JPH0329197B2 - - Google Patents

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JPH0329197B2
JPH0329197B2 JP59037338A JP3733884A JPH0329197B2 JP H0329197 B2 JPH0329197 B2 JP H0329197B2 JP 59037338 A JP59037338 A JP 59037338A JP 3733884 A JP3733884 A JP 3733884A JP H0329197 B2 JPH0329197 B2 JP H0329197B2
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JP
Japan
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wiring
group
wiring group
matrix
capacitance
Prior art date
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Application number
JP59037338A
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English (en)
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JPS60183784A (ja
Inventor
Shinichi Kyofuji
Katsumi Nakagawa
Masaki Fukaya
Juichi Masaki
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPH0329197B2 publication Critical patent/JPH0329197B2/ja
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  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Facsimile Heads (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、複数の信号を伝達する配線を有する
配線装置に関し、特にフオトセンサ等に用いられ
て好適なマトリツクス駆動用の配線装置に関す
る。
〔従来技術〕
以下、フオトセンサを例に挙げて、従来技術に
ついて説明する。
従来、例えばフアクシミリ装置の光電変換装置
部としてはシリコンフオトダイオード型の1次元
フオトセンサアレイが一般的に知られている。
又、近年においては、グロー放電、スパツタリン
グ、イオンプレーテイング、真空蒸着等真空装置
を用いた膜形成法、もしくは結着樹脂と混合して
塗布する方法等を用いて被着させた薄膜もしくは
厚膜を積層させて作製した、レンズ系で原稿を縮
小することを必要としない長尺化したフオトセン
サアレイの開発が進んでいる。
この様な長尺化したフオトセンサアレイの方式
として、大きく次の2つがある。つまり、コプレ
ーナ型の光導電タイプとサンドイツチ型の光起電
力タイプがあるが、コプレーナ型の光導電タイプ
はサンドイツチ型光起電力タイプに比べ、光応答
速度では劣るものの、感度つまり光電流の大きさ
は、同面積画素、同一光量の場合光起電力タイプ
より約100倍大きいことが実験的にも理論的にも
示されている。
この光電流が大きいという特性を利用して、実
時間読出し方式(光電流を蓄積しないで、実時間
で光電流を増巾出力する方式)が可能となる。さ
らに、実時間読出し方式は1画素当りの読出し速
度が速い(蓄積時間がいらない)ことから、一次
元長尺フオトセンサアレイのセンサをある個数毎
に分割して読出す方式つまりマトリツクス読出し
方式が可能である。
前述したマトリツクス読出し方式は、第1図に
示すようにm×n個の光電変換要素が一列アレイ
状とされ、この光電変換要素のm個に共通なブロ
ツク電極2がn個あり、m×n個の光電変換要素
毎に独立して設けられたm×n個の個別電極と前
記共通なブロツク電極2と前記独立して設けられ
た個別電極との間に光電変換層とを有する一次元
長尺フオトセンサアレイ部4、前記n個の共通電
極に順次電圧を印加する電圧印加回路6、m×n
個の光電変換要素からm個ずつ並列に出力される
光電流を入力し直列に出力する走査回路部とマト
リツクス配線部8とからなる。
第2図はこのマトリツクス読出しを行う為のマ
トリツクス回路部8が形成されたマトリツクス配
線板9の断面図であり、基板10上に第1配線層
12、絶縁層14、第2配線層16が形成され、
第1配線層12と第2配線層16を部分的にスル
ーホールコンタクト部18で接続させる。
第3図はマトリツクス回路部8の構成図であ
り、20は第1配線層12(第2図)上の第1配
線、22は第2配線層16(第2図)上の第2配
線である。
しかるにこのマトリツクス読出し方式の場合、
回路構成は簡単となるが、配線部が複雑となり配
線部面積が大きくなるという不都合を有する。
特に、画素数が大となりm×nが大となつた場
合、例えばA4サイズを8pel/mmで読取るときは、
m×n=1728であり、読取り速度を最大とするた
めにはm≒n≒√×という関係から、一般に
はm=32;n=54またはm=48;n=36(または
m=64,n=27)が採用される。mの値は回路部
が何チヤンネル集積可能かによつて決定される
が、回路部を低価格にするためにはなるべくチヤ
ンネル数すなわちmの値を小さくしたい。この結
果、m=32;n=54程度の配分が一般的である
が、この場合には前記共通ブロツク電極配線数が
54本、個別電極側マトリツクス配線部は、1728本
の個別電極とそれに交差する32本の配線が必要と
なり、スルーホール数32×54=1728個、及び絶縁
を必要とする交差点32(32−1)/2×54=26784点が 必要となる。
このように一次元長尺フオトセンサアレイにお
いてマトリツクス読出し方式を採用する場合、マ
トリツクス回路部8の配線部は配線本数及び配線
密度の増加、さらに配線長の増加をきたし、その
結果読み出し線1本当りの分布容量を増加し、ひ
いては後述するようにフオトセンサの出力誤差を
増大させるという不都合が発生する。
ここで分布容量と出力誤差の関係について考察
してみる。例えば5ビツト×Nブロツクのマトリ
ツクス配線の場合の等価回路を第4図に示す。第
4図において、光電流読出し中のあるビツトに対
して注目して、近似的に等価回路で示したのが第
5図である。
第5図において24は選択センサ、26は非選
択センサ、28はマトリツクス交差部、30はマ
トリツクス線間部を表わし、C3がマトリツクス
交差部容量、C4がマトリツクス線間容量を表わ
す。このマトリツクス交叉部容量C3及びマトリ
ツクス線間容量C4はA4サイズ(32ビツト×54ブ
ロツク)の場合、次に示すような計算式で表わさ
れる。
C3=(1点当りの交叉部容量)×(交叉部の数)=(
1点当りの交叉部容量) ×(1ブロツクのビツト数−1)×(ブロツク数)
=(1点当りの交叉部容量) ×(32−1)×54=(1点当りの交叉部容量)×16
74……(1) C4=両隣りの配線に対する容量 =C4′×1(ブロツク内の両端に位置
する配線について)……(2a) =C4′×1(ブロツク内の両端に位置
する配線について)……(2a) C4′×2(ブロツク内の両端を除く配線について)……
(2b) (注)注C4′…隣の配線の片方に対
する線間容量 次に交叉部容量C3及びマトリツクス線間容量
C4の値の計算を行なう。
先ずC3の値を計算する。第6図は第1配線2
0と第2配線、22の交叉部32の拡大図を示
し、例えば8pel/mmの画素密度のとき通常第1配
線層12の配線巾l1=65μm、配線隙間l3=60μm
程度となり第2配線層16の配線巾l2=150μm、
配線隙間2l4=150μm、絶縁層14の厚さd=20μ
m、絶縁層比誘導率εr=4となる。よつて交叉部
容量C3は(1)式により C3=εpεrS/d×1674 =8.854×10-12×4×65×10-6 ×150×10-6/(20×10-6)×1674 =29pF となる。
又、マトリツクス線間容量C4の(2a),(2b)
式におけるC4′を求める。
C4′=εo(1+εs)/2・K′(k)/K(k)
・L……(3) Lは配線長 K(k),K′(k)はkを母数とする完全
楕円積分および補数、εsは基板の比誘導率
である。
ここに k=l2/l2+l4 よつて(3)式においてl2=150μm,2l4=150μm,
L=250mmを代入すると C4′≒10pF となり(2a),(2b)式にこれを代入して C4=10pF(ブロツク内の両端に位
置する配線) 20pF(ブロツク内の両端を除く配線) となる。
ここで実際の読取りを考えると、1画素当り
10μsで読取るとしてA4サイズ(1728ビツト)で
は10μs×1728ビツト=17.28ms/lineの読取速度
となる。この読取速度では、第4図に示す回路の
場合、アンプの性能にも依存するが、およそ第7
図に示すような入力容量CIN対出力誤差の関係が
シミユレーシヨン及び実験で得られた。ここで入
力容量CINはC1〜C5までのすべての容量を含めた
ものである。第7図に示す如く、入力容量CIN
増加するにつれて出力誤差の絶対値は直線的に増
加する。
以上考察した如く、一次元長尺フオトセンサア
レイにおいてマトリツクス読出し方式を採用する
場合、マトリツクス回路部8の配線部は配線本数
及び配線密度の増加、さらに配線長の増加の結果
読み出し線1本当りの分布容量が増加しフオトセ
ンサの出力誤差が増大する。
更に第3図に示す従来例においては、第2配線
22の両側部の配線22a,22bは片方にしか
配線が存しない為に第(3)式に示すように他の配線
部の1/2の線間容量となり、全体の入力容量が両 側部だけ小さくなるので読み出し線1本当りの分
布容量にバラツキが生じ、フオトセンサの出力誤
差にもバラツキが生じ光電変換読取装置の読取り
精度及び読取り速度に支障をきたした。
〔目 的〕
本発明の目的は、信号を伝達するための複数の
配線における伝達信号のバラツキを低減する配線
装置を提供することにある。
〔構 成〕
本発明によれば、 基体上に配線部を有する配線装置において、 前記配線部が、信号を伝達するための複数の配
線からなる第1の配線群と、前記配線よりも長く
且つ前記第1の配線群に交差するように設けられ
た信号を伝達するための複数の配線からなる第2
の配線群と、前記第2の配線群の両側に設けられ
た第3の配線と、前記第1の配線群と前記第2の
配線群とに挟持された絶縁層と、を有し、前記第
1の配線群と前記第2の配線群とが前記絶縁層に
設けられたスルーホールを介して接続されている
ことを特徴とする配線装置、 が提供される。
〔作用効果〕 本発明によれば、第1の配線群に交差し、信号
を伝達するための長い配線の複数からなる第2の
配線群の両側に第3の配線としてのダミー配線を
設けることによつて、第2の配線群における両端
部の配線に付加的に容量を与え、線間容量のバラ
ツキが低減される。これに従い、伝達される信号
のバラツキが低減される。このため、光電変換要
素に適用した場合、読取り精度の向上が可能とな
る。
〔実施例〕
以下図面に基づいて本発明の実施例を具体的か
つ詳細に説明する。
第8図は本発明の第1実施例を示し、この第1
実施例においては、第2配線層16に設けられた
第2配線22の最も外側の配線の両外側にダミー
配線34a,34bを設ける。このダミー配線を
設けることにより、第2配線層16の第2配線2
2の線間容量C4は、全て両隣りの配線との線間
容量(即ち(2b)式で表わされる容量)となり、
配線分布容量のバラツキを除去できる。これによ
つて、出力誤差も各ビツトで同様となり、出力誤
差の補正も簡単に行なえる。
第9図は本発明の第2実施例を示し、この第2
実施例の特徴とするところは、ダミー配線34
a,34bを設けるとともに、第1配線層12に
設けられた第1配線20及び第2配線層16に設
けられた第2配線22の配線巾をスルーホールコ
ンタクト部18より小さくし、交叉部32(第6
図)の面積を小さくし交叉部容量C3を小さくす
るものである。該交叉部容量C3の低下に伴ない
CINが減少する為、フオトセンサの出力誤差を低
減し得る。
【図面の簡単な説明】
第1図は光電変換装置の概略回路図、第2図及
び第3図は夫々マトリツクス配線板の断面図及び
構成図、第4図はマトリツクス回路部の等価回路
図、第5図は第4図中の任意のビツトに対する近
似的等価回路図、第6図は第1配線層と第2配線
層の交叉部の拡大図、第7図は出力誤差と入力容
量の関係を示すグラフ、第8図、第9図は夫々本
発明第1実施例、第2実施例に係る第1配線層と
第2配線層の交叉部の拡大図である。 図において9……マトリツクス配線板、10…
…基板、12……第1配線層、14……絶縁層、
16……第2配線層、18……スルーホールコン
タクト部、20……第1配線、22……第2配
線、34a,34b……ダミー配線。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 基体上に配線部を有する配線装置において、 前記配線部が、信号を伝達するための複数の配
    線からなる第1の配線群と、前記配線よりも長く
    且つ前記第1の配線群に交差するように設けられ
    た信号を伝達するための複数の配線からなる第2
    の配線群と、前記第2の配線群の両側に設けられ
    た第3の配線と、前記第1の配線群と前記第2の
    配線群とに挟持された絶縁層と、を有し、前記第
    1の配線群と前記第2の配線群とが前記絶縁層に
    設けられたスルーホールを介して接続されている
    ことを特徴とする配線装置。 2 前記第1の配線群はフオトセンサの複数の光
    電変換要素に接続され、前記第2の配線群は走査
    回路に接続されることを特徴とする、特許請求の
    範囲第1項に記載の配線装置。 3 前記第1の配線群は前記第2の配線群の配線
    数の整数倍の配線からなることを特徴とする、特
    許請求の範囲第2項に記載の配線装置。
JP59037338A 1984-03-01 1984-03-01 配線装置 Granted JPS60183784A (ja)

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JP59037338A JPS60183784A (ja) 1984-03-01 1984-03-01 配線装置

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JPS60183784A JPS60183784A (ja) 1985-09-19
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JPS63224339A (ja) * 1987-03-13 1988-09-19 Nec Corp 集積回路装置
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