説明すると１本発明は、光ｇ１
から出射した、ほぼ平行な光ビームＬ１がポリゴンスキ
ャナ３によって反射した光ビームＬ２がｆθレンズ４を
通過してプリズムミラー５ａによって分割され、センサ
６ａ、６ｂに等しいパワーが検出される時間と、光ビー
ムＬ１がポリゴンスキャナ３によって反射した光ビーム
Ｌ３がｆθレンズ４を通過してプリズムミラー５ｂによ
って分割され、センサ６ｃ、６ｄに等しいパワーが検出
される時間との間隔を測定して成るポリゴンスキャナジ
ッタ測定装置において、光源１からポリゴンスキャナ３
との間の光軸、及びｆθレンズ４からプリズムミラー５
ａとの間の光軸、更にｆθレンズ４からプリズムミラー
５ｂとの間の光軸が貫通するように防風用のプラスチッ
ク製あるいは金属製のパイプ２ａ、２ｂ、２ｃをそれぞ
れ配設したものである。
（作用）
本発明によれば測定装置の光路に光ビームが通過するよ
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによる測定値のノイズが低減
される。
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによる測定値のノイズが低減
される。
（実施例）
第１図は本発明による一実施例を示す構成図で、１は光
源、２ａ、２ｂ、２ｃはプラスチック製あるいは金属製
のパイプ、３はポリゴンスキャナ、４はｆθレンズ、５
ａ、５ｂはプリズムミラー６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄはセ
ンサを示している。
源、２ａ、２ｂ、２ｃはプラスチック製あるいは金属製
のパイプ、３はポリゴンスキャナ、４はｆθレンズ、５
ａ、５ｂはプリズムミラー６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄはセ
ンサを示している。
光源１から発生した光ビームはパイプ２ａを通過した後
、ポリゴンスキャナ３によって反射される。その反射光
はｆθレンズ４を通過した後、パイプ２ｂを通ってプリ
ズムミラー５ａによって分割されてセンサ６ａ、６ｂの
両方に所要の時間入射し、パイプ２Ｃを通ってプリズム
ミラー５ｂによって分割されてセンサ６ｃ、６ｄの両方
に所要の時間入射する。センサ６ａ、６ｂで測定される
パワーが等しくなる瞬間からセンサ６ｃ、６ｄで測定さ
れるパワーが等しくなる瞬間までの時間を測定し、ジッ
タを計算する。パイプ２ａ、２ｂ。
、ポリゴンスキャナ３によって反射される。その反射光
はｆθレンズ４を通過した後、パイプ２ｂを通ってプリ
ズムミラー５ａによって分割されてセンサ６ａ、６ｂの
両方に所要の時間入射し、パイプ２Ｃを通ってプリズム
ミラー５ｂによって分割されてセンサ６ｃ、６ｄの両方
に所要の時間入射する。センサ６ａ、６ｂで測定される
パワーが等しくなる瞬間からセンサ６ｃ、６ｄで測定さ
れるパワーが等しくなる瞬間までの時間を測定し、ジッ
タを計算する。パイプ２ａ、２ｂ。
２ｃを設けたことによって空気のゆらぎによる測定値の
ノイズが低減される。
ノイズが低減される。
なお、パイプ２ａ、２ｂ、２ｃの内部形状が長手方向で
見て波状のものを用いればポリゴンスキャナ３によって
走査された光ビームのパイプ２ａ。
見て波状のものを用いればポリゴンスキャナ３によって
走査された光ビームのパイプ２ａ。
２ｂ、２ｃ内における乱反射を防止することができる。
（発明の効果）
以上、詳細に説明したように本発明によれば。
測定装置内の光路長の長い部分にプラスチック製あるい
は金属製のパイプを設けたことによって空気のゆらぎに
よるノイズが低減できるという効果を得られ、これによ
ってポリゴンスキャナジッタのより高精度な測定が可能
になるという利点を有する。
は金属製のパイプを設けたことによって空気のゆらぎに
よるノイズが低減できるという効果を得られ、これによ
ってポリゴンスキャナジッタのより高精度な測定が可能
になるという利点を有する。
第１図は本発明による一実施例を示す構成図、第２図は
従来例を示す構成図である。 １・・・光源 ２ａ、２ｂ、２ｃ・・・プラスチック製あるいは金属製
パイプ ３・・・ポリゴンスキャナ ４・・・ｆθレンズ ５ａ、５ｂ・・・プリズムミラー ６ ａ 、 ６ ｂ 、 ６ ｃ 、 ６ ｄ−センサ
ＬＬ、Ｌ２．Ｌ３・・・光ビーム
従来例を示す構成図である。 １・・・光源 ２ａ、２ｂ、２ｃ・・・プラスチック製あるいは金属製
パイプ ３・・・ポリゴンスキャナ ４・・・ｆθレンズ ５ａ、５ｂ・・・プリズムミラー ６ ａ 、 ６ ｂ 、 ６ ｃ 、 ６ ｄ−センサ
ＬＬ、Ｌ２．Ｌ３・・・光ビーム
Claims (1)
- 光源１から出射した、ほぼ平行な光ビームＬ１がポリゴ
ンスキャナ３によって反射した光ビームＬ２がｆθレン
ズ４を通過してプリズムミラー５ａによって分割され、
センサ６ａ，６ｂに等しいパワーが検出される時刻と、
光ビームＬ１がポリゴンスキャナ３によって反射した光
ビームＬ３がｆθレンズ４を通過してプリズムミラー５
をによって分割され、センサ６ｃ，６ｄに等しいパワー
が検出される時刻との間隔を測定して成るポリゴンスキ
ャナジッタ測定装置において、光源１からポリゴンスキ
ャナ３との間の光軸、及びｆθレンズ４からプリズムミ
ラー５ａとの間の光軸、更にｆθレンズ４からプリズム
ミラー５ｂとの間の光軸が貫通するように防風用のパイ
プ２ａ，２ｂ，２ｃをそれぞれ配設したことを特徴とす
るポリゴンスキャナジッタ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363490A JPH0682085B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナジッタ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363490A JPH0682085B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナジッタ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03220439A true JPH03220439A (ja) | 1991-09-27 |
| JPH0682085B2 JPH0682085B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=11838668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1363490A Expired - Lifetime JPH0682085B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナジッタ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682085B2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP1363490A patent/JPH0682085B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682085B2 (ja) | 1994-10-19 |
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