JPH0327026A - 液晶表示素子 - Google Patents
液晶表示素子Info
- Publication number
- JPH0327026A JPH0327026A JP1161341A JP16134189A JPH0327026A JP H0327026 A JPH0327026 A JP H0327026A JP 1161341 A JP1161341 A JP 1161341A JP 16134189 A JP16134189 A JP 16134189A JP H0327026 A JPH0327026 A JP H0327026A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- metal layer
- liquid crystal
- crystal display
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は非春型抵抗素子を用いる液晶表示素子に焦り
、特に表示特性に優れる液晶表示素子の構成に関する。
、特に表示特性に優れる液晶表示素子の構成に関する。
金属一絶縁体一金属の３４構造からなる非ｌＭ型抵抗素
子（ＭＩＭ素子）は印加電圧が低い場合には高い抵抗を
示し、印加電圧が高い場合には低い抵抗を示す。この特
性を利用して、ＭＩＭ素子をスイッチング素子として用
い、液晶表示の駆動を行うことができる。このＭ Ｉ
Ｍ素子はガラス基板などの上にスバクタ法などで容易に
形或することができ、しかもフォトリソグラフィー法に
よるバターニング工程が薄膜トランジスタなど他のスイ
ッチング素子とくらべて少なく、製造コストを低くでき
る利点がある。第２図は従来のＭＩＭ素子ネ を用いた液晶表示素子を示し第２図（ａ）はその埋部平
而図である。表面に絶縁層が形成された下部金ｒｉＲ層
ｌ，画素電極３および上部金属層２が示される。第２図
《Ｎは第２図（ａ）のＡ−Ａ矢視図で絶縁基板４。下部
金属層１，絶縁層５●上部金１！／１２および画素電極
３が示される。下部金属ＮＩＩ１としては゛ｒａ，絶縁
層５はＴａを陽極酸化して得られるＴａ２０ｓ ｖ上部
金属層２はＮｉＣｒ／Ａｕ ｅ画素電極としてＩＴＯ（
インジウム，スズ酸化物）が用いられる。
子（ＭＩＭ素子）は印加電圧が低い場合には高い抵抗を
示し、印加電圧が高い場合には低い抵抗を示す。この特
性を利用して、ＭＩＭ素子をスイッチング素子として用
い、液晶表示の駆動を行うことができる。このＭ Ｉ
Ｍ素子はガラス基板などの上にスバクタ法などで容易に
形或することができ、しかもフォトリソグラフィー法に
よるバターニング工程が薄膜トランジスタなど他のスイ
ッチング素子とくらべて少なく、製造コストを低くでき
る利点がある。第２図は従来のＭＩＭ素子ネ を用いた液晶表示素子を示し第２図（ａ）はその埋部平
而図である。表面に絶縁層が形成された下部金ｒｉＲ層
ｌ，画素電極３および上部金属層２が示される。第２図
《Ｎは第２図（ａ）のＡ−Ａ矢視図で絶縁基板４。下部
金属層１，絶縁層５●上部金１！／１２および画素電極
３が示される。下部金属ＮＩＩ１としては゛ｒａ，絶縁
層５はＴａを陽極酸化して得られるＴａ２０ｓ ｖ上部
金属層２はＮｉＣｒ／Ａｕ ｅ画素電極としてＩＴＯ（
インジウム，スズ酸化物）が用いられる。
オフにより光の透過．遮断が制御されるが、画素竃極３
の間隙６は下部金属層が形或されないため、液晶表示素
子に入射した光はそのまま透過する。
の間隙６は下部金属層が形或されないため、液晶表示素
子に入射した光はそのまま透過する。
そのために液晶表示素子のオンオフ時のコントラストが
低下するという問題があった。光を遮断して得られる黒
表示において画素電極間隙部６における光のもれが生じ
るからである。この発明は上述の点に鑑みてなされ、そ
の目的は画素電極間からの光のもれを防止することによ
り表示特性に優れる液晶表示素子を提供することにある
。
低下するという問題があった。光を遮断して得られる黒
表示において画素電極間隙部６における光のもれが生じ
るからである。この発明は上述の点に鑑みてなされ、そ
の目的は画素電極間からの光のもれを防止することによ
り表示特性に優れる液晶表示素子を提供することにある
。
上述の目的はこの発明によれば下部金属層とその上に形
成された絶縁層とを上部金Ｉｌ４Ｎ４を介して画素電極
と電気的に接続してなる液晶表示素子において、下部金
属層の形成されない画素電極の間に遮光層７を備えるこ
とにより達成される。下部金屑層と迩光層は同一もしく
は異なる材料で形成することができる。
成された絶縁層とを上部金Ｉｌ４Ｎ４を介して画素電極
と電気的に接続してなる液晶表示素子において、下部金
属層の形成されない画素電極の間に遮光層７を備えるこ
とにより達成される。下部金屑層と迩光層は同一もしく
は異なる材料で形成することができる。
遮光層を設けると光のもれがなくなり、コントラストが
向上する。
向上する。
次にこの発明の実施例を図面に基いて説明する。
第１図はこの発明の実施例に係る液晶表示素子を示す要
部平面図である。この素子は次のようｔこして！ｌｌ４
製することができる。走査電極となる下部金馬層１をス
パッタ法により，Ｔａ！ｌ’Ｊ！にて厚さ５００ｎｍ形
成したのち１０μ慣巾にバターニングする。次に下部金
１＄＃１のＴａＩＩＬ［を陽極酸化法により酸化し６０
ｎｍ厚みのＴａｚＯａ ！！！．縁層５を形成する。ガ
ラス基板４上にＩＴＯＩｌｉｌをｔｏｏ ｐｍ厚に形成
し、バターニングにより、画素電罹３を形成する。次に
Ｃｕからなる上部金属層２をスバッタ法により１００ｎ
ｍ厚に形或し，パターニングすることによって巾５μｍ
の上部金属層２を形成する。上述の例では上部金属層は
下部金属層ｌの上に形威されるが上部金属層２人をａ光
層７の上に形取することもできる。上述の例では下部金
属層ｌと迩允鳴７は同じものであるからである。
部平面図である。この素子は次のようｔこして！ｌｌ４
製することができる。走査電極となる下部金馬層１をス
パッタ法により，Ｔａ！ｌ’Ｊ！にて厚さ５００ｎｍ形
成したのち１０μ慣巾にバターニングする。次に下部金
１＄＃１のＴａＩＩＬ［を陽極酸化法により酸化し６０
ｎｍ厚みのＴａｚＯａ ！！！．縁層５を形成する。ガ
ラス基板４上にＩＴＯＩｌｉｌをｔｏｏ ｐｍ厚に形成
し、バターニングにより、画素電罹３を形成する。次に
Ｃｕからなる上部金属層２をスバッタ法により１００ｎ
ｍ厚に形或し，パターニングすることによって巾５μｍ
の上部金属層２を形成する。上述の例では上部金属層は
下部金属層ｌの上に形威されるが上部金属層２人をａ光
層７の上に形取することもできる。上述の例では下部金
属層ｌと迩允鳴７は同じものであるからである。
この発明によれば下部金属層とその上に形欣された絶縁
層とを上部金属層を介して画素ｉｔ極と亀気的に接続し
てなる液晶表示素子において、下部金属層の形或されな
い画素電極の間に蓮九層を備えるので、画素電極の間か
らの光のもれがなくなり、表示特性に優れる液晶表示素
子を得ろことができる。
層とを上部金属層を介して画素ｉｔ極と亀気的に接続し
てなる液晶表示素子において、下部金属層の形或されな
い画素電極の間に蓮九層を備えるので、画素電極の間か
らの光のもれがなくなり、表示特性に優れる液晶表示素
子を得ろことができる。
第１図はこの発明の実施例に係る液晶表示素子の要部平
面図、第２図は従来の液晶表示素子を示し．第２図（ａ
ｔは要部平面図、第２図ら》はｆ４２図（ａ）のＡ−Ａ
矢視図である。 １：下部金！Ｓ層、２，２Ａ：上部金属層、３：画素電
極、４：ガラス基板、５：絶縁層、６：Ｉｌｉｉ素電極
間隙、７：３ｌＩｔ光層。
面図、第２図は従来の液晶表示素子を示し．第２図（ａ
ｔは要部平面図、第２図ら》はｆ４２図（ａ）のＡ−Ａ
矢視図である。 １：下部金！Ｓ層、２，２Ａ：上部金属層、３：画素電
極、４：ガラス基板、５：絶縁層、６：Ｉｌｉｉ素電極
間隙、７：３ｌＩｔ光層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）下部金属層とその上に形成された絶縁層とを上部金
属層を介して画素電極と電気的に接続してなる液晶表示
素子において、 下部金属層の形成されない画素電極の間に遮光層を設け
ることを特徴とする液晶表示素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1161341A JPH0327026A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 液晶表示素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1161341A JPH0327026A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 液晶表示素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0327026A true JPH0327026A (ja) | 1991-02-05 |
Family
ID=15733241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1161341A Pending JPH0327026A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 液晶表示素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0327026A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996014599A1 (en) * | 1994-11-08 | 1996-05-17 | Citizen Watch Co., Ltd. | Liquid crystal display |
-
1989
- 1989-06-23 JP JP1161341A patent/JPH0327026A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996014599A1 (en) * | 1994-11-08 | 1996-05-17 | Citizen Watch Co., Ltd. | Liquid crystal display |
| US6128050A (en) * | 1994-11-08 | 2000-10-03 | Citizen Watch Co., Ltd. | Liquid crystal display device with separated anode oxide electrode |
| US6327443B1 (en) | 1994-11-08 | 2001-12-04 | Citizen Watch Co., Ltd. | Liquid crystal display device |
| US6388720B1 (en) | 1994-11-08 | 2002-05-14 | Citizen Watch Co., Ltd. | Liquid crystal display including signal electrodes connected to each other by first anode oxide electrode and auxiliary electrode connected to second anode oxide electrode |
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