JPH0323229B2 - - Google Patents
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- JPH0323229B2 JPH0323229B2 JP60255650A JP25565085A JPH0323229B2 JP H0323229 B2 JPH0323229 B2 JP H0323229B2 JP 60255650 A JP60255650 A JP 60255650A JP 25565085 A JP25565085 A JP 25565085A JP H0323229 B2 JPH0323229 B2 JP H0323229B2
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Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
（発明の利用分野）
本発明は、透明導電性塗膜の形成方法に関す
る。 （従来の技術） 近年、半導体の生産量の増加に伴い、半導体ウ
エハーの運搬容器や保存容器、クリーンルームや
バイオクリーンルームにおける床材、壁材、カー
テン等に導電性塗料を塗布して帯電防止機能を付
与し、半導体の静電気による破壊の防止や、床、
壁、カーテン等クリーンルーム内への塵埃の付着
の防止等が行われている。 これらの目的のため、従来は、カーボン粉末や
金属微粉末を合成樹脂フイルムに練り込んだり、
又はこれらの導電性物質を混入して導電性を持た
せた塗料を塗布し導電性塗膜を形成して、不導体
の帯電を防止することが広く実施されている。 しかしながら、カーボンブラツクや金属微粉末
を合成樹脂に練り込んで得られるフイルムは、透
明性が悪く包装した後にその内容物を見ることが
できない、容器内の半導体ウエハーの個数を光セ
ンサーでカウントしようとしても不可能であつた
り、あるいはクリーンルーム内のカーテン越しに
向う側の様子を見ようとしても出来ない等の問題
があつた。 一方、導電性物質を混入してなる導電性塗料を
塗布する方法は、塗膜の色調が灰色または黒色が
かるため、被塗物の色調を損うことになり好まし
くなかつた。 このようなフイルムの透明性を改良する導電性
塗料に関しては、例えば、0.2μｍ以下の粒径を持
つた導電性微粉末を、塗膜主要素たる樹脂との割
合で５〜50重量％含有させる塗料（特開昭57−
85866号公報参照）、0.4μｍ以下の粒径を持つた導
電性微粉末を50〜90重量％、塗料主要素たる樹脂
95〜10重量％の割合で含有させる塗料（特開昭58
−91777号公報参照）、１分子中に１個以上のヒド
ロキシ基を有する、主鎮が実質的に飽和した炭化
水素線状重合体もしくはその変性物を塗膜樹脂と
し、この塗膜樹脂に金属酸化物の微粉末を30〜60
重量％配合してなる塗料（特開昭59−12256号公
報参照）等が知られているが、透明性改良効果は
まだ十分とは言えないものであつた。 そこで、透明性改良又は保護のため導電塗料塗
布後に導電物質を含まない塗料をかさね塗りする
ことが提案されている。（特開昭59−136167号公
報、特開昭５−198607号公報参照）しかし、この
ような方法では、塗膜の透明性や強度は改善され
るが、塗膜の導電性が大巾に低下するという欠点
があつた。 （本発明が解決しようとする問題点） 本発明の目的、透明導電性被覆層にかさね塗り
しても表面抵抗の変化が少なくかつ透明性に優れ
る透明導電性塗膜の形成方法を提供することにあ
る。 （問題を解決するための手段） 本発明を概説すると、透明基材の表面に、導電
物質及び合成樹脂バインダーよりなる透明導電被
覆層を形成し、ついでこの上にイオン架橋結合を
有する高分子重合体（以下、アイオノマーとい
う）の水性分散液を塗布し乾燥する表面処理を施
すことを特徴とする透明導電性塗膜の形成方法に
関する。 本発明をより詳細に説明すると、透明基材上に
形成する透明導電性被覆層は、合成樹脂バインダ
ー中に導電性物質である金属酸化物の微粉末を分
散してえられる透明導電性被覆組成物を塗布する
ことにより得られる。 本発明で使用しうる合成樹脂バインダーとして
は、ポリエステル、ポリウレタン、アクリル系樹
脂、ビニル系樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフイ
ン系樹脂等が挙げられる。 一方、導電性物質として使用する金属酸化物と
しては、酸化錫、酸化アンモチン及び酸化インジ
ウムから選ばれた少なくとも一種の微粉末を使用
する。なお、微粉末の粒径は小さいほど被覆層の
透明性が良好となり好ましい。 この透明導電性被覆組成物は、合成樹脂バイン
ダー15〜35重量部に対し金属酸化物の微粉末85〜
65重量部の割合で配合し、これを塗膜形成成分と
するものである。 この配合量は、透明導電性被覆層の表面固有抵
抗を106Ω／ロ〜108Ω／ロの範囲に保つために必
要であり、金属酸化物が65重量部より少ない場合
は、表面抵抗が増大し十分な帯電防止機能が発揮
されず、一方、85重量部を越えると被覆層の透明
性が悪くなり、又基材との密着性や強度等が劣る
ため好ましくない。 透明導電性被覆組成物は、適当な樹脂固形分濃
度、通常10〜30重量％に調整した有機溶剤溶液の
形態で使用する。 透明基材への被覆手段としては、グラビアプリ
ンター、ロールコーター、リバーウロールコータ
ー、ドクターナイフコーター、バーコーダー、ス
プレー、ハケ塗り等が使用でき、基材表面に乾燥
膜厚が0.5〜2.0μｍになるよう塗布する。 塗布後は、室温〜60℃の温度条件下で塗膜を乾
燥させる。 本発明は、このように形成された導電性被覆層
の上に、更に次に示すアイオノマーの水性分散液
をコーテイングし表面処理する点に特徴を有す
る。この表面処理に使用するアイオノマーとして
は、ポリエチレン共重合体系アイオノマー、ポイ
ウレタン系アイオノマー、アクリル系アイオノマ
ー、ポリエステル系アイオノマー等が挙げられ
る。 例えば、ポリエチレン共重合体系アイオノマー
としては、エチレンにα，β−エチレン性不飽和
カルボン酸または／および他の共重合体単量体を
重号させ、共重合体のカルボキシル基の一部をア
ルカリ金属水酸化物で中和し水に分散させたもの
である。このようなエチレン共重合体の水分散液
としては商品名“サーリン”米国デユポン社製、
商品名“コーポレンラテツクス”旭ダウ社製など
が市販されている。 この他、アクリル系アイオノマーとしては、商
品名“ネオクリル”米国ポリバイニル社製、ウレ
タン系アイオノマーとしては商品名“ハイドラ
ン”大日本インキ社製、ポリエステル系アイオノ
マーとしては商品名“フアインテツクス”大日本
インキ社製などが市販されている。 本発明では、前記乾燥した導電性被覆層の上に
該アイオノマーの水性分散液をコーテイングする
が、アイオノマーは、樹脂固形分10〜30重量％に
調整したものを使用し、前記の塗布方法から適当
な手段を選択しコーテイングを行う。 ついで、これを50〜80℃で0.5〜1.0分間加熱乾
燥して表面処理を終了するものである。 （実施例） 以下、本発明を具体的に説明するため実施例を
示が、本発明は、これによりなんら限定されるも
のではない。なお、部数は特にことわりのない限
り重量部を示す。 実施例 １ ポリウレタン（商品名ハニトツプ固形分20重量
％ハニー化成社製）125部及び酸化錫（商品名Ｔ
−Ｉ三菱金属社製）75部を塗膜形成成分とする透
明導電性被覆組成物（商品名EX−7220固形分30
重量％ハニー化成社製）をトルエンにより固形分
20重量％に調整した。これをポリエチレンテレフ
タレートフイル（厚さ200μｍ）にバーコーダー
（No.６）で塗布し、60℃で５分間乾燥した。乾燥
膜厚は1μｍであり、この被覆層の表面固有抵抗
値は1.5×106Ω／ロ、ヘーズは38％の値であつた。 さらに、この表面にアクリル系アイオノマー
（商品名ネオクリルA602米国ポリバイニル社製）
の水分散液（固形分15重量％）をバーコーター
（No.６）で乾燥膜厚1.0μｍとなるよう塗布し50℃
で10分乾燥した。 表面処理を施した透明導電性フイルムを室温で
24時間静置した後の表面固有抵抗は、3.0×
106Ω／ロ、ヘーズは８％の値であつた。 実施例２〜３及び比較例１〜３ 実施例１の方法において、アクリル系アイオノ
マーにかえて第１表に示す高分子重合体を使用す
る以外は、すべて同じ方法を実施し透明導電性塗
膜を形成した。 各透明導電性塗膜の表面固有抵抗値、ヘーズ値
及び他の性能は第２表に示す通りであつた。 ただし、 (1) 表面抵抗は、商品名デジタルマルチメータ−
（タケダ理研社製）により測定した。 (2) ヘーズとは曇価を表わし、 ヘーズ＝拡散透過率／全光線透過率×100 （拡散透過率＝全光線透過率−平行線透過率） で算出されるものである なおヘーズの値はヘーズメーター（日本電色
工業社製）により測定した。
る。 （従来の技術） 近年、半導体の生産量の増加に伴い、半導体ウ
エハーの運搬容器や保存容器、クリーンルームや
バイオクリーンルームにおける床材、壁材、カー
テン等に導電性塗料を塗布して帯電防止機能を付
与し、半導体の静電気による破壊の防止や、床、
壁、カーテン等クリーンルーム内への塵埃の付着
の防止等が行われている。 これらの目的のため、従来は、カーボン粉末や
金属微粉末を合成樹脂フイルムに練り込んだり、
又はこれらの導電性物質を混入して導電性を持た
せた塗料を塗布し導電性塗膜を形成して、不導体
の帯電を防止することが広く実施されている。 しかしながら、カーボンブラツクや金属微粉末
を合成樹脂に練り込んで得られるフイルムは、透
明性が悪く包装した後にその内容物を見ることが
できない、容器内の半導体ウエハーの個数を光セ
ンサーでカウントしようとしても不可能であつた
り、あるいはクリーンルーム内のカーテン越しに
向う側の様子を見ようとしても出来ない等の問題
があつた。 一方、導電性物質を混入してなる導電性塗料を
塗布する方法は、塗膜の色調が灰色または黒色が
かるため、被塗物の色調を損うことになり好まし
くなかつた。 このようなフイルムの透明性を改良する導電性
塗料に関しては、例えば、0.2μｍ以下の粒径を持
つた導電性微粉末を、塗膜主要素たる樹脂との割
合で５〜50重量％含有させる塗料（特開昭57−
85866号公報参照）、0.4μｍ以下の粒径を持つた導
電性微粉末を50〜90重量％、塗料主要素たる樹脂
95〜10重量％の割合で含有させる塗料（特開昭58
−91777号公報参照）、１分子中に１個以上のヒド
ロキシ基を有する、主鎮が実質的に飽和した炭化
水素線状重合体もしくはその変性物を塗膜樹脂と
し、この塗膜樹脂に金属酸化物の微粉末を30〜60
重量％配合してなる塗料（特開昭59−12256号公
報参照）等が知られているが、透明性改良効果は
まだ十分とは言えないものであつた。 そこで、透明性改良又は保護のため導電塗料塗
布後に導電物質を含まない塗料をかさね塗りする
ことが提案されている。（特開昭59−136167号公
報、特開昭５−198607号公報参照）しかし、この
ような方法では、塗膜の透明性や強度は改善され
るが、塗膜の導電性が大巾に低下するという欠点
があつた。 （本発明が解決しようとする問題点） 本発明の目的、透明導電性被覆層にかさね塗り
しても表面抵抗の変化が少なくかつ透明性に優れ
る透明導電性塗膜の形成方法を提供することにあ
る。 （問題を解決するための手段） 本発明を概説すると、透明基材の表面に、導電
物質及び合成樹脂バインダーよりなる透明導電被
覆層を形成し、ついでこの上にイオン架橋結合を
有する高分子重合体（以下、アイオノマーとい
う）の水性分散液を塗布し乾燥する表面処理を施
すことを特徴とする透明導電性塗膜の形成方法に
関する。 本発明をより詳細に説明すると、透明基材上に
形成する透明導電性被覆層は、合成樹脂バインダ
ー中に導電性物質である金属酸化物の微粉末を分
散してえられる透明導電性被覆組成物を塗布する
ことにより得られる。 本発明で使用しうる合成樹脂バインダーとして
は、ポリエステル、ポリウレタン、アクリル系樹
脂、ビニル系樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフイ
ン系樹脂等が挙げられる。 一方、導電性物質として使用する金属酸化物と
しては、酸化錫、酸化アンモチン及び酸化インジ
ウムから選ばれた少なくとも一種の微粉末を使用
する。なお、微粉末の粒径は小さいほど被覆層の
透明性が良好となり好ましい。 この透明導電性被覆組成物は、合成樹脂バイン
ダー15〜35重量部に対し金属酸化物の微粉末85〜
65重量部の割合で配合し、これを塗膜形成成分と
するものである。 この配合量は、透明導電性被覆層の表面固有抵
抗を106Ω／ロ〜108Ω／ロの範囲に保つために必
要であり、金属酸化物が65重量部より少ない場合
は、表面抵抗が増大し十分な帯電防止機能が発揮
されず、一方、85重量部を越えると被覆層の透明
性が悪くなり、又基材との密着性や強度等が劣る
ため好ましくない。 透明導電性被覆組成物は、適当な樹脂固形分濃
度、通常10〜30重量％に調整した有機溶剤溶液の
形態で使用する。 透明基材への被覆手段としては、グラビアプリ
ンター、ロールコーター、リバーウロールコータ
ー、ドクターナイフコーター、バーコーダー、ス
プレー、ハケ塗り等が使用でき、基材表面に乾燥
膜厚が0.5〜2.0μｍになるよう塗布する。 塗布後は、室温〜60℃の温度条件下で塗膜を乾
燥させる。 本発明は、このように形成された導電性被覆層
の上に、更に次に示すアイオノマーの水性分散液
をコーテイングし表面処理する点に特徴を有す
る。この表面処理に使用するアイオノマーとして
は、ポリエチレン共重合体系アイオノマー、ポイ
ウレタン系アイオノマー、アクリル系アイオノマ
ー、ポリエステル系アイオノマー等が挙げられ
る。 例えば、ポリエチレン共重合体系アイオノマー
としては、エチレンにα，β−エチレン性不飽和
カルボン酸または／および他の共重合体単量体を
重号させ、共重合体のカルボキシル基の一部をア
ルカリ金属水酸化物で中和し水に分散させたもの
である。このようなエチレン共重合体の水分散液
としては商品名“サーリン”米国デユポン社製、
商品名“コーポレンラテツクス”旭ダウ社製など
が市販されている。 この他、アクリル系アイオノマーとしては、商
品名“ネオクリル”米国ポリバイニル社製、ウレ
タン系アイオノマーとしては商品名“ハイドラ
ン”大日本インキ社製、ポリエステル系アイオノ
マーとしては商品名“フアインテツクス”大日本
インキ社製などが市販されている。 本発明では、前記乾燥した導電性被覆層の上に
該アイオノマーの水性分散液をコーテイングする
が、アイオノマーは、樹脂固形分10〜30重量％に
調整したものを使用し、前記の塗布方法から適当
な手段を選択しコーテイングを行う。 ついで、これを50〜80℃で0.5〜1.0分間加熱乾
燥して表面処理を終了するものである。 （実施例） 以下、本発明を具体的に説明するため実施例を
示が、本発明は、これによりなんら限定されるも
のではない。なお、部数は特にことわりのない限
り重量部を示す。 実施例 １ ポリウレタン（商品名ハニトツプ固形分20重量
％ハニー化成社製）125部及び酸化錫（商品名Ｔ
−Ｉ三菱金属社製）75部を塗膜形成成分とする透
明導電性被覆組成物（商品名EX−7220固形分30
重量％ハニー化成社製）をトルエンにより固形分
20重量％に調整した。これをポリエチレンテレフ
タレートフイル（厚さ200μｍ）にバーコーダー
（No.６）で塗布し、60℃で５分間乾燥した。乾燥
膜厚は1μｍであり、この被覆層の表面固有抵抗
値は1.5×106Ω／ロ、ヘーズは38％の値であつた。 さらに、この表面にアクリル系アイオノマー
（商品名ネオクリルA602米国ポリバイニル社製）
の水分散液（固形分15重量％）をバーコーター
（No.６）で乾燥膜厚1.0μｍとなるよう塗布し50℃
で10分乾燥した。 表面処理を施した透明導電性フイルムを室温で
24時間静置した後の表面固有抵抗は、3.0×
106Ω／ロ、ヘーズは８％の値であつた。 実施例２〜３及び比較例１〜３ 実施例１の方法において、アクリル系アイオノ
マーにかえて第１表に示す高分子重合体を使用す
る以外は、すべて同じ方法を実施し透明導電性塗
膜を形成した。 各透明導電性塗膜の表面固有抵抗値、ヘーズ値
及び他の性能は第２表に示す通りであつた。 ただし、 (1) 表面抵抗は、商品名デジタルマルチメータ−
（タケダ理研社製）により測定した。 (2) ヘーズとは曇価を表わし、 ヘーズ＝拡散透過率／全光線透過率×100 （拡散透過率＝全光線透過率−平行線透過率） で算出されるものである なおヘーズの値はヘーズメーター（日本電色
工業社製）により測定した。
【表】
【表】
（発明の効果）
以上の説明から明らかなように、本発明の方法
によれば、透明性に優れ、かつ表面処理によつて
も表面固有抵抗の変化が少ない透明導電性塗膜が
形成されるのである。
によれば、透明性に優れ、かつ表面処理によつて
も表面固有抵抗の変化が少ない透明導電性塗膜が
形成されるのである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 透明基材の表面に、導電性物質及び合成樹脂
バインダーによりなる透明導電被覆層を形成し、
ついでこの上にイオン架橋結合を有する高分子重
合体の水性分散液を塗布し乾燥する表面処理を施
すことを特徴とする透明導電性塗膜の形成方法。 ２ 透明導電被覆層は、導電性物質65〜85重量部
及び合成樹脂バインダー35〜15重量部を塗膜形成
成分として含有する導電性被覆組成物を塗布して
形成するものである特許請求の範囲第１項に記載
の透明導電性塗膜の形成方法。 ３ 導電性物質が、酸化錫、酸化アンチモン及び
酸化インジウムより選ばれた少なくとも一種の金
属酸化物の微粉末である特許請求の範囲第１項な
いし第２項に記載の透明導電性塗膜の形成方法。 ４ 合成樹脂バインダーが、ポリエステル、ポリ
ウレタン、アクリル系樹脂、ビニル系樹脂、エポ
キシ樹脂、ポリオレフイン等よりなる群から選ば
れた少なくとも一種である特許請求の範囲第１項
ないし第２項に記載の透明導電性塗膜の形成方
法。 ５ イオン架橋結合を有する高分子重合体が、ポ
リエテレン共重合体系アイオノマー、ポリウレタ
ン系アイオノマー及びポリエステル系アイオノマ
ーよりなる群から選ばれた少なくとも一種のアイ
オノマーである特許請求の範囲第１項に記載の透
明導電性塗膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60255650A JPS62114686A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 透明導電性塗膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60255650A JPS62114686A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 透明導電性塗膜の形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62114686A JPS62114686A (ja) | 1987-05-26 |
| JPH0323229B2 true JPH0323229B2 (ja) | 1991-03-28 |
Family
ID=17281697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60255650A Granted JPS62114686A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 透明導電性塗膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62114686A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2573105B2 (ja) * | 1991-04-22 | 1997-01-22 | ミリオンペイント株式会社 | 導電性塗料層 |
| KR100544562B1 (ko) | 1998-05-15 | 2006-01-23 | 도요 보세키 가부시키가이샤 | 투명도전성 필름 및 터치판넬 |
| EP1439953B8 (en) * | 2001-11-01 | 2005-08-31 | IonPhasE Oy | Electrically conductive covering material |
-
1985
- 1985-11-13 JP JP60255650A patent/JPS62114686A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62114686A (ja) | 1987-05-26 |
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