JPH03228220A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は磁気記録媒体に関する。更に詳細には、本発明
はＲ／Ｗ特性が改善された磁気記録媒体に関する。

［従来の技術］ 面内磁気記録の記録密度を向上させるため、基体ｔに設
ける面内磁気異方性膜の厚さは、最近、ますます薄膜化
している。さらに単位体積当たりの磁化量を増加させる
ため、酸化鉄等の針状磁性体を基体上に塗布した形式か
ら、基体上に強磁性体の薄膜を直接、物理蒸着した形式
に徐々に移行している。

現在、薄膜媒体としてスパッタ法で作膜したＣｏＮｉ合
金面内磁気異方性膜が塗布形に代わり商品化されつつあ
る。このＣｏＮｉ合金薄膜媒体は、リジッドディスクを
主なターゲットとしており、従って円板ディスクの円周
に沿い、一定のＲ／Ｗ特性が必要となる。

現在行われている方法では、円板基体りに同心円状のキ
ズ（テクスチャ）を設け、さらにＣｏＮｉ層の下地層と
してＣｒを設けるこにより円周に沿い一定の磁気特性、
すなわち安定したＲ／Ｗ特性を得ている。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、スバッタ工程における装置トの問題から完全に
円周方向で一定な磁気特性が得られず、また円周方向と
半径方向では大きな異方性を生む結果となっている。円
周方向での磁気特性の差異は再生出力の変動（モジュレ
ーション）となり、安定したＲ／Ｗ特性を得る上で問題
がある。

従って、本発明の目的は、安定したＲ／Ｗ特性を示す面
内磁気異方性膜を有する磁気記録媒体を提供することで
ある。

［課題を解決するための手段コ 前記目的を達成するために、本発明では、基体にに多孔
質アルマイトからなる面内磁気異方性膜を有する磁気記
録媒体であって、膜面内中でのみかけ上の異方性磁界が
１０００ｅ以下であることを特徴とする磁気記録媒体を
提供する。

この磁気記録媒体はリジッドディスクであることか好ま
しい。

［作用］ 前記のように、本発明の磁気記録媒体は多孔質アルマイ
トを用いた面内磁気異方性膜を有する。

多孔質アルマイトは膜面垂直方向に多数の微細孔かイｆ
在しており（孔密度：〜５Ｘ１０１０個／ｃ１２）、各
微細孔は非晶質ＡＪ２０３により完全に分離されている
。このため微細孔中に充填された面内磁気異方性を示す
材料は各微細孔中において互いに完全に磁気的に分離さ
れた構造を有する。

このため、充填条件９作製装置によらず膜面内方向で完
全に等方的磁気特性を示す。

従って、再生出力は円周方向、半径方向を問わす、一定
の安定した再生出力が得られる。

本発明の磁気記録媒体における膜面内中でのみかけ−Ｌ
の異方性磁界は１０００ｅ以下でなければならない。本
明細書における“みかけ上の”という用語は、膜面内方
向に−様な磁界（〜１５ｋＯｅ）を印加しながら試料を
その磁場内で回転し、そのトルク曲線から求まる膜面内
の異方性エネルギー（Ｋｕ）から、次式、 膜面内でのみかけの異方性磁界＝　２　Ｋ　ｕ　／　Ｍ
　ｓ（式中、ＭＳは試料の飽和磁化である）によって得
られる値を意味する１」的で使用されている。膜面内中
でのみかけ１−の異方性磁界（Ｈｋ）が１０００ｅを越
えると、媒体の方向と位置により顕著な磁気特性の差を
生じ、その結果安定した再生出力が得られない。Ｈｋの
下限はな（ゼロが最も理想的な値である。Ｈｋ＝０の状
態では、完全に膜面内において等方的磁気特性を有する
こととなる。

膜面内中でのみかけ上の異方性磁界を１０００ｅ以下に
制御するには、磁性粒子を各々非磁性体で完全に分離し
、磁気的カップリングを起こさない状態にする（例えば
、アルマイト微細孔中の磁性粒子あるいはアルマイトを
他の非磁性体（例えば、有機樹脂、ＣｕｌＡｇなど）で
置き換える）ことにより行われる。

アルマイト層はアルミニウム基板を陽極酸化することに
より基板上に直接形成させることもできるが、非磁性基
板上にアルミニウムまたはアルミニウム合金を物理蒸着
法により蒸着し、この蒸着層を陽極酸化することによっ
ても形成させることかできる。物理蒸着法としては、真
空蒸着法、イオンブレーティング法、スバ、タリング法
、イオンビームデポジ／ヨン法および化学的気相成長法
（ＣＶＤ法）などがある。

アルミニウムの陽極酸化法は公知である。−船釣に、ア
ルミニウムの陽極酸化は直流（ＤＣ）で行っている。Ｄ
Ｃでは、電流密度を増大させると、耐電場強度が増大し
、腐食性が強くなり、その結果、開始点（ピット）が多
くなる。この電解初期に生じたピットが続けてエツチン
グされ微細なホール（孔）が形成され、多孔質アルマイ
トが得られる。

本発明の磁気記録媒体に使用される非磁性基板としては
、アルミニウム基板の他に、ガラス類。

セラミック、陽極酸化アルミ、黄銅などの金属板。

Ｓｉ単結晶板９表面を熱酸化処理したＳｉ単結晶板など
がある。

［実施例］ 以下、実施例により本発明を史に詳細に説明する。

実ＩＪ１［ 純度９９．９７％の３．５インチサイズのＡＪ１基板を
トリクロロエタン中で洗浄脱脂し、陽極酸化を１８℃、
１モル／Ｊ！のＨ２ＳＯ４と５ｇ／λのＡλ２　　（Ｓ
Ｏ４）３を含む洛中で、１７．５Ｖの定電圧で行い、ア
ルマイト層を０．４５μｍ化成した。次にアルマイトを
３０℃、１ｗｔ％のＨ３ＰＯ４中に移し、４０ｍＡ／ｄ
ｍ２の電流密度で両極間電圧（対極：カーボン）が８Ｖ
になるまて再化成した。

この後、同浴中に試料を浸漬し、アルマイトの微細孔径
を拡大処理した。この処理の後、同浴において８■の定
電圧で化成し、バリヤ層の調整と均一化を行った。この
時、アルマイトのセル径。

ボア径はそれぞれ４５０人、３８０人であった。

次にアルマイトを、Ｃｏ”　：０．２モル／λ。

Ｈ３ＢＯ３：　０．２モル／λ、グリセリン＝２ｍｊｌ
／Ｊ２．ＮａＰＨｚ　０２　：０．０２モル／λを含む
メツキ浴に移し、ｐＨ４，０，２０℃において、ＡＣ３
００Ｈｚ、１６Ｖｐ−ｐの電源を用い微細孔中にＣｏ−
Ｐ粒子を０．１５μｍ充填した。

この試料をｌ　ｃｍ角に切り出し、面内方向に・ｆ社に
１６ｋＯｅの外部磁界を印加し、膜面内申における異方
性をトルク曲線より求めた結果、膜面内における異方性
は異方性磁界Ｈｋとして１５０ｅであった。

Ｌ佼旌上 非磁性基体として厚さ１．２８−＊の、Ｎ１−Ｐメツキ
処理したＡＪ！基板を使用し、ＣｏＢ□Ｎ１２ｏを５０
０人の厚さでＣｒ下地（厚さ５０００人）上にスパッタ
法で成膜し、膜面内の異方性を同様にして求めた結果、
Ｈｋとして８３００ｅとなった。

実施例１で得られた試料および比較例１のＣ。

Ｎｉスパッタ膜の面内磁気特性（保磁力および角形比）
が、外部磁界が常に膜面と平行になる様にして、その磁
界の中で試料を回転させた時どの様に変化するのか第１
図に示す。第１図において、面内方向保磁力および面内
方向角形比は各々の試料の最大値で規格化している。ア
ルマイ）ＣＯ−Ｐメ、キ膜では、との方向においても一
定の面内方向保磁力および面内方向角形比か得られるか
、ＣｏＮｉスパッタ膜では角度により最大値から面内方
向保磁力で１９．７％、面内方向角形比で９．８％減少
している。

この事実からも、アルマイトを用いた面内磁化膜（面内
方向保磁カニ７０００ｅ；面内方向角形比：０．８４）
は、試料の場所、方向に左右されず、全試料内で安定し
た一定の特性を示し、従って、安定した再生出力が得ら
れると考えられる。

［発明の効果コ 以上説明した様に、アルマイトを利用した面内磁気異方
性膜を用いることにより、媒体面内中で一定の安定した
磁気特性と低い異方性磁界が得られ、安定した再生出力
が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本実施例におけるＣｏ−Ｐメツキアルマイト
膜および比較例におけるＣｏＮｉスパッタ膜の面内磁気
特性の方位依存性を示す特性図である。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）基体上に面内磁気異方性膜を有する磁気記録媒体
   において、膜面内中でのみかけ上の異方性磁界が１００
   ０ｅ以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
2. （２）面内磁気異方性膜が、多孔質アルマイトを用いた
   面内磁気異方性膜であることを特徴とする請求項１記載
   の磁気記録媒体。
3. （３）リジッドディスクであることを特徴とする請求項
   １または２記載の磁気記録媒体。