JPH0326046U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0326046U JPH0326046U JP8505789U JP8505789U JPH0326046U JP H0326046 U JPH0326046 U JP H0326046U JP 8505789 U JP8505789 U JP 8505789U JP 8505789 U JP8505789 U JP 8505789U JP H0326046 U JPH0326046 U JP H0326046U
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- JP
- Japan
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- tilt angle
- holder
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- sample
- electron microscope
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Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本案による試料ホールダ傾斜角検出回
路と試料微動装置の構成を示す図である。 ３……対物レンズ、４……試料台、６……試料
ホールダ、７……傾斜モータ、１０……傾斜角表
示機能、１１……傾斜角検出機構、１２……検出
回路、１３……制御回路。
路と試料微動装置の構成を示す図である。 ３……対物レンズ、４……試料台、６……試料
ホールダ、７……傾斜モータ、１０……傾斜角表
示機能、１１……傾斜角検出機構、１２……検出
回路、１３……制御回路。
Claims (1)
- 電子顕微鏡等の試料微動装置内に挿入される試
料ホールダの傾斜角制限の為、検出回路を設ける
と共に各種の試料ホールダごとに許容される最大
の傾斜角を表示しこの表示内容を検出する事によ
り試料ホールダ挿入事に最大傾斜角の設定を行な
い、試料ホールダ傾斜時に発生する試料ホールダ
周辺部との接触や接触により起こる破損防止を図
る事を特徴とする電子顕微鏡等の試料微動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8505789U JPH0326046U (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8505789U JPH0326046U (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0326046U true JPH0326046U (ja) | 1991-03-18 |
Family
ID=31633953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8505789U Pending JPH0326046U (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0326046U (ja) |
-
1989
- 1989-07-21 JP JP8505789U patent/JPH0326046U/ja active Pending
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