JPH0325402Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、分子線エピタキシヤル成長装置にお
いて基板結晶を保持する装置に関するものであ
る。

（考案の概要） 本考案は分子線エピタキシヤル成長装置におけ
る基板保持装置において、リング状のブロツク本
体と、閉合自在の弾性を有する基板保持用のリン
グとを具備し、前記のブロツク本体のリング状体
の上部に外周がブロツク本体の周縁より凸出し、
内周はブロツク本体の内周と同一のフランジ部を
設け、前記のフランジ部の上面に、先端が内側に
向う逆Ｌ字状の複数のリング係合部を形成し、か
つブロツク本体の内壁に基板を支持する基板保持
部を設け、前記の基板保持用のリングは、両端に
開口部を有し、かつ前記のブロツク本体のリング
保持部に対応する箇所に内周に向つて突出するＵ
字状の係合爪を形成することにより、操作性を向
上せしめることにある。

（従来技術および考案が解決しようとする問題
点） 分子線エピタキシヤル成長法は、超高真空中に
おいて、単体元素を蒸発させ、基板結晶上に単結
晶薄膜として成長させる、結晶成長技術の１つで
ある。この分子線エピタキシヤル装置において、
従来は、基板保持用にモリブテン（Mo）ブロツ
クを用い、このモリブテンブロツクにウエハを取
付けるのにインジウム（In）等ではつけていた。
しかし、Inを用いた取付け方法では、大型ウエハ
の取付けが困難なことや、成長を終了させた後に
基板裏面のInを塩酸等で溶去する工程、ホルダに
付いたInを溶かす工程が必要であり、作業効率が
はなはだ悪いという欠点があつた。一方、Inを用
いない方法もいくつか報告されている。第２図に
示すように支持体２１上にウエハ２２を載せ、お
さえ板２３をネジ止めする方法が提案されてい
る。この方法では基板を直接おさえることによつ
て、基板結晶に歪が入ることや、ネジ止めのスペ
ースを必要とするため、大きなブロツクを用いる
必要があることなどの欠点があつた。加えて、部
品点数が多いために、ブロツク洗浄や基板固定に
手間がかかるのも欠点であつた。

また第３図に示すように、支持体２１に載せた
ウエハ２２をおさえる固定用のリング２５を支持
体２１に針金２４で止める方法も、前述と同様の
欠点を有している。さらに第４図に示すように、
支持体２１に載せたウエハ２２を固定用リング２
５の爪２６でおさえる方法も提案されているが、
この方法では、ウエハの着脱ごとに爪を曲げ又は
のばしてウエハをおさえるため、爪部分が塑性変
形を受けるために多数回の再使用にたえないこと
や、操作性が悪いという欠点があつた。

（問題点を解決するための手段） 本考案は上記のIn等の接着用金属を用いたり、
ネジ止めや針金止め、つめ付きリングを用いたり
する方法に伴う作業効率の悪さを解決し、操作性
の良い基板保持装置を提供することを目的とす
る。

第１図は本考案における分子線エピタキシヤル
成長装置における基板保持装置を示すもので、ａ
は斜視図、ｂは第１図において本体１のＡ−Ａ線
に沿う断面図を示す。図において１はリング状の
ブロツク本体で、この上部に外周がブロツク本体
１の周縁より突出し、内周はブロツク本体１の内
周と同一であるフランジ部２を形成する。さらに
このフランジ部の上面に、先端が内側に向う逆Ｌ
字形の３個のリング係合部３を等間隔に配置す
る。これによつてフランジ部２の上面とリング係
合部３の内側の突出部３ａの下面との間に係合用
の凹部３ｂが形成される。４はブロツク本体１の
内壁に形成された基板保持部４で、この基板保持
部４の上面と、フランジ部２の内壁との間に基板
（図示せず）を収納するための空所が形成される。

１１は基板支持用のリングでバネ性を有する材
料より構成され、両端に開口部１２を有し、この
両端に夫々外側に突出するフツク部１１ａ，１１
ｂが設けられる。またブロツク本体１のリング係
合部３に対応する箇所に内側に向つて突出するＵ
字形の係合爪１３を形成する。この係合爪１３の
外周には凹部１４が形成され、後述するようにこ
の凹部は、ブロツク本体１のリング係合部３の凹
部３ｂと係合するものである。

次に作用について説明する。

ブロツク本体１のフランジ部２と、基板保持部
４との間に、基板を載せる。次に基板支持用のリ
ングの孔１５にリング着脱用工具の先端を挿入
し、リング１１を内側に縮める。ついでこのリン
グの係合爪１３の凹部１３ａを、ブロツク本体１
のリング係合部３の凹部３ｂに係合するように、
基板支持用リングをブロツク本体１に挿入し、リ
ング着脱用工具をリングよりはずすと、リング自
身の弾性力で外側にひろがり、係合爪１３がブロ
ツク本体１のリング係合部と完全に係合する。こ
の場合リングの係合爪１３により、基板を保持す
る。

また係合爪１３と基板（図示せず）との間に僅
かのすきまを保つように、基板保持部４の深さが
調節されている。従つて基板には応力が加わらな
い。

また４ａはブロツクの内壁に形成した段状の基
板保持部より内方に凸出したでつぱりで、この部
分は予め形成した基板の周縁の直線状部分と対向
するので、基板は相対的にブロツクに対して回転
しない。

基板をブロツク本体より取りはずす場合は、リ
ングの孔１５にリング着脱用工具の先端を挿入
し、リング１１を内側に縮め、リング１１をブロ
ツク本体１よりはずし、基板をブロツク本体より
取りはずすことができる。このような構造になつ
ているから、従来の保持方法に比べて格段に迅速
に基板の着脱ができる。また、塑性変形を伴なわ
ないので、本考案の装置は半永久的に使用でき、
かつ部品点数が少ないので、洗浄等も迅速に行う
ことができる。なおこの実施例ではブロツク本
体、基板保持リングとしてMoを用いたが、この
他にもタングステン等の高融点金属を用いても同
様の効果が得られる。

（考案の効果） 本考案は叙上のように構成されているので、 (イ) 基板の着脱が迅速に行うことができる。

(ロ) 部品点数が少く、かつ半永久的に使用するこ
とができる。

(ハ) 取りつけた基板に対して、不必要な応力を加
えることがないので、基板を劣化せしめること
がない。

等の効果を有する。

なお、本考案によればブロツク本体に設けたリ
ング係合部を、電子線回折時に入射電子線及び回
折電子線の通路の外に配置することにより、電子
線による基板表面の観察を容易に行うことでき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の基板保持装置を、第２図乃至
第４図は従来の基板保持装置を示す。 １……ブロツク本体、２……フランジ部、３…
…リング係合部、３ｂ……凹部、４……基板保持
部、１１……基板支持用リング、１２……開口、
１３……係合爪、１４……凹部、１５……孔。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. リング状のブロツク本体と、閉合自在の弾性を
   有する基板保持用のリングとを具備し、前記のブ
   ロツク本体のリング状体の上部にウエハ載置用の
   フランジ部を設け、前記のフランジ部の上面に、
   先端が内側に向う逆Ｌ字状の複数のリング係合部
   を形成し、かつブロツク本体の内壁に基板を支持
   する基板保持部を設け、前記の基板保持用のリン
   グは、開口部を有し、かつ前記のブロツク本体の
   リング保持部に対応する箇所に内周に向つて突出
   するＵ字状の係合爪を形成することを特徴とする
   分子線エピタキシヤル成長装置における基板保持
   装置。