JPH03242540A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JPH03242540A JPH03242540A JP2037371A JP3737190A JPH03242540A JP H03242540 A JPH03242540 A JP H03242540A JP 2037371 A JP2037371 A JP 2037371A JP 3737190 A JP3737190 A JP 3737190A JP H03242540 A JPH03242540 A JP H03242540A
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- circuit
- signal
- divided
- magnetic disk
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
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- Immunology (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
この発明は磁気ディスク等の試料の表面のゴミ、シミ、
傷等の欠陥を検査する表面欠陥検査装置に関するもので
ある。
傷等の欠陥を検査する表面欠陥検査装置に関するもので
ある。
［従来の技術］
従来、たとえば大形計算機の記録装置に用いる磁気ディ
スクの表面の欠陥の検査は作業員が目視によって行なっ
ていたが、作業者の欠陥判定基ｌＩＩ！の個人差により
検査の定量化が難しく、また最近では磁気ディスクの記
録密度の高密度化に伴い、最小検出欠陥寸法がミクロン
オーダとなり、目視検査では検出が困難となってきた。
スクの表面の欠陥の検査は作業員が目視によって行なっ
ていたが、作業者の欠陥判定基ｌＩＩ！の個人差により
検査の定量化が難しく、また最近では磁気ディスクの記
録密度の高密度化に伴い、最小検出欠陥寸法がミクロン
オーダとなり、目視検査では検出が困難となってきた。
そこで、特開昭６１−２８３８５２号公報に示されるよ
うな表面欠陥検査装置が提案されている。
うな表面欠陥検査装置が提案されている。
第９図は従来の表面欠陥検査装置を示す図である。図に
おいて、１は磁気ディスク、７は磁気ディスク１の表面
に白色光、レーザ光等の照明光を照射する照明装置、５
は受光した光強度を検出信号２５に変換して出力する検
出器、６は磁気ディスク１の表面からの反射光を検出器
５に集光する粘像レンズである。
おいて、１は磁気ディスク、７は磁気ディスク１の表面
に白色光、レーザ光等の照明光を照射する照明装置、５
は受光した光強度を検出信号２５に変換して出力する検
出器、６は磁気ディスク１の表面からの反射光を検出器
５に集光する粘像レンズである。
この表面欠陥検査装置においては、あらかじめしきい値
を設定したのちに、検出信号２５としきい値とを比較し
て、表面欠陥を検査している。そして、しきい値を設定
するには、第１０図に示すように表面が無欠陥の基準磁
気ディスク１ａの半径ｒ方向の間隔ｄごとに１周分の散
乱光レベルすなわち背景レベルを検出器５によって順次
検出し、第１１図に示すような背景レベルの信号分布３
について局所的な信号変化の最大値である最大信号変化
ＵｐをＨ１１１定し、最大信号変化ｕｐに余裕値Δを加
算して、第１２図に示すようなしきい値４を求めている
。
を設定したのちに、検出信号２５としきい値とを比較し
て、表面欠陥を検査している。そして、しきい値を設定
するには、第１０図に示すように表面が無欠陥の基準磁
気ディスク１ａの半径ｒ方向の間隔ｄごとに１周分の散
乱光レベルすなわち背景レベルを検出器５によって順次
検出し、第１１図に示すような背景レベルの信号分布３
について局所的な信号変化の最大値である最大信号変化
ＵｐをＨ１１１定し、最大信号変化ｕｐに余裕値Δを加
算して、第１２図に示すようなしきい値４を求めている
。
［発明が角ｌ、！決しようとする課題］ところで、磁気
ディスクｌを製造する場合には、アルミニウム素材の内
周面」二に磁性流体を塗布したのち、アルミニウム素材
を回転し、遠心力によって磁性流体をアルミニウム素材
の内周から外周にかけて同心円状に流して、アルミニウ
ム素材の全面に磁性流体を塗布している。このため、第
８図に示すように、アルミニウム素材４０に塗イｌｉさ
れた磁性体・１１の膜厚は内周から外周に向かって厚く
なっており、しかも磁性流体は時間の経過とともに硬化
するので、磁性流体の粘性を一定に保つことは難しく、
同一ロット内でも磁性体４１の膜厚にバラツキがある。
ディスクｌを製造する場合には、アルミニウム素材の内
周面」二に磁性流体を塗布したのち、アルミニウム素材
を回転し、遠心力によって磁性流体をアルミニウム素材
の内周から外周にかけて同心円状に流して、アルミニウ
ム素材の全面に磁性流体を塗布している。このため、第
８図に示すように、アルミニウム素材４０に塗イｌｉさ
れた磁性体・１１の膜厚は内周から外周に向かって厚く
なっており、しかも磁性流体は時間の経過とともに硬化
するので、磁性流体の粘性を一定に保つことは難しく、
同一ロット内でも磁性体４１の膜厚にバラツキがある。
このように、磁性体４１の膜厚は内周から外周に向かっ
て厚くなっており、しかも磁性体４１の膜厚にバラツキ
があるから、従来の表面欠陥検査装置においては、誤検
出を防止するために、余裕イ直Δを大きくする必要があ
るので、しきい値が大きくなるため、微小欠陥を検出す
ることができない。また、基咽磁気ディスクｌａを使用
してしきい位を設にするしきい値設定作業をあらかじめ
行なう必要があるから、欠陥検査作業が面倒である。
て厚くなっており、しかも磁性体４１の膜厚にバラツキ
があるから、従来の表面欠陥検査装置においては、誤検
出を防止するために、余裕イ直Δを大きくする必要があ
るので、しきい値が大きくなるため、微小欠陥を検出す
ることができない。また、基咽磁気ディスクｌａを使用
してしきい位を設にするしきい値設定作業をあらかじめ
行なう必要があるから、欠陥検査作業が面倒である。
この発明は上述の課題を解決するためになされたもので
、微小欠陥を検出することができ、欠陥検査作業が容易
である表面欠陥検査装置を提供することを目的とする。
、微小欠陥を検出することができ、欠陥検査作業が容易
である表面欠陥検査装置を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段］
この目的を達成するため、この発明においては、試料を
照明し、上記試料の表面からの反射光を検出して、上記
試料の表面の欠陥を検査する表面欠陥検査装置において
、上記試料の表面の検査領域をｔΩ数の分割領域に分割
し、上記分割領域の表面の極出信袷の特徴値を１ｆｌｌ
ｌ定し、上記特徴イ直を用いて次のＬ記分割領域の欠陥
判定用のしきい値を設定する。
照明し、上記試料の表面からの反射光を検出して、上記
試料の表面の欠陥を検査する表面欠陥検査装置において
、上記試料の表面の検査領域をｔΩ数の分割領域に分割
し、上記分割領域の表面の極出信袷の特徴値を１ｆｌｌ
ｌ定し、上記特徴イ直を用いて次のＬ記分割領域の欠陥
判定用のしきい値を設定する。
この場合、上記試料が円形のときには、上記式を斗を円
周方向に分割して上記分割領域としてもよい。
周方向に分割して上記分割領域としてもよい。
〔作用］
この表面欠陥検査装置においては、分割領域の表面の検
出器Ｘの特徴値を４１す定し、特徴値を用いて次の分割
領域の欠陥判定用のしきい値とするから、試料の１模厚
が所定の方向に向かって変化し、また試料の膜厚にバラ
ツキがあったとしても、余裕値ムを小さくすることがで
き、またしきい値設定作業を行なう必要がない。
出器Ｘの特徴値を４１す定し、特徴値を用いて次の分割
領域の欠陥判定用のしきい値とするから、試料の１模厚
が所定の方向に向かって変化し、また試料の膜厚にバラ
ツキがあったとしても、余裕値ムを小さくすることがで
き、またしきい値設定作業を行なう必要がない。
［実施例］
：ｆＳ ｌ １．；！１はこの発明に係る表面欠陥検査
装置を示す図である。図において、１４は基台、１１は
基台１１に磁気ディスクｌの半径ｒ方向に移動可能に取
り付けられたステージ、１９はステージ１１を移動する
ための送りネジ、８は送りネジ１９を駆動するモータ、
１０はステージ１１に取り付けられたモータ、９はモー
タ１０の回転を検出するロークリエンコーダ、１８はモ
ータ１０の出力１１ｔｌｂに取り付けられたスピンドル
で、磁気ディスクｌが真空装置（図示せず）によってス
ピンドル１８に眼前されている。１２は検出信号２５を
処理する処理回路、１３は処理回路１２の指令に基づい
てモータ８．１０を制御するモータ駆動回路、１７は欠
陥の有無を判定する欠陥判定回路、１６は欠陥判定回路
１７で判定した結果を表示する表示回路である。
装置を示す図である。図において、１４は基台、１１は
基台１１に磁気ディスクｌの半径ｒ方向に移動可能に取
り付けられたステージ、１９はステージ１１を移動する
ための送りネジ、８は送りネジ１９を駆動するモータ、
１０はステージ１１に取り付けられたモータ、９はモー
タ１０の回転を検出するロークリエンコーダ、１８はモ
ータ１０の出力１１ｔｌｂに取り付けられたスピンドル
で、磁気ディスクｌが真空装置（図示せず）によってス
ピンドル１８に眼前されている。１２は検出信号２５を
処理する処理回路、１３は処理回路１２の指令に基づい
てモータ８．１０を制御するモータ駆動回路、１７は欠
陥の有無を判定する欠陥判定回路、１６は欠陥判定回路
１７で判定した結果を表示する表示回路である。
この表面欠陥検査装置においては、モータ駆動回路１３
でモータ１０を制御することにより、磁気ディスクｌを
一定角速度で回転するとともに、モータ駆動回路１３で
モータ８を制御し、モータ８により送りネジ１９を駆動
して、磁気ディスクｌを半径「方向に一定速度で移動し
、第２図に示すように、磁気ディスクｌの表面を螺旋状
に検出する。この場合、第３図に示す中間検査領域３１
についてのみ螺旋状に検出し、外周検査領域３０と山川
検査領域３２については、ステージ１１を移動せずに、
磁気ディスクｌの表面をほぼ１周分検査する。これは磁
気ディスクｌの外周、内周について未検査個所が発生す
るのを防止するためである。そして、第４図に示すよう
に、磁気ディスクｌの表面の検査領域を円周方向および
半径方向に分７．すし、処理回路１２が分割領域の表面
の検出信号２５の特徴値たとえば最大信号変化ＵＰ、＼
１４均イ直をｄｌす定し、特徴値を用いて次の分割領域
の欠陥判定用のしきい値を設定し、欠陥判定回路１７が
処理回路１２により設定されたしきい値と検出信号２５
とを比較し、検出信号２５がしきい値より大きいときに
は、表示回路１６が欠陥ありを表示する。
でモータ１０を制御することにより、磁気ディスクｌを
一定角速度で回転するとともに、モータ駆動回路１３で
モータ８を制御し、モータ８により送りネジ１９を駆動
して、磁気ディスクｌを半径「方向に一定速度で移動し
、第２図に示すように、磁気ディスクｌの表面を螺旋状
に検出する。この場合、第３図に示す中間検査領域３１
についてのみ螺旋状に検出し、外周検査領域３０と山川
検査領域３２については、ステージ１１を移動せずに、
磁気ディスクｌの表面をほぼ１周分検査する。これは磁
気ディスクｌの外周、内周について未検査個所が発生す
るのを防止するためである。そして、第４図に示すよう
に、磁気ディスクｌの表面の検査領域を円周方向および
半径方向に分７．すし、処理回路１２が分割領域の表面
の検出信号２５の特徴値たとえば最大信号変化ＵＰ、＼
１４均イ直をｄｌす定し、特徴値を用いて次の分割領域
の欠陥判定用のしきい値を設定し、欠陥判定回路１７が
処理回路１２により設定されたしきい値と検出信号２５
とを比較し、検出信号２５がしきい値より大きいときに
は、表示回路１６が欠陥ありを表示する。
この表面欠陥検査装置においては、分割領域の表面の検
出信号２５の特徴値を測定し、特徴値を用いて次の分割
領域の欠陥判定用のしきい値とするから、磁気ディスク
】の膜厚が所定の方向に向かって変化し、また磁気ディ
スク１の膜厚にバラツキがあったとしても、余裕値Δを
小さくすることができるので、微小欠陥を検出すること
ができる。また、あらかじめ基準磁気ディスクｌａを使
用してしきい値設定作業を行なう必要がないから、欠陥
検査作業が容易である。
出信号２５の特徴値を測定し、特徴値を用いて次の分割
領域の欠陥判定用のしきい値とするから、磁気ディスク
】の膜厚が所定の方向に向かって変化し、また磁気ディ
スク１の膜厚にバラツキがあったとしても、余裕値Δを
小さくすることができるので、微小欠陥を検出すること
ができる。また、あらかじめ基準磁気ディスクｌａを使
用してしきい値設定作業を行なう必要がないから、欠陥
検査作業が容易である。
第６図は第１図に示した表面欠陥検査装置の処理回路の
一例を示すブロック図である。図において、２０は検出
信号処理回路で、検出信号処理回路２０は第７図（ｃ）
に示すように検出信号２５の局所的な信号変化であるピ
ーク信号２６を出力する。２９は分割回路で、分割回路
２９はロータリエンコーダ９から出力されるパルス信号
の一定パルスごとに分割信号２８を発生する。２１は最
大値検出回路で、最大値検出回路２１は第７図（ｄ）に
示すように最大のピーク信号２６を保持し、分割信号２
８が入力されたときに、そのとき保持していたピーク信
％２６すなわち最大信号変化Ｕｐを出力したのちに、リ
セットされる。２２はゲートで、ゲート２２は第７図（
ｈ）に示すように、欠陥判定回路１７から欠陥信号２７
が出力されないときには、分割信弼２８が入力されたと
きから所定時間オンとなり、欠陥判定回路１７から欠陥
信ｒ；−２７が出力されたときには、つぎの分割信号２
８が人力されたとしてもオンとはならない。
一例を示すブロック図である。図において、２０は検出
信号処理回路で、検出信号処理回路２０は第７図（ｃ）
に示すように検出信号２５の局所的な信号変化であるピ
ーク信号２６を出力する。２９は分割回路で、分割回路
２９はロータリエンコーダ９から出力されるパルス信号
の一定パルスごとに分割信号２８を発生する。２１は最
大値検出回路で、最大値検出回路２１は第７図（ｄ）に
示すように最大のピーク信号２６を保持し、分割信号２
８が入力されたときに、そのとき保持していたピーク信
％２６すなわち最大信号変化Ｕｐを出力したのちに、リ
セットされる。２２はゲートで、ゲート２２は第７図（
ｈ）に示すように、欠陥判定回路１７から欠陥信号２７
が出力されないときには、分割信弼２８が入力されたと
きから所定時間オンとなり、欠陥判定回路１７から欠陥
信ｒ；−２７が出力されたときには、つぎの分割信号２
８が人力されたとしてもオンとはならない。
２３は最大（直保持回路で、最大値保持回路２３は第７
図（ｅ）に示すように最大値検出回路２１から出力され
た最大信号変化Ｕｐをつぎの最大信号変化し、ｌ ｐが
入力されるまで保持する。２４はしきい（直ツト１ミ回
路で、しきい値発生回路２４は第７図（（゛）に示すよ
うに最大値保持回路２３から出力された最大信号変化Ｕ
ｐに余裕値Δを加算する。
図（ｅ）に示すように最大値検出回路２１から出力され
た最大信号変化Ｕｐをつぎの最大信号変化し、ｌ ｐが
入力されるまで保持する。２４はしきい（直ツト１ミ回
路で、しきい値発生回路２４は第７図（（゛）に示すよ
うに最大値保持回路２３から出力された最大信号変化Ｕ
ｐに余裕値Δを加算する。
つぎに、このような処理回路を有する表面欠陥検査装置
の動作について第７図により説明する。
の動作について第７図により説明する。
まず、検査領域θ；−１においては、最大値保持回路２
３の出力がＵｐ（ｅ ；−、）であり、しきい値発生回
路２４の出力がＵｐ（θ１−３）＋Δであるとすると、
桃出信珍処理回路２０がピーク信号２６ａ、２６ｂを出
力したときには、欠陥判定回路１７でじｐ（０；−、）
＋Δとピーク信号２６ａ、２６ｂとが比較され、ピーク
信号２６ａ、２６ｂはＵｐ（０；−、）＋△より小さい
ので、欠陥判定回路１７から欠陥信号２７は出力されず
、表示回路１６が欠陥なしを表示する。そして、最大イ
直検出回路２１はまずピーク信号２６ａを保持するが、
ピーク信号２６ｂはピーク信号２６ａよりも大きいので
、最大値検出回路２１はピーク信％ ２６Ｆ）を保持す
る。つぎに、検査領域Ｏ１においては、検査領域０１−
１ では欠陥判定回路１７から欠陥漬汁２７は出力され
ないから、ゲート２２は分割漬汁２８が入力されたとき
から所定時間オンとなるので、最大値保持回路２３の出
力はＵｐ（ｏ ｉ−１）すなわちピーク信号２６ｂであ
り、しきい値発生回路２４の出力がＵｐ（Ｏ；−、）＋
Δであり、検出信号処理回路２０がピーク信号２６ｃ、
２６ｄを出力すると、欠陥判定回路１７でＵ ｐ （θ
−１）＋Δとピーク信号２６ｃ、２６ｄとが比較され、
ピーク信号２６ｃはＵｐ（Ｏ；−、）＋Δより大きいの
で、欠陥判定回路１７から欠陥信号２７が出力され、表
示回路１６か欠陥ありを表示する。そして、最大値検出
回路２１はピーク信号２６ｃを保持する。つぎに、検査
領域Ｏ１＋１ においては、検査領域Ｏでは欠陥判定回
路１７から欠陥信号２７が出力されているから、ゲート
２２は分割信号２８が入力されたとしてもオンとならな
いので、最大値保持し１路２３の出力はＵｐ（０；−、
）のままであり、しきいイ＋Ｉ（発生回路２４の出力が
ＬＪｐ（θ；−１）＋△と変化しないため、検出信号処
理回路２０がビーク信弓・２６ｅ、２６ｆを出力すると
、欠陥判定回路１７でＵｐ（０；−）＋Δとピーク信％
２６ｅ、２６ｆとが比較され、ピーク信号２６ｅ、２６
ｆはＵｐ（ＯＸ−、）＋Δより小さいので、欠陥判定回
路１７から欠陥信号２７が出力されず、表示回路】６が
欠陥なしを表示する。そして、最大値検出回路２１はピ
ーク信号２６ｆを保持する。
３の出力がＵｐ（ｅ ；−、）であり、しきい値発生回
路２４の出力がＵｐ（θ１−３）＋Δであるとすると、
桃出信珍処理回路２０がピーク信号２６ａ、２６ｂを出
力したときには、欠陥判定回路１７でじｐ（０；−、）
＋Δとピーク信号２６ａ、２６ｂとが比較され、ピーク
信号２６ａ、２６ｂはＵｐ（０；−、）＋△より小さい
ので、欠陥判定回路１７から欠陥信号２７は出力されず
、表示回路１６が欠陥なしを表示する。そして、最大イ
直検出回路２１はまずピーク信号２６ａを保持するが、
ピーク信号２６ｂはピーク信号２６ａよりも大きいので
、最大値検出回路２１はピーク信％ ２６Ｆ）を保持す
る。つぎに、検査領域Ｏ１においては、検査領域０１−
１ では欠陥判定回路１７から欠陥漬汁２７は出力され
ないから、ゲート２２は分割漬汁２８が入力されたとき
から所定時間オンとなるので、最大値保持回路２３の出
力はＵｐ（ｏ ｉ−１）すなわちピーク信号２６ｂであ
り、しきい値発生回路２４の出力がＵｐ（Ｏ；−、）＋
Δであり、検出信号処理回路２０がピーク信号２６ｃ、
２６ｄを出力すると、欠陥判定回路１７でＵ ｐ （θ
−１）＋Δとピーク信号２６ｃ、２６ｄとが比較され、
ピーク信号２６ｃはＵｐ（Ｏ；−、）＋Δより大きいの
で、欠陥判定回路１７から欠陥信号２７が出力され、表
示回路１６か欠陥ありを表示する。そして、最大値検出
回路２１はピーク信号２６ｃを保持する。つぎに、検査
領域Ｏ１＋１ においては、検査領域Ｏでは欠陥判定回
路１７から欠陥信号２７が出力されているから、ゲート
２２は分割信号２８が入力されたとしてもオンとならな
いので、最大値保持し１路２３の出力はＵｐ（０；−、
）のままであり、しきいイ＋Ｉ（発生回路２４の出力が
ＬＪｐ（θ；−１）＋△と変化しないため、検出信号処
理回路２０がビーク信弓・２６ｅ、２６ｆを出力すると
、欠陥判定回路１７でＵｐ（０；−）＋Δとピーク信％
２６ｅ、２６ｆとが比較され、ピーク信号２６ｅ、２６
ｆはＵｐ（ＯＸ−、）＋Δより小さいので、欠陥判定回
路１７から欠陥信号２７が出力されず、表示回路】６が
欠陥なしを表示する。そして、最大値検出回路２１はピ
ーク信号２６ｆを保持する。
なお、上述実施例においては、磁気ディスク１の表面の
検査領域を円周方向および半径方向に分；■したが、第
５図に示すように、各分割領域の面持か等しくなるよう
にしてもよい。この場合には、半径ｒと回転角Ｏとは反
比例し、ｅ、＜ｅ、＜ｅ。
検査領域を円周方向および半径方向に分；■したが、第
５図に示すように、各分割領域の面持か等しくなるよう
にしてもよい。この場合には、半径ｒと回転角Ｏとは反
比例し、ｅ、＜ｅ、＜ｅ。
となり、回転角Ｏはモータ８のパルス数によりロータリ
エンコーダ９の出力パルスを制御して逐次設定する。ま
た、ステージ１１の移動量を検出するリニアエンコーダ
を設け、検査中に欠陥を検出したときに、リニアエンコ
ーダから表示回路１６に磁気ディスクｌの半径方向座標
信号を出ツノし、ロータリエンコーダ９から表示回路１
６に磁気ディスクｌの円周方向座標信号を出力して、検
査終了後に欠陥発生の座標図形を表示すれば、顕微鏡等
の観察手段により欠陥の形状観察を行なうことができる
。さらに、磁気ディスク１の検査領域の円周方向の分割
はロータリエンコーダ９の出力パルスを一定数づつカウ
ントして制御するが、検査開始時の最初の第１分割領域
の検査では、最大値保持回路２３には回路が保持できる
最大値をあらかじめ入力しておき、これを用いてしきい
値を設定する。この場合、次の第２分割領域に欠陥があ
ったときには、欠陥を見逃してしまうので、磁気ディス
ク１の円周方向１周分の検査後、たとえば第１〜第１０
分割領域については再度重複して検査を行なうようにす
る。また、磁気ディスク１の円周方向の分割角、余裕値
△をキーボード等により外部から山内に設定できるよう
にしてもよい。
エンコーダ９の出力パルスを制御して逐次設定する。ま
た、ステージ１１の移動量を検出するリニアエンコーダ
を設け、検査中に欠陥を検出したときに、リニアエンコ
ーダから表示回路１６に磁気ディスクｌの半径方向座標
信号を出ツノし、ロータリエンコーダ９から表示回路１
６に磁気ディスクｌの円周方向座標信号を出力して、検
査終了後に欠陥発生の座標図形を表示すれば、顕微鏡等
の観察手段により欠陥の形状観察を行なうことができる
。さらに、磁気ディスク１の検査領域の円周方向の分割
はロータリエンコーダ９の出力パルスを一定数づつカウ
ントして制御するが、検査開始時の最初の第１分割領域
の検査では、最大値保持回路２３には回路が保持できる
最大値をあらかじめ入力しておき、これを用いてしきい
値を設定する。この場合、次の第２分割領域に欠陥があ
ったときには、欠陥を見逃してしまうので、磁気ディス
ク１の円周方向１周分の検査後、たとえば第１〜第１０
分割領域については再度重複して検査を行なうようにす
る。また、磁気ディスク１の円周方向の分割角、余裕値
△をキーボード等により外部から山内に設定できるよう
にしてもよい。
さらに、上述実施例においては、磁気ディスク１を一次
元走査して検査したが、検出器としてＣＣｌ）リニアセ
ンサ、ホトダイオードアレイ等を用いて、磁気ディスク
ｌを二次元走査して検査してもよい。この場合、各受光
素子の配列を磁気ディスク１の゛１ｔ−径方向となるよ
うにすれば、検査峙間を４）、１縮することができ、ま
た分割した同一領域内でもって検出器の各受光素子の出
力を磁気ディスク１の゛ｌ’径方向または円周方向に比
較して、最大信警Ｊ−変化Ｌｙｐを前述のように求めて
、しきい値発生、検査を繰り返せば、磁気ディスク１の
半径方向、円周方向のいずれの方向に欠陥が発生してい
る場合でも、検査が可能である。
元走査して検査したが、検出器としてＣＣｌ）リニアセ
ンサ、ホトダイオードアレイ等を用いて、磁気ディスク
ｌを二次元走査して検査してもよい。この場合、各受光
素子の配列を磁気ディスク１の゛１ｔ−径方向となるよ
うにすれば、検査峙間を４）、１縮することができ、ま
た分割した同一領域内でもって検出器の各受光素子の出
力を磁気ディスク１の゛ｌ’径方向または円周方向に比
較して、最大信警Ｊ−変化Ｌｙｐを前述のように求めて
、しきい値発生、検査を繰り返せば、磁気ディスク１の
半径方向、円周方向のいずれの方向に欠陥が発生してい
る場合でも、検査が可能である。
［発明の効果］
以Ｊ： ＩＮ ’！’Ｊ シたように、この発明に係る
表面欠陥Ｍｉ １＋１：”Ａ ！ｌ’ｌ：においては、
試Ｈの膜厚が所定の方向に向かって変化し、また試料の
膜厚にバラツキがあったとしても、余裕（直Δを小さく
することができるから、微小欠陥を検出することができ
、またしきい値設定作業を行なう必要がないから、欠陥
検査作業が容易である。このように、この発明の効果は
穎若である。
表面欠陥Ｍｉ １＋１：”Ａ ！ｌ’ｌ：においては、
試Ｈの膜厚が所定の方向に向かって変化し、また試料の
膜厚にバラツキがあったとしても、余裕（直Δを小さく
することができるから、微小欠陥を検出することができ
、またしきい値設定作業を行なう必要がないから、欠陥
検査作業が容易である。このように、この発明の効果は
穎若である。
第１図はこの発明に係る表面欠陥検査装置を示す図、第
２図〜第５図は第１図に示した表面欠陥検査装置なの動
作説明図、第６図は第１図に示した表面欠陥検査装置の
処理回路の一例を示すブロック図、第７図は第６図に示
した処理回路の動作説明図、第８図は磁気ディスクを示
す断面図、第９図は従来の表面欠陥検査装置を示す図、
第１０図〜第１２図は第９図に示した表面欠陥検査装置
の動作説明図である。 ■・・・磁気ディスク ５・・・検出器 ７・・・！！（（明装置 １２・・・処理回路 ２０・・・検出信号処理回路 ２１・・・最大値検出回路 ２３・・最大値保持回路 ２４・・・しきい値発生回路 ・・検出漬汁
２図〜第５図は第１図に示した表面欠陥検査装置なの動
作説明図、第６図は第１図に示した表面欠陥検査装置の
処理回路の一例を示すブロック図、第７図は第６図に示
した処理回路の動作説明図、第８図は磁気ディスクを示
す断面図、第９図は従来の表面欠陥検査装置を示す図、
第１０図〜第１２図は第９図に示した表面欠陥検査装置
の動作説明図である。 ■・・・磁気ディスク ５・・・検出器 ７・・・！！（（明装置 １２・・・処理回路 ２０・・・検出信号処理回路 ２１・・・最大値検出回路 ２３・・最大値保持回路 ２４・・・しきい値発生回路 ・・検出漬汁
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、試料を照明し、上記試料の表面からの反射光を検出
して、上記試料の表面の欠陥を検査する表面欠陥検査装
置において、上記試料の表面の検査領域を複数の分割領
域に分割し、上記分割領域の表面の検出信号の特徴値を
測定し、上記特徴値を用いて次の上記分割領域の欠陥判
定用のしきい値を設定することを特徴とする表面欠陥検
査装置。 ２、上記試料が円形であり、上記試料を円周方向に分割
して上記分割領域とすることを特徴とする請求項第１項
記載の表面欠陥検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02037371A JP3142852B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 表面欠陥検査装置 |
| US07/658,258 US5135303A (en) | 1990-02-20 | 1991-02-20 | Method of and apparatus for inspecting surface defects |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02037371A JP3142852B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03242540A true JPH03242540A (ja) | 1991-10-29 |
| JP3142852B2 JP3142852B2 (ja) | 2001-03-07 |
Family
ID=12495663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02037371A Expired - Fee Related JP3142852B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 表面欠陥検査装置 |
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|---|---|
| US (1) | US5135303A (ja) |
| JP (1) | JP3142852B2 (ja) |
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1990
- 1990-02-20 JP JP02037371A patent/JP3142852B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1991
- 1991-02-20 US US07/658,258 patent/US5135303A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5135303A (en) | 1992-08-04 |
| JP3142852B2 (ja) | 2001-03-07 |
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