JPH0326047U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本案の一実施例の試料全方位傾斜装置
の縦断面図、第２図は試料ホールダ付近の詳細縦
断面図、第３図は第１図の−線断面図である
。 １……真空室、２……対物レンズの上部磁極、
３……対物レンズの下部磁極、４……回転体、４
ａ……第１の回転部材、４ｂ……第２の回転部材
、５……電子光軸、６……真空シール、７……側
壁、８……真空シール、９……気密端子、１０…
…真空シール、１１……リード線、１２……受け
台、１３……ヒータ、１４……バイメタル、１４
ａ……熱膨張係数の大きい金属板、１４ｂ……熱
膨張係数の小さい金属板、１５……試料、１６…
…試料押え、１７……試料ホールダ、１８……ピ
ポツト、１９……ピポツト、２０……試料位置づ
け棒、２１……接続子、２２……リード線、２３
……電源、２４……コントローラ、２５……切換
スイツチ、２６……電流計、２７……リード線。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空室の外部からその内部に耐真空的に延びて
   いると共に、上記真空室内の電子光軸と実質的に
   直交する第１の中心軸の周りで回動可能な回転体
   と、試料を上記第１の中心軸と上記電子光軸との
   交点に実質的に位置づけるように保持する試料ホ
   ールダを備え、上記回転体は、上記試料が上記第
   １の中心軸と上記光軸との交点を実質的に通り、
   かつ上記第１の中心軸と実質的に直光する第２の
   中心軸の周りで回動可能なる様に上記試料ホール
   ダを支持していると共に、上記試料を上記第２の
   軸の周りで回動させる様に上記試料ホールダを回
   動するための機構を支持している電子顕微鏡等の
   試料全方位傾斜装置において、上記回転体にバイ
   メタルスイツチを他端が上記試料ホールダに接触
   する様に設け、該バイメタルスイツチを介して、
   上記ホールダを上記第２の中心軸の周りで回動さ
   せる様に構成したことを特徴とする電子顕微鏡等
   の試料全方位傾斜装置。