JPH03276422A - フレキシブル磁気ディスクの表面研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ５発明の目的 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フレキシブル磁気ディスクの表面研磨方法に
関する。

〔従来の技術〕

通常、可撓性非磁性支持体上に磁性粉と結合剤等とから
なる磁性層を設けて製造されるフレキシブル磁気ディス
クにおいては、記録再生特性と寿命の点でその表面性を
一層向上させるべく、磁性層形成後に円周方向に磁性層
の表面研磨が行われている。

このような表面研磨処理を施すことによって、磁気ヘッ
ドとフレキシブル磁気ディスクの間のスペーシング損失
を大幅に減少させることができ、その結果として、電磁
変換特性の向上と安定化が図られている。

前記フレキシブル磁気ディスクの表面研磨を行なう研磨
装置としては、従来は弾性ロールでバックアップされた
可撓性支持体の一方の面上に、研磨剤粒子と結合剤等か
らなる研磨層を設けたいわゆる研磨テープ、あるいは円
筒形に加工されたセラミックスを用い、高速回転するフ
レキシブル磁気ディスクの研磨面と反対面に、エアナイ
フあるいは弾性ロールをバックアップとして接触させな
がらフレキシブル磁気ディスクの表面を研磨する構造の
ものが一般的である。

フレキシブル磁気ディスクの研磨装置においては、表面
研磨特性が優れていることは勿論の事、いわゆる信号の
書き込み読み取りエラーの原因となる研磨により発生す
る塵埃を、フレキシブル磁気ディスク表面に残さないこ
と、更には、円周方向にスクラッチを発生しないこと等
が必要である。

しかしながら、従来の研磨装置を用いる表面研磨方法で
は、フレキシブル磁気ディスク上に発生する研磨層の除
去は必ずしも充分ではなく、又、該研磨層に起因するス
クラッチの発生を抑止することも困難であった。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明は、かかる従来の欠点を解消し、研磨層の付着、
及び円周方向のスクラッチ、ひいてはミッシングエラー
の発生しにくいフレキシブル磁気ディスクを得るための
表面研磨方法を提供することにある。

口１発明の構成 〔課題を解決するための手段〕 即ち本発明によるフレキシブル磁気ディスクの表面研磨
方法は、円盤状のフレキシブル磁気ディスクの円盤の中
心から円周方向へ放射方向に沿ってエアの吹き出しスリ
ットを有するエアナイフか、又は第２の弾性バックアッ
プロールの内のいずれかによりフレキシブル磁気ディス
クを保持し、−方フレキシブル磁気ディスクを介して該
エアナイフ又は第２のバックアップロールと平行に配置
された研磨テープと、該テープをバックアップする第１
の弾性バックアップロールとからなるフレキシブル磁気
ディスクの表面研磨装置を使用して行なうフレキシブル
磁気ディスクの表面研磨方法において、所定の時間研磨
を行なった後、該研磨テープ及び第１の弾性バックアッ
プロールをフレキシブル磁気ディスクとの接触を保った
まま、前記エアナイフ又は第２の弾性バックアップロー
ルと共に、フレキシブル磁気ディスクの放射方向に沿っ
て内周側より外周側にそのまま、あるいは振幅を０．１
謹−ないし２．０膳腸、及び周期０．１回／秒ないし１
０回／秒の範囲内で揺動させつつ、移動させることによ
り、ノズル、又は第２の弾性バックアップロールと、研
磨テープと研磨テープのバックアップロールをフレキシ
ブル磁気ディスクより離脱させることにより、フレキシ
ブル磁気ディスクの研磨と研磨層の除去を行ない、ミッ
シングエラーの少ないフレキシブル磁気ディスクとする
ことを特徴とするものである。

〔作用〕

本発明の作用機構に関して本発明者は次のように考えて
いる。

即ち第一に、研磨処理終了後、研磨テープがフレキシブ
ル磁気ディスクとの接触を保ったまま、フレキシブル磁
気ディスクの放射方向に沿って内周側より外周側にフレ
キシブル磁気ディスクを回転し、移動しながらフレキシ
ブル磁気ディスクより離脱するので、研磨層を磁気ディ
スク上に残さない。第２に、更に揺動運動を加えること
により、研磨層等により発生するスクラッチの発生を抑
えることが出来る。

これらの効果により清浄度が高く、且つ良好な平滑性を
有する研磨面が得られる。

又、本発明におけるフレキシブル磁気ディスク上のエア
の吹き出しスリットを有するエアナイフ、又は第２の弾
性バックアップロール、及び研磨テープの揺動振幅は、
０．１ｍｍ〜２．０ｗｍの範囲内であればよく、２．０
■ｍ以上では所期の目的の一つであるスクラッチの抑止
性能がなくなり、更に表面研磨性能の一つである研磨面
の均一性、いわゆる研磨むらの程度が著しく悪化し、好
ましくない。又、揺動周期についても同様な理由により
０．１回／秒ないし１０回／秒の範囲内であることが好
ましい。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

（実施例１） 第１図は、本発明のフレキシブル磁気ディスクの表面研
磨方法において使用するフレキシブル磁気ディスク表面
研磨装置の一例である。本装置は、円筒形の第１の弾性
バックアップロール３、研磨テープ２、フレキシブル磁
気ディスク１の表面に該研磨テープの処女面を常時接触
させるための研磨テープ駆動機構（図示せず）、及び該
第１の弾性バックアップロール３より中挟のエア吹き出
しスリットを有するエアナイフ４から成る。又研磨ヘッ
ドとフレキシブル磁気ディスクを保持、回転させるディ
スク駆動部５とで構成される。

ここで、エアナイフ４はフレキシブル磁気ディスクと接
触しないように配置されると共に、円筒形の第１の弾性
バックアップロール３、研磨テープ２、及びエアナイフ
４はフレキシブル磁気ディスク１の面に対し、面平行方
向と面上下方向の両方向に動くことが出来る。

フレキシブル磁気ディスクの表面研磨は第１の弾性バッ
クアップロール３にてバックアップされつつ、テープ駆
動機構により駆動される研磨テープ２が回転するフレキ
シブル磁気ディスク１に接触すると共に、エアナイフ４
から吹き出す高圧のエアにバックアップされることによ
りなされる。

ここで、ノズルのエア吹き出し口（スリット）は、巾０
．６ｍｍＸ長さ２２．　Ｏｎ鳳である。ノズルに供給さ
れるエア圧は、２．０Ｋｇ／Ｃｌ１２とした。

第１の弾性バックアップロール３には、ＪＩＳＫ　　６
３０１によって規定されるゴム硬度４０度、直径φ３０
！１Ｉ１１×長さ２５．４ｍｍのウレタン樹脂を使用し
た。

尚、該第１の弾性バックアップロール３、即ち研磨テー
プの回転方向は、フレキシブル磁気ディスク回転方向と
逆方向であり、研磨テープ駆動量は１０■ｌ／秒とし、
研磨テープの砥粒の大きさは＃８０００である。

又、フレキシブル磁気ディスクの回転数は２０００ｒｐ
■とじた。

第１の弾性バックアップロール３によりバックアップさ
れた研磨テープ２が、フレキシブル磁気ディスク１と接
触し始めてからその後移動を始める迄の時間、即ち研磨
時間は１．０秒とし、その後、第１の弾性バックアップ
ロール３、及び研磨テープ２を、フレキシブル磁気ディ
スク１の放射方向にフレキシブル磁気ディスク１との接
触を保ったままエアナイフ４と共に一体で３．０ｃｍ／
秒の速さでフレキシブル磁気ディスクの内周側より外周
側に移動させながらフレキシブル磁気ディスクから離脱
させた。尚、この時のフレキシブル磁気ディスクの回転
数、研磨テープの駆動量、駆動方向、及びエアナイフに
供給するエア圧は研磨時と同様とした。

以上の条件下において、直径３．５インチに打ち抜いた
フレキシブル磁気ディスクを１００枚研磨処理し試料と
した。

（実施例２） 実施例１において研磨ヘッドの移動を振幅１．５１１！
ｌ、周期０．２回／秒の条件下で揺動させながら行なう
以外は、実施例１と同様にして試料を作成した。

（実施例３） 実施例１において研磨ヘッドの移動を振幅０．５＋＋＋
ｍ、周期２回／秒の条件下で揺動させながら行なう以外
は、実施例１と同様にして試料を作成した。

（実施例４） 実施例１において研磨ヘッドの移動を振幅１．５１１！
ｌ、周期５回／秒の条件下で揺動させながら行なう以外
は、実施例１と同様にして試料を作成した。

以下余白 （実施例５） 実施例１において研磨ヘッドの移動を振幅２．０＋ｕ、
周期１０回／秒の条件下で揺動させながら行なう以外は
、実施例１と同様にして試料を作成した。

（比較例１） 実施例１においてバックアップロールによりバックアッ
プされた研磨テープ、及びエアナイフのフレキシブル磁
気ディスクからの離脱をフレキシブル磁気ディスク面に
垂直に行なった以外は、実施例１と同様にして試料を作
成した。

（比較例２） 実施例２において、揺動の振幅を２．５ｍｓ＋に代えた
以外は、実施例２と同様にして試料を作成した。

以上の実施例、比較例で得られた試料により３．５イン
チフレキシブル磁気ディスクカートリッジを作成し、表
１に示す仕様の信号品質試験機（サーチイーファイヤー
）により、ミッシングエラーの発生頻度を調べると共に
、該ミッシング欠陥部の部分を走査型電子顕微鏡を用い
て観察し、欠陥の原因につき研磨層、スクラッチ、その
他の分類を行なった。ここで、ミッシングエラー検出の
基準となる信号レベルは、記録トラックの平均信号振幅
を１００％とした時のスライスレベルである。試験結果
を表２に示す。

表１ 以下余白 表２ ハ２発明の効果 〔発明の効果〕 本発明によるフレキシブル磁気ディスクの表面研磨法と
することにより、ミッシングエラー発生率は従来の方法
である比較例に比べて、１／２ないし１／７となってお
り、即ち本発明によるフレキシブル磁気ディスクの表面
研磨方法を用いることにより、スクラッチ及び研磨屑発
生頻度の少ないフレキシブル磁気ディスクの表面研磨を
行なうことが出来る。

以下余白

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例及び比較例に用いたフレキシ
ブル磁気ディスク表面研磨装置の正面図。 １・・・フレキシブル磁気ディスク、２・・・研磨テー
プ、３・・・円筒形の第１の弾性バックアップロール、
４・・・エアナイフ、５・・・ディスク駆動部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、フレキシブル磁気ディスクの放射方向に沿ってエア
   の吹き出しスリットを有するエアナイフ、又は第２の弾
   性バックアップロールの内のいずれかと、フレキシブル
   磁気ディスクを間に、該エアナイフ、又は第２のバック
   アップロールと平行に配置された研磨テープ及び該研磨
   テープをバックアップする第１の弾性バックアップロー
   ルとからなる、フレキシブル磁気ディスクの表面研磨装
   置を使用して行なうフレキシブル磁気ディスクの表面研
   磨方法において、所定の時間研磨を行なった後、前記研
   磨テープと第１の弾性バックアップロールとをフレキシ
   ブル磁気ディスクとの接触を保ったまま前記エアナイフ
   、又は第２の弾性バックアップロールと共にフレキシブ
   ル磁気ディスクの内周側より外周側に放射方向に移動さ
   せ、フレキシブル磁気ディスクより離脱させることを特
   徴とするフレキシブル磁気ディスクの表面研磨方法。 ２、研磨テープと第１の弾性バックアップロールをフレ
   キシブル磁気ディスクとの接触を保ったまま、エアナイ
   フ、又は第２の弾性バックアップロールと共にフレキシ
   ブル磁気ディスクの放射方向に沿って内周側より外周側
   方向に、振幅を０．１ｍｍないし２．０ｍｍ、並びに振
   幅の周期を０．１回／秒ないし１０回／秒の範囲内で、
   揺動させつつ移動して離脱させることを特徴とする請求
   項１記載のフレキシブル磁気ディスクの表面研磨方法。