JPH03291392A - 電鋳原版電鋳方法及び電鋳原版 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は光で検出できる光学的な変化で情報信号を記録
される光ディスクの製造方法に関し、特に記録原盤より
情報を転写して電鋳原版を作製するための電鋳方法に関
する。

〔従来の技術〕

近年、コンパクトディスク（ＣＤ）やレーザーディスク
（ＬＤ）　、光磁気ディスク等の様に、光スポットによ
って情報信号を記録／再生する光デイスク媒体が実用化
されている。これらは、非常に高密度の記録が可能とな
ると共に、アクセスが速く、信号面がすり減ることがな
いという特徴がある。

この欅な光デイスク媒体は、アナログ信号である情報信
号をデジタル信号に変換して記録することにより、ダイ
ナミックレンジを上げ、雑音に強い記録としている。一
般にアナログ信号からデジタル信号への変換はパルス符
号変調（ＰＣＭ）により行われており、ＰＣＭ信号に変
調された情報信号は、光スポットによりディスク上の記
録膜に凹凸のピット、反射膜の有無、変形、屈折率変化
、磁化反転といったマークを書き込むことにより記録さ
れている。

従来、この様な光ディスクの製造工程としては、一般に
ガラス盤上に記録材料であるフォトレジスト又は金属層
を所定の厚さに形成し、レーザ光スポットで情報（ビッ
ト列）を露光記録して記録原盤を作製する。そして、前
記記録原盤をニッケル電鋳し、この記録原盤面からピッ
ト列を転写したニッケルマスター盤を得る。そして、剥
離膜処理をした前記ニッケルマスター盤を同様なメツキ
条件にて電鋳し、剥離して数枚のマザー盤を得る。

更に、各マザー盤を同様な処理をし電鋳してそれぞれ数
枚のスタンパ盤を得る。

そこで、該スタンパ盤を用いてプラス千ツク成形で大量
のプラスチック基板を作成する。更に、これらの方法で
前記記録原盤のピント列を転写したプラスチック基板は
用途に応じてそれぞれの膜が蒸着され、組立てられて最
終ディスクとなる。

尚、本明細書中においては、前記ニッケルマスター盤、
マザー盤及びスタンパ盤の如く、前記ビット列を転写す
るために電鋳して得られた電鋳層からなる転写盤を「電
鋳原版」と総称すると共に、マザー盤及びスタンパ盤を
得るために前記ニッケルマスター盤及びマザー盤の裏面
をガラス盤に密着させたものも便宜上「記録原盤」と総
称する。

例えば、ニッケルマスター盤の製造工程について図を参
照して説明すると、第３図に示す様に、フォトレジスト
原盤（記録原盤）１０は、光学研磨されたガラス盤６上
に塗布されたフォトレジスト４にレーザ光スポットでピ
ット列１３をカッティング後、現像することにより作製
されている。そして、該フォトレジスト原盤ｌＯをニッ
ケル電鋳してニッケルマスター盤１１を得るために、前
記フォトレジスト４の表面には銀鏡反応等により導電膜
５が形成されている。

そして、前記フォトレジスト原盤１０を例えばスルファ
ミン酸ニッケル浴の電解液内に浸せきし、前記導電膜５
に通電することにより、前記導電膜５上に約０．３ｍ−
程度の厚みの比較的肉厚のニッケル電鋳層３を形成する
わけであるが、マウンティングプレートの陰電極８によ
って前記導電膜５を直接に通電しようとすると、前記陰
電極８の構造が複雑になると共に前記導電膜５上に均一
な厚さでニッケル電鋳層３を形成するのが難しい。

そこで、前記フォトレジスト原盤ｌＯの外周に電鋳用導
電リング１２を載置し、該電鋳用導電リング１２を介し
て前記導電膜５の全周囲から通電している。即ち、前記
電鋳用導電リング１２は厚さ０．２＋＋ｎ程度のニッケ
ルやその他の導電性の素材からなるリング状部材であり
、前記フォトレジスト原盤１０の外周から適宜張り出す
ように構成されているので、前記フォトレジスト原盤１
０から張り出した部分が、陰電極８と抑え部７からなる
マウンティングプレートと称される部材により挟持され
ており、前記陰電極８から前記電鋳用導電リング１２を
介して前記導電膜５に通電できるようになっている。

従って、第４図に示すように、前記フォトレジスト原盤
ＩＯ上には前記ニッケル電鋳層３と前記電鋳用導電リン
グ１２とが一体となったマスター盤１１の原形が形成さ
れる。

その後、前記フォトレジスト原盤１０、前記ニッケル電
鋳層３および前記電鋳用導電リング１２が一体となった
ものを前記電解液から取り出したのちに、前記ニッケル
電鋳層３の表面にッケルマスター盤１１の裏面になる部
分）を研磨して平滑化処理を行い、その後に前記フォト
レジスト原盤１０と前記ニッケル電鋳層３とを剥離する
ことにより、前記ニッケル電鋳層３と前記電鋳用導電リ
ング１２とが一体となったニッケルマスター盤１１が完
成する。

また、前記ニッケルマスター盤１１の裏面をガラス盤に
密着させたものを同様なメツキ条件にて電鋳し、研磨及
び剥離して数枚のマザー盤を得る場合、或いは前記マザ
ー盤から同様な処理によってスタンパ盤を得る場合にお
いても同じように、ニッケル電鋳層と電鋳用導電リング
とが一体に形成される。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記の如き電鋳工程において得られた電
鋳層及び導電リングから成る電鋳原版は、前記導電リン
グの外周端がガラス盤の外周端から張り出した状態で該
ガラス盤に密着されているので、電鋳工程後における水
洗い工程や裏面の研磨工程といった後工程中に前記導電
リングの外周端が他の部材に接触し易く、前起電梼原版
とガラス盤とが剥離するといった問題がある。

このように、電鋳直後における上記の如き電鋳原版とガ
ラス盤との剥離は、その後の製造工程において、例えば
フォトレジスト層の確実な固定が失われると、該フォト
レジスト層により形成される各複製層等にキズが発生す
るといった問題があったり、また、この剥離した部分か
ら前記電鋳原版とガラス盤との間に、研磨液や電解液が
侵入することにより、異物が付着して傷の発生を多くす
るといった極めて大きな問題があった。

本考案の目的は上記問題点を解消することにあり、ガラ
ス盤と電鋳原版との剥離を防止し、このガラス盤と電鋳
原版との間に水分が侵入することを防止できる電鋳方法
を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の上記目的は、記録原盤の記録面上に電鋳層を形
成することにより前記記録原盤の情報を転写した電鋳原
版を作製する電鋳方法において、前記記録原盤の外径以
下の外径を有する電鋳用導電リングを前記記録原盤の記
録面外周に載置し、該電鋳用導電リングを介して前記記
録原盤の記録面を通電することにより前記記録原盤の記
録面上に電鋳層を電鋳して電鋳原版を作製することを特
徴とする電鋳原版電鋳方法により達成される。

又、他の手段によれば、記録原盤の情報を転写するため
に前記記録原盤の記録面上に電鋳層を形成して成る電鋳
原版であって、前記記録原盤の外径以下の外径を有する
と共に前記記録原盤の記録面外周に載置される電鋳用導
電リングと、該電鋳用導電リングを介して前記記録原盤
の記録面を通電することにより前記記録原盤の記録面上
に電鋳される電鋳層とからなる電鋳原版により達成され
〔実施態様〕 以下、添付図面を参照して本発明の一実施態様を詳細に
説明する。

第１図は光デイスク記録媒体の製造工程における本発明
の電鋳方法を用いたニッケルマスター盤の電鋳工程を示
す要部断面図である。

先ず、従来同様に、フォトレジスト原盤（記録原盤）１
０は、光学研磨されたガラス盤６上に塗布されたフォト
レジスト４にレーザ光スポットでピット列１３をカッテ
ィング後、現像することにより作製されている。そして
、該フォトレジスト原盤ＩＯをニッケル電鋳してニッケ
ルマスター盤ｌを得るために、前記フォトレジスト４の
表面には銀鏡反応等により導電膜５が形成される。

そして、前記フォトレジスト原ｇ１１０表面の外周に該
フォトレジスト原盤１０の外径とほぼ同じ外径を有する
電鋳用導電リング２を載置し、該フォトレジスト原盤１
０を陰電極８と抑え部７からなるマウンティングプレー
トと称される部材にセットする。この時、円環状の導電
プレート９が、前記電鋳用導電リング２と前記陰電極８
との間に連架され、前記電鋳用導電リング２と前記陰電
極８とを導通する。

そこで、前記フォトレジスト原盤ｌＯを例えばスルファ
ミン酸ニンケル浴の電解液内に浸せきし、前記導電プレ
ート９及び電鋳用導電リング２を介して前記導電膜５の
全周囲から通電することにより、該導電膜５上に均一な
厚さでニッケル電鋳層３を形成することができる。そし
て、前記マウンティングプレートから前記フォトレジス
ト原盤１０を取り外すと共に前記導電プレート９も前記
電鋳用導電リング２から外すことにより、第２図に示す
ように、前記フォトレジスト原盤１０上には前記ニッケ
ル電鋳層３と電鋳用導電リング２とが一体となったマス
ター盤１の原形が形成される。

その後、前記フォトレジスト原盤１０、前記ニッケル電
鋳層３および前記電鋳用導電リング２が一体となったも
のを前記電解液から取り出したのちに、前記ニッケル電
鋳層３の表面にッケルマスター盤１の裏面になる部分）
を研磨して平滑化処理を行い、その後に前記フォトレジ
スト原盤ＩＯと前記ニッケル電鋳層３とを剥離すること
により、前記ニッケル電鋳層３と前記電鋳用導電リング
２とが一体となったニッケルマスター盤ｌが完成する。

この時、本発明に基づ（上記電鋳方法によれば、前記電
鋳用導電リング２の外周端が前記ガラス盤６の外周端か
ら張り出すことなく、ニッケルマスター盤ｌが前記フォ
トレジスト原盤１０上に密着されているので、上記の如
き後処理工程中に前記電鋳用導電リング２の外周端が他
の部材に接触して前記ニッケルマスター盤１とガラス盤
１０とが剥離する危険を回避することができる。

従って、前記ニッケルマスター盤１とガラス盤１０とが
剥離した部分から該ニッケルマスター盤ｌとガラス盤１
０との間に、研磨液や電解液が侵入することにより、異
物が付着して前記ニッケルマスター盤１に発生する傷を
防ぐことができる。

なお、上記実施態様においては、ニッケルマスター盤の
電鋳工程について述べたが、本発明はこれに限定される
ものではなく、前記ニッケルマスター盤の裏面をガラス
盤に密着させたものを同様なメツキ条件にて電鋳し、研
磨及び剥離して数枚のマザー盤を得る場合、或いは前記
マザー盤から同様な処理によってスタンパ盤を得る場合
においても同じように応用することができる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明によれば、記録原盤の記録面
上に電鋳層を形成することにより前記記録原盤の情報を
転写した電鋳原版を作製する電鋳方法において、前記記
録原盤の外径以下の外径を有する電鋳用導電リングを前
記記録原盤の記録面外周に載置し、該電鋳用導電リング
を介して前記記録原盤の記録面を通電することにより前
記記録原盤の記録面上に電鋳層を電鋳して電鋳原版を作
製する。

即ち、前記電鋳用導電リングの外周端が前記記録原盤の
外周端から張り出すことなく、前記電鋳原版が前記記録
原盤上に密着されているので、上記の如き後処理工程中
に前記電鋳用導電リングの外周端が他の部材に接触して
前記記録原盤と電鋳原版とが剥離する危険を回避するこ
とができる。

従って、前記記録原盤と電鋳原版との間の剥離が回避さ
れ、該記録原盤と電鋳原版との剥離現象による水分等の
侵入が回避されるので、前記電鋳原版の電鋳層のキズ等
の発生を防止することができる良好な電鋳方法を提供で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施１１樟に基づく光ディスクの製
造工程における電鋳方法を用いたニッケルマスター盤の
電鋳工程を示す要部断面図、第２図は本発明の一実施Ｕ
様に基づくニッケルマスター盤の断面図、第３図は従来
の光ディスクの製造工程における電鋳方法を用いたニッ
ケルマスター盤の電鋳工程を示す要部断面図、第４図は
従来のニッケルマスター盤の断面図である。 （図中符号） １−・ニッケルマスター盤 ２・電鋳用導電リング　３−電鋳層 ５−導電膜 フォトレジスト ガラス盤 陰電極 フォトレジスト原盤 ニッケルマスター盤 電鋳用導電リング　１３−　ビット列。 ７−抑え部 ９・−導電プレート （ほか３名） １、事件の表示 平成２年特許順第９０４５６　　号 ２、発明の名称 電鋳原版電鋳方法及び電鋳原版 ３、補正をする者 事件との関係：特許出願人 名称　　（５２０）富士写真フィルム株式会社４、代理
人　〒１００ 住所　　東泉１盲恒亜帽勤ｖ１３丁目８番１号虎の門三
井ビルＵ階栄光特許事務所 ６、補正により増加する請求項の数：０７、補正の対象
：　明細書の「発明の詳細な説明」の櫂８、補正の内容
： （１）明細書第７頁１７行目の「付着して傷ｊの後に「
あるいはディフェクト」を挿入する。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）、記録原盤の記録面上に電鋳層を形成することに
   より前記記録原盤の情報を転写した電鋳原版を作製する
   電鋳方法において、前記記録原盤の外径以下の外径を有
   する電鋳用導電リングを前記記録原盤の記録面外周に載
   置し、該電鋳用導電リングを介して前記記録原盤の記録
   面を通電することにより前記記録原盤の記録面上に電鋳
   層を電鋳して電鋳原版を作製することを特徴とする電鋳
   原版電鋳方法。
2. （２）、記録原盤の情報を転写するために前記記録原盤
   の記録面上に電鋳層を形成して成る電鋳原版であって、
   前記記録原盤の外径以下の外径を有すると共に前記記録
   原盤の記録面外周に載置される電鋳用導電リングと、該
   電鋳用導電リングを介して前記記録原盤の記録面を通電
   することにより前記記録原盤の記録面上に電鋳される電
   鋳層とからなる電鋳原版。