JPH03251380A - 吸着コレット - Google Patents
吸着コレットInfo
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- JPH03251380A JPH03251380A JP2046764A JP4676490A JPH03251380A JP H03251380 A JPH03251380 A JP H03251380A JP 2046764 A JP2046764 A JP 2046764A JP 4676490 A JP4676490 A JP 4676490A JP H03251380 A JPH03251380 A JP H03251380A
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- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 6
- 206010008631 Cholera Diseases 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、検査選別工程等におけるICパッケージの移
載の為に、ロボット等の搬送装置に取付けられ、真空装
置の吸引力によりICパッケージを吸着する吸着コレッ
トに関する。
載の為に、ロボット等の搬送装置に取付けられ、真空装
置の吸引力によりICパッケージを吸着する吸着コレッ
トに関する。
〈従来の技術〉
平板状のパッケージ本体から四方へリートを取出した、
所謂表面実装型のICパッケージを、搬送ロボットによ
り検査選別装置のテスト部とトレー(収納容器)との間
なとて移載する際、そのICパッケージをロボットに保
持させる為に、この種の吸着コレットが広く用いられて
いる。この吸着コレットを用いることにより、大きさの
異なる多種のICパッケージを素早く移載することかで
きる。
所謂表面実装型のICパッケージを、搬送ロボットによ
り検査選別装置のテスト部とトレー(収納容器)との間
なとて移載する際、そのICパッケージをロボットに保
持させる為に、この種の吸着コレットが広く用いられて
いる。この吸着コレットを用いることにより、大きさの
異なる多種のICパッケージを素早く移載することかで
きる。
従来のこの種の吸着コレットは、真空装置に連結された
単なる筒状部材から成るものてあった。
単なる筒状部材から成るものてあった。
そしてこのコレットを鉛直にロボットに取付け。
その鉛直下方に向いた開放端を、検査選別装置のテスト
部やトレー上に水平に載置されたICパッケージの上面
に接近させて、真空装置の吸引力により吸着させる。
部やトレー上に水平に載置されたICパッケージの上面
に接近させて、真空装置の吸引力により吸着させる。
又、吸着させたICパッケージを、移載光の所定位置に
上方より接近させ、その状態て真空装置の作動を停止さ
せてコレット内の圧力を大気圧に近+jけ、パッケージ
の自重によりコレットから離反させる。
上方より接近させ、その状態て真空装置の作動を停止さ
せてコレット内の圧力を大気圧に近+jけ、パッケージ
の自重によりコレットから離反させる。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかし上記従来の吸着コレットでは、そのコレットを取
付けた搬送ロボットが、吸着位置或いは離反位置をオー
バーランした場合に、ICパッケージをテスト部やトレ
ーに押し付けてしまうことになる。その結果、パッケー
ジ本体を支えているリートを曲げ、そのICパッケージ
を不良品にしてしまうという問題かあった。
付けた搬送ロボットが、吸着位置或いは離反位置をオー
バーランした場合に、ICパッケージをテスト部やトレ
ーに押し付けてしまうことになる。その結果、パッケー
ジ本体を支えているリートを曲げ、そのICパッケージ
を不良品にしてしまうという問題かあった。
本発明は、上記リード曲げの問題を解決すべく、ロボッ
ト等の搬送装置かオーバーランした場合にICパッケー
ジに加わる力を小さく抑えることのてきる吸着コレット
を提供することを目的とする。
ト等の搬送装置かオーバーランした場合にICパッケー
ジに加わる力を小さく抑えることのてきる吸着コレット
を提供することを目的とする。
〈課題を解決するだめの手段〉
」−記]1的を達成する為に、本発明に係る吸着コレッ
トては次の様な構成とした。
トては次の様な構成とした。
即ち、搬送装置に取付けられるとともに真空装置に連結
された第一の筒体と、この第一の筒体に、その筒体の中
心軸方向に移動可能に嵌合され、先端てICパッケージ
を吸着する第二の筒体と、この第二の筒体の、L記第−
の筒体に対する移動範囲を規制する手段と、上記第二の
筒体な、その先端方向へ付勢する手段とを備えた。
された第一の筒体と、この第一の筒体に、その筒体の中
心軸方向に移動可能に嵌合され、先端てICパッケージ
を吸着する第二の筒体と、この第二の筒体の、L記第−
の筒体に対する移動範囲を規制する手段と、上記第二の
筒体な、その先端方向へ付勢する手段とを備えた。
〈作用〉
−に記構成ては、真空装置の吸中力によりICパッケー
ジを可動部の先端に吸着させると、可動部か支持部の方
へ引っ込み、移動範囲の一端で停止する。又、真空装置
による吸引を停止させると、吸着時と逆に可動部か付勢
力により移動範囲の他端まで緩やかに移動してから、I
Cパッケージが離反する。
ジを可動部の先端に吸着させると、可動部か支持部の方
へ引っ込み、移動範囲の一端で停止する。又、真空装置
による吸引を停止させると、吸着時と逆に可動部か付勢
力により移動範囲の他端まで緩やかに移動してから、I
Cパッケージが離反する。
更に上記構成によれば、搬送装置かICパッケージの吸
着位置或いは離反位置てオーバーランした場合には、可
動部か支持部の方へ引っ込んだ状態となる為、ICパッ
ケージに加わる力か小さく抑えられる。
着位置或いは離反位置てオーバーランした場合には、可
動部か支持部の方へ引っ込んだ状態となる為、ICパッ
ケージに加わる力か小さく抑えられる。
〈実施例〉
以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。
第1図は、本発明に係る吸着コレットの側断面図である
。
。
図に示す様に、この吸着コレットlは、第一の筒体であ
る支持部2の内側に、第二の筒体である可動部3を、上
記支持部2の中心軸方向に移動可能に嵌合して構成され
ている。
る支持部2の内側に、第二の筒体である可動部3を、上
記支持部2の中心軸方向に移動可能に嵌合して構成され
ている。
上記支持部2は、その開放端を鉛直下方に向けた状態で
搬送ロボット(図示せず)に増刊けられるとともに、真
空装置(図示せず)に連結されている。この支持部2の
内径は、開放端付近て拡大されており、その拡径部分2
aに上記可動部3が、先端つまり下端を支持部2の開放
端から突出させた状態で隙間のない様に嵌合されている
。それとともに−に記拡径部分2aの可動部3の上方に
は、可動部3をその先端方向へ刊勢する手段として、コ
イルへネ4か挿着されている。このコイルへネ4のハネ
力については、可動部3か後述の如く動作し得る様に適
宜に設定される。
搬送ロボット(図示せず)に増刊けられるとともに、真
空装置(図示せず)に連結されている。この支持部2の
内径は、開放端付近て拡大されており、その拡径部分2
aに上記可動部3が、先端つまり下端を支持部2の開放
端から突出させた状態で隙間のない様に嵌合されている
。それとともに−に記拡径部分2aの可動部3の上方に
は、可動部3をその先端方向へ刊勢する手段として、コ
イルへネ4か挿着されている。このコイルへネ4のハネ
力については、可動部3か後述の如く動作し得る様に適
宜に設定される。
更に、支持部2に対する可動部3の移動範囲を規制する
手段どして、可動部3に水平にシャフト5が通されると
ともに、そのシャフト5の両端が、支持部2に形成され
た二つの縦長孔6に係合されている。I−記シャフ1〜
5か支持部2の縦長孔6から抜けない様に、シャフト5
の両端にはEリング7か取付けられている。上記規制手
段により、可動部3は支持部2から抜は落ちることがな
く、しかも後述の如くL昇した際にその先端か支持部2
内に入り込むこともない。
手段どして、可動部3に水平にシャフト5が通されると
ともに、そのシャフト5の両端が、支持部2に形成され
た二つの縦長孔6に係合されている。I−記シャフ1〜
5か支持部2の縦長孔6から抜けない様に、シャフト5
の両端にはEリング7か取付けられている。上記規制手
段により、可動部3は支持部2から抜は落ちることがな
く、しかも後述の如くL昇した際にその先端か支持部2
内に入り込むこともない。
上記筒状の吸着コレラl−1の径は、可動部3の先端か
、搬送対象となるICパッケージ8の本体8a上面内に
完全に収まる様に設定される。
、搬送対象となるICパッケージ8の本体8a上面内に
完全に収まる様に設定される。
次に上記構成の吸着コレット1の動作を、第1図及び第
2図の動作説明図を参照しつつ説明する。
2図の動作説明図を参照しつつ説明する。
水平な台9上に載置されたICパッケージ8を吸着する
場合には、先ず真空装置を作動させて可動部3先端から
の吸引を開始する。この時、可動部3は、コイルハネ4
のハネ力によって移動範囲のド限へ降下した状態にある
。
場合には、先ず真空装置を作動させて可動部3先端から
の吸引を開始する。この時、可動部3は、コイルハネ4
のハネ力によって移動範囲のド限へ降下した状態にある
。
この状態で、搬送ロボットを制御することにより、第1
図の如く吸着コレットlをICパッケージ8の真上に移
動させ、更に降下゛させて可動部3の先端をICパッケ
ージ8の本体8a上面に接近させる。i’j7動部3の
先端か本体8a上面かられずかに離れた所定の吸着位置
て吸着コレットlの降下を停!トさせるか、その吸着位
置に達する前に、ICパッケージ8は真空装置の吸引力
により吸い」−げられ、可動部3の先端に吸着する。検
者すれば、その様に真空装置の吸引力を設定しておく。
図の如く吸着コレットlをICパッケージ8の真上に移
動させ、更に降下゛させて可動部3の先端をICパッケ
ージ8の本体8a上面に接近させる。i’j7動部3の
先端か本体8a上面かられずかに離れた所定の吸着位置
て吸着コレットlの降下を停!トさせるか、その吸着位
置に達する前に、ICパッケージ8は真空装置の吸引力
により吸い」−げられ、可動部3の先端に吸着する。検
者すれば、その様に真空装置の吸引力を設定しておく。
例えば、可動部3の内径か71の吸着コレットlと、7
00〜500mmHgの負圧を生しさせる真空装置とを
用いて、44ピン或いは56ピンのICパッケージ8を
吸着させる場合には、そのICパッケージ8は、本体8
a−L面と可動部3の先端との距1111dか2n+
m程度になった位置て吸い上げられて吸着する。
00〜500mmHgの負圧を生しさせる真空装置とを
用いて、44ピン或いは56ピンのICパッケージ8を
吸着させる場合には、そのICパッケージ8は、本体8
a−L面と可動部3の先端との距1111dか2n+
m程度になった位置て吸い上げられて吸着する。
ICパッケージ8か可動部3の先端に吸着すると、吸着
コレット1内の圧力は、開口部か塞かれる為に急速に低
下する。すると真空装置の吸引力か、コイルハネ4のハ
ネ力、可動部3とICパッケージ8の重量、及び可動部
3と支持部2との間の摩擦といった下向きの力を上回る
ことにより、可動部3は、第2図に示す様にICパッケ
ージ8を吸着したまま上昇し、支持部2内へ嵌入する。
コレット1内の圧力は、開口部か塞かれる為に急速に低
下する。すると真空装置の吸引力か、コイルハネ4のハ
ネ力、可動部3とICパッケージ8の重量、及び可動部
3と支持部2との間の摩擦といった下向きの力を上回る
ことにより、可動部3は、第2図に示す様にICパッケ
ージ8を吸着したまま上昇し、支持部2内へ嵌入する。
そして移動範囲の上限て停止する。
この状態て搬送ロボットを制御することにより、吸着コ
レット1をICパッケージ8の移載光の真上へ移動させ
、所定の離反位置で停止させる。その後、ICパッケー
ジ8を吸着コレットlから離反させることになる。
レット1をICパッケージ8の移載光の真上へ移動させ
、所定の離反位置で停止させる。その後、ICパッケー
ジ8を吸着コレットlから離反させることになる。
ICパッケージ8を離反させる際には、真空装置の作動
を停止する、或いは真空装置に設けた電磁弁を開くこと
などにより吸引を停止させて吸着コレットl内の圧力を
上昇させる。すると可動部3は、吸引力の低下に伴って
上記吸着時と逆に、コイルバネ4のバネ力、及び可動部
3とICパッケージ8の重量により移動範囲の下限まて
緩やかに降下する。更に吸着コレットl内の圧力か大気
圧に近刊くと、ICパッケージ8はその自重によって可
動部3から離反し、第1図と同様に所定位置に載置され
る。これで−個のICパッケージ8の移載か完了する。
を停止する、或いは真空装置に設けた電磁弁を開くこと
などにより吸引を停止させて吸着コレットl内の圧力を
上昇させる。すると可動部3は、吸引力の低下に伴って
上記吸着時と逆に、コイルバネ4のバネ力、及び可動部
3とICパッケージ8の重量により移動範囲の下限まて
緩やかに降下する。更に吸着コレットl内の圧力か大気
圧に近刊くと、ICパッケージ8はその自重によって可
動部3から離反し、第1図と同様に所定位置に載置され
る。これで−個のICパッケージ8の移載か完了する。
上記吸着コレットlでは、ロボットか吸着位置でオーバ
ーランしてこの吸着コレラ1〜lが台9−1−のICパ
ッケージ8を押圧した場合、可動部3が支持部2の方へ
引っ込む。又、ロボットか離反位置てオーバーランした
場合には、可動部3がその移動範囲の下限まて降下する
前にICパッケージ8か台9に達し、やはり可動部3か
支持部2の方へ引っ込んだ状態となる。これらの場合に
ICパッケージ8に加わる力は、主に可動部3を付勢す
るコイルハネ4のバネ力であるが、そのバネ力は、IC
パッケージ8のリート8bを曲げる様な大きさの力より
小さく設定し得るものである。即ちこの吸着コレットl
では、ICパッケージ8を押圧した状態になったとして
も、そのリート8bを曲げることはない。
ーランしてこの吸着コレラ1〜lが台9−1−のICパ
ッケージ8を押圧した場合、可動部3が支持部2の方へ
引っ込む。又、ロボットか離反位置てオーバーランした
場合には、可動部3がその移動範囲の下限まて降下する
前にICパッケージ8か台9に達し、やはり可動部3か
支持部2の方へ引っ込んだ状態となる。これらの場合に
ICパッケージ8に加わる力は、主に可動部3を付勢す
るコイルハネ4のバネ力であるが、そのバネ力は、IC
パッケージ8のリート8bを曲げる様な大きさの力より
小さく設定し得るものである。即ちこの吸着コレットl
では、ICパッケージ8を押圧した状態になったとして
も、そのリート8bを曲げることはない。
更に上記吸着コレット1では、離反動作において可動部
3か降下していく時には、吸着コレットl内の圧力か大
気圧に近付く為、ICパッケージ8を吸着させる吸引力
は著しく低下する。よって第3図の動作説明図に示ず如
く、ガイド斜面10aを設けた溝部10等へICパッケ
ージ8を移載する際に、吸着コレットlの水平面内ての
離反位置がずれて、可動部3と共に降下するICパッケ
ージ8のリート8bかガイド斜面10aに当接し、リー
ド8bに水平方向(矢印A)の力がかかったとしても、
ICパッケージ8は吸着したまま容易に横ずれし、或い
は落下する。即ちこの様な場合にも、リート8bを曲げ
ることかない。これに対し従来の吸着コレラ1〜ては、
降下中には吸引力か低下しない為、この様な場合、吸着
したICパッケージのリートに大きな力がかかり曲がっ
てしまう。
3か降下していく時には、吸着コレットl内の圧力か大
気圧に近付く為、ICパッケージ8を吸着させる吸引力
は著しく低下する。よって第3図の動作説明図に示ず如
く、ガイド斜面10aを設けた溝部10等へICパッケ
ージ8を移載する際に、吸着コレットlの水平面内ての
離反位置がずれて、可動部3と共に降下するICパッケ
ージ8のリート8bかガイド斜面10aに当接し、リー
ド8bに水平方向(矢印A)の力がかかったとしても、
ICパッケージ8は吸着したまま容易に横ずれし、或い
は落下する。即ちこの様な場合にも、リート8bを曲げ
ることかない。これに対し従来の吸着コレラ1〜ては、
降下中には吸引力か低下しない為、この様な場合、吸着
したICパッケージのリートに大きな力がかかり曲がっ
てしまう。
尚、上記可動部3とコイルハネ4とを、支持部2の外周
へ嵌着させる様に構成してもよい。
へ嵌着させる様に構成してもよい。
〈発明の効果〉
以上述べた様に本発明の吸着コレットによれ 0
ば、可動部を備えた為に、ロボット等の搬送装置かオー
バーランした場合にもICパッケージに加わる力か小さ
く抑えられ、よってそのICパッケージのリートを曲げ
て不良品を生しさせてしまうということが防止される。
バーランした場合にもICパッケージに加わる力か小さ
く抑えられ、よってそのICパッケージのリートを曲げ
て不良品を生しさせてしまうということが防止される。
第1図は、本考案の実施例を示す側断面図、第2図は、
実施例における動作説明図、第3図は、実施例における
他の動作説明図である。 1・・・吸着コレット。 2・・・支持部(第一の筒体)。 3・・・可動部(第二の筒体)。 4・・・コイルバネ、 5・・・シャフト。 6・・・縦長孔、 8・・・ICパッケージ。
実施例における動作説明図、第3図は、実施例における
他の動作説明図である。 1・・・吸着コレット。 2・・・支持部(第一の筒体)。 3・・・可動部(第二の筒体)。 4・・・コイルバネ、 5・・・シャフト。 6・・・縦長孔、 8・・・ICパッケージ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ICパッケージの搬送装置に取付けられ、真空装置の吸
引力を利用してICパッケージを吸着する吸着コレット
において、 搬送装置に取付けられるとともに真空装置に連結された
第一の筒体と、 上記第一の筒体に、その筒体の中心軸方向に移動可能に
嵌合され、先端でICパッケージを吸着する第二の筒体
と、 上記第二の筒体の、上記第一の筒体に対する移動範囲を
規制する手段と、 上記第二の筒体を、その先端方向へ付勢する手段とを備
えたことを特徴とする吸着コレット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2046764A JPH03251380A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 吸着コレット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2046764A JPH03251380A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 吸着コレット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03251380A true JPH03251380A (ja) | 1991-11-08 |
Family
ID=12756405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2046764A Pending JPH03251380A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 吸着コレット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03251380A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101224859B1 (ko) * | 2010-09-13 | 2013-01-22 | 국방과학연구소 | 진공력을 이용한 가공용 콜렛 척 및 이를 포함하는 가공장치 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5837592U (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-11 | 東芝熱器具株式会社 | ダイアル表示装置 |
| JPS59161288A (ja) * | 1983-03-03 | 1984-09-12 | 三菱重工業株式会社 | 物品受渡し装置 |
| JPS61101321A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-20 | Toshiba Mach Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
| JPH0231687B2 (ja) * | 1982-06-14 | 1990-07-16 | Nonogawa Shoji Yk | |
| JPH03178790A (ja) * | 1989-12-04 | 1991-08-02 | Toshiba Ceramics Co Ltd | バキュームパッド |
-
1990
- 1990-02-27 JP JP2046764A patent/JPH03251380A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5837592U (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-11 | 東芝熱器具株式会社 | ダイアル表示装置 |
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| JPS59161288A (ja) * | 1983-03-03 | 1984-09-12 | 三菱重工業株式会社 | 物品受渡し装置 |
| JPS61101321A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-20 | Toshiba Mach Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
| JPH03178790A (ja) * | 1989-12-04 | 1991-08-02 | Toshiba Ceramics Co Ltd | バキュームパッド |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101224859B1 (ko) * | 2010-09-13 | 2013-01-22 | 국방과학연구소 | 진공력을 이용한 가공용 콜렛 척 및 이를 포함하는 가공장치 |
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