JPH03252602A - 反射防止膜 - Google Patents
反射防止膜Info
- Publication number
- JPH03252602A JPH03252602A JP2049180A JP4918090A JPH03252602A JP H03252602 A JPH03252602 A JP H03252602A JP 2049180 A JP2049180 A JP 2049180A JP 4918090 A JP4918090 A JP 4918090A JP H03252602 A JPH03252602 A JP H03252602A
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- JP
- Japan
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- film
- layer
- antireflection film
- optical component
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＯＡ機器や光通信、光情報処理、カメラなど
の光学機器等の分野において用いられる合成樹脂製光学
部品に対して施される反射防止膜に関する。
の光学機器等の分野において用いられる合成樹脂製光学
部品に対して施される反射防止膜に関する。
従来から、レーザプリンタ、光デイスク装置、レーザ加
工装置や測定装置等のレーザ応用機器、光情報処理機器
、ビデオカメラやビデオプロジェクタ等の電子映像機器
などに用いられるレンズ、プリズムなどの光学部品に対
して、有害な表面反射を低減させるために反射防止層を
設けることが行われている。
工装置や測定装置等のレーザ応用機器、光情報処理機器
、ビデオカメラやビデオプロジェクタ等の電子映像機器
などに用いられるレンズ、プリズムなどの光学部品に対
して、有害な表面反射を低減させるために反射防止層を
設けることが行われている。
また近年、生産性を高め、低コスト化および軽量コンパ
クト化を計るために、光学部品を新たに開発改良された
透明な合成樹脂材料、たとえばアクリル樹脂、ポリカー
ボネート樹脂、ＰＳ樹脂その他の材料を用いて製造する
ことが多くなっている。このような合成樹脂製光学部品
に対する反射防止処理としては、有機シラン系またはア
クリル系の塗料などをデイツプコートあるいはスピンコ
ードして硬化することにより形成したアンダーコート被
膜の上に、真空蒸着法やスパッタリング法などを用いて
反射防止膜を設ける方法があり、また誘電体物質の単層
または多層からなる反射防止膜をたとえば真空蒸着法な
どにより形成する方法も知られている。
クト化を計るために、光学部品を新たに開発改良された
透明な合成樹脂材料、たとえばアクリル樹脂、ポリカー
ボネート樹脂、ＰＳ樹脂その他の材料を用いて製造する
ことが多くなっている。このような合成樹脂製光学部品
に対する反射防止処理としては、有機シラン系またはア
クリル系の塗料などをデイツプコートあるいはスピンコ
ードして硬化することにより形成したアンダーコート被
膜の上に、真空蒸着法やスパッタリング法などを用いて
反射防止膜を設ける方法があり、また誘電体物質の単層
または多層からなる反射防止膜をたとえば真空蒸着法な
どにより形成する方法も知られている。
〔発明が解決しようとする課題］
上記のような合成樹脂製光学部品の表面にアンダーコー
ト処理する方法は、工数が増加してコスト高となり、ま
た光学部品の表面形状によっては均一塗布が困難である
ため高精度を要求される精密光学部品には適しないとい
う問題がある。
ト処理する方法は、工数が増加してコスト高となり、ま
た光学部品の表面形状によっては均一塗布が困難である
ため高精度を要求される精密光学部品には適しないとい
う問題がある。
一方、合成樹脂製光学部品の表面に対して直接に真空蒸
着法などによる反射防止処理を行なうときは、ＭＰ、Ｆ
、やＳｉｎ、等の単層膜の場合には反射防１ト効果が充
分でないうえに膜の密着性や耐久性も良くなく、また多
層膜構成の場合には、２層構成のものは比較的に低コス
１−で形成することができ、中心波長域での反射率を低
くすることが可能であるものの、これから離れた波長域
において反射率を０．５％以下とすることは困難であり
、必ずしも光学部品の反射防止膜として満足できるもの
ではなかった。
着法などによる反射防止処理を行なうときは、ＭＰ、Ｆ
、やＳｉｎ、等の単層膜の場合には反射防１ト効果が充
分でないうえに膜の密着性や耐久性も良くなく、また多
層膜構成の場合には、２層構成のものは比較的に低コス
１−で形成することができ、中心波長域での反射率を低
くすることが可能であるものの、これから離れた波長域
において反射率を０．５％以下とすることは困難であり
、必ずしも光学部品の反射防止膜として満足できるもの
ではなかった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、広い
波長域にわたって反射防止効果が優れるとともに充分な
耐久性を有する、合成樹脂製光学部品用の反射防止膜を
提供することを目的としたものである。
波長域にわたって反射防止効果が優れるとともに充分な
耐久性を有する、合成樹脂製光学部品用の反射防止膜を
提供することを目的としたものである。
〔課題を解決するだめの手段］
かかる本発明の目的は、ＣｅＯ□からなる第１層と、Ｔ
ｉＯ□とＨｆＯ□との複合物またはＴｉＯ７からなる第
２層と、ＳｉＯ２からなる第３層とを、合成樹脂製光学
部品の表面側から順次積層してなる光学部品の反射防止
膜によって達成することができる。
ｉＯ□とＨｆＯ□との複合物またはＴｉＯ７からなる第
２層と、ＳｉＯ２からなる第３層とを、合成樹脂製光学
部品の表面側から順次積層してなる光学部品の反射防止
膜によって達成することができる。
本発明の反射防止膜を合成樹脂製光学部品の表面上に形
成するには、たとえば真空蒸着法やイオンブレーティン
グ法などの薄膜形成技術を用いることができる。このよ
うにして形成された反射防止膜は第１図に示すように、
光学部品ａの上に第１層ｂ、第２層Ｃ１第３層ｄの順に
積層構造をとっている。前記のような第１層、第２層お
よび第３層は、それぞれ適用光の設計波長λに対して０
゜２５λ程度の厚さとなるように形成することが好まし
い。
成するには、たとえば真空蒸着法やイオンブレーティン
グ法などの薄膜形成技術を用いることができる。このよ
うにして形成された反射防止膜は第１図に示すように、
光学部品ａの上に第１層ｂ、第２層Ｃ１第３層ｄの順に
積層構造をとっている。前記のような第１層、第２層お
よび第３層は、それぞれ適用光の設計波長λに対して０
゜２５λ程度の厚さとなるように形成することが好まし
い。
上記のようにして形成された本発明の反射防止膜は、合
成樹脂製の光学部品基材との密着性が良く、広い波長域
にわたって安定した光学特性と優れた耐久性とを有する
ものである。
成樹脂製の光学部品基材との密着性が良く、広い波長域
にわたって安定した光学特性と優れた耐久性とを有する
ものである。
（実施例１〕
特殊な脂環基を有するアクリル樹脂（日立化成０Ｚ−１
０，ｏｏ、屈折率：１．４９）で成形した板状の光学部
品を精密洗浄したのちに充分乾燥し、真空蒸着装置内に
取りイ」けたうえ約７０’Ｃに加熱し、ＣｅＯ□（屈折
率：１．９５）のターゲットを用いて、真空度１×１０
−５トールの条件下で電子ビーム加熱によって、厚さが
１９５ｎｍとなるよう蒸着して第１層を形成した。
０，ｏｏ、屈折率：１．４９）で成形した板状の光学部
品を精密洗浄したのちに充分乾燥し、真空蒸着装置内に
取りイ」けたうえ約７０’Ｃに加熱し、ＣｅＯ□（屈折
率：１．９５）のターゲットを用いて、真空度１×１０
−５トールの条件下で電子ビーム加熱によって、厚さが
１９５ｎｍとなるよう蒸着して第１層を形成した。
次に、ＴｉＯ□（屈折率： ２．２ ）のターゲットを
用いて、この第１層の上に同様にして厚さが１９５ｎｍ
となるよう蒸着して第２層を形成した。
用いて、この第１層の上に同様にして厚さが１９５ｎｍ
となるよう蒸着して第２層を形成した。
更に、ＳｉＯ□（屈折率：１．４５）のターゲットを用
いて、この第２層の上に同様にして厚さが１９５ｎｍと
なるよう蒸着して第３層を形成して、３層構成の反射防
止膜を得た。
いて、この第２層の上に同様にして厚さが１９５ｎｍと
なるよう蒸着して第３層を形成して、３層構成の反射防
止膜を得た。
これらの各層の膜厚は、波長λが７８０ｎｍの光に対し
ていずれも０．２５λに相当するものとなっている。
ていずれも０．２５λに相当するものとなっている。
こうして得た反射防止膜について分光反射率を測定した
結果を第１図に示すが、７００から９００ｎｍの波長域
にわたって反射率が０．３％以下であった。
結果を第１図に示すが、７００から９００ｎｍの波長域
にわたって反射率が０．３％以下であった。
〔実施例２〕
ポリカーボネート樹脂（量大化成ＡＤ−５５０３、屈折
率：１．５７）で成形した板状の光学部品の表面上に、
第２層としてＴｉ０ｚとＨｆＯ□との複合物（新日本金
属ＴｉＯ□ ・Ｓ６、屈折率： ２．２５ ＞を厚さが
１９５ｎｍとなるよう蒸着した他はすべて実施例１と同
様にして、３層構成の反射防止膜を得た。
率：１．５７）で成形した板状の光学部品の表面上に、
第２層としてＴｉ０ｚとＨｆＯ□との複合物（新日本金
属ＴｉＯ□ ・Ｓ６、屈折率： ２．２５ ＞を厚さが
１９５ｎｍとなるよう蒸着した他はすべて実施例１と同
様にして、３層構成の反射防止膜を得た。
こうして得た反射防止膜について分光反射率を測定した
結果を第２図に示すが、′７００から９０Ｏｎｍの波長
域にわたって反射率が０．４％以下であった。
結果を第２図に示すが、′７００から９０Ｏｎｍの波長
域にわたって反射率が０．４％以下であった。
［比較例１］
実施例１と同様な板状の光学部品の表面に、実施例１と
同様な方法により、層の厚さが１９５ｎｍのＭｇＩ２．
（屈折率： 、１．３７ ）の単一層の反射防止膜を
形成した。
同様な方法により、層の厚さが１９５ｎｍのＭｇＩ２．
（屈折率： 、１．３７ ）の単一層の反射防止膜を
形成した。
この反射防止膜について分光反射率を測定した結果を第
３図に示すが、反射率が１．５％以上であった。
３図に示すが、反射率が１．５％以上であった。
〔比較例２）
実施例１と同様な板状の光学部品の表面に、実施例１と
同様な方法により、膜厚が１９５ｎｍであるＬａｚ（Ｌ
＋ （屈折率：１．８）の第１層と膜厚が１９５ｎｍ
であるＳｉＯ□の第２層とからなる積層反射防止膜を形
成した。
同様な方法により、膜厚が１９５ｎｍであるＬａｚ（Ｌ
＋ （屈折率：１．８）の第１層と膜厚が１９５ｎｍ
であるＳｉＯ□の第２層とからなる積層反射防止膜を形
成した。
この反則防止膜について分光反射率を測定した結果を第
４図に示す。この場合、中心波長７８０ｎｍでの反射率
は０．１％以下となるが、波長が中心から離れるに従っ
て、反射率は１％あるいはそれ以上に達している。
４図に示す。この場合、中心波長７８０ｎｍでの反射率
は０．１％以下となるが、波長が中心から離れるに従っ
て、反射率は１％あるいはそれ以上に達している。
［試験例〕
光学部品の表面に設けた反射防止膜の耐久性を以下の方
法で評価した。
法で評価した。
付着性試験：
セロファン粘着テープを膜の表面に密着させたのち垂直
方向に剥して、膜の付着性を調べたところ、実施例１．
２および比較例１．２の膜はいずれも剥離が認められな
がった。
方向に剥して、膜の付着性を調べたところ、実施例１．
２および比較例１．２の膜はいずれも剥離が認められな
がった。
耐湿試験：
温度４５°Ｃ１相対湿度９５％の恒温恒湿槽内に２４時
間放置後乾燥して、膜の状態の変化を観察した。実施例
１．２および比較例２の膜には何らの異常も認められな
かったが、比較例１の膜には曇りが発生していた。
間放置後乾燥して、膜の状態の変化を観察した。実施例
１．２および比較例２の膜には何らの異常も認められな
かったが、比較例１の膜には曇りが発生していた。
また、耐湿試験後の付着性試験では、比較例１の膜で剥
離が生じた。
離が生じた。
熱衝撃試験：
３０°Ｃおよび７０°Ｃの環境に交互に各３０分間放置
することを１０回繰り返したのち常温に戻し、表面状態
を観察した。実施例１．２および比較例２の膜には何ら
の変化も認められなかったが、比較例１の膜にはクラッ
クや曇りが生じていた。
することを１０回繰り返したのち常温に戻し、表面状態
を観察した。実施例１．２および比較例２の膜には何ら
の変化も認められなかったが、比較例１の膜にはクラッ
クや曇りが生じていた。
また、熱衝撃試験後の付着性試験では、比較例１の膜で
剥離が生じた。
剥離が生じた。
第２図および第３図はそれぞれ本発明の実施例１および
実施例２の反射防止膜の分光反射特性図であり、 第４図および第５図はそれぞれ比較例１および比較例２
の反射防止膜の分光反射特性図である。
実施例２の反射防止膜の分光反射特性図であり、 第４図および第５図はそれぞれ比較例１および比較例２
の反射防止膜の分光反射特性図である。
ａ・・・光学部品、ｂ・・・第１層、Ｃ・・・第２層、
ｄ・・・第３層。
ｄ・・・第３層。
本発明の反射防止膜は、化学的および熱的安定性が高い
膜物質から構成されていて合成樹脂基材との密着性が良
く、広い波長域の範囲にわたって低い反射率を維持して
おり、耐久性が優れている特長がある。
膜物質から構成されていて合成樹脂基材との密着性が良
く、広い波長域の範囲にわたって低い反射率を維持して
おり、耐久性が優れている特長がある。
Claims (1)
- ＣｅＯ＿２からなる第１層と、ＴｉＯ＿２とＨｆＯ＿２
との複合物またはＴｉＯ＿２からなる第２層と、ＳｉＯ
＿２からなる第３層とを、合成樹脂製光学部品の表面側
から順次積層してなる光学部品の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2049180A JPH03252602A (ja) | 1990-03-02 | 1990-03-02 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2049180A JPH03252602A (ja) | 1990-03-02 | 1990-03-02 | 反射防止膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03252602A true JPH03252602A (ja) | 1991-11-11 |
Family
ID=12823853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2049180A Pending JPH03252602A (ja) | 1990-03-02 | 1990-03-02 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03252602A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8712269B2 (en) | 2010-05-19 | 2014-04-29 | Ricoh Company, Ltd. | Image forming apparatus capable of timely starting different image formation mode |
-
1990
- 1990-03-02 JP JP2049180A patent/JPH03252602A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8712269B2 (en) | 2010-05-19 | 2014-04-29 | Ricoh Company, Ltd. | Image forming apparatus capable of timely starting different image formation mode |
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