JPH0331111B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0331111B2 JPH0331111B2 JP26087784A JP26087784A JPH0331111B2 JP H0331111 B2 JPH0331111 B2 JP H0331111B2 JP 26087784 A JP26087784 A JP 26087784A JP 26087784 A JP26087784 A JP 26087784A JP H0331111 B2 JPH0331111 B2 JP H0331111B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic solvent
- pressure
- cleaned
- tank
- drying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は有機溶剤蒸気乾燥方法に関するもので
ある。
ある。
（従来の技術）
従来の此種蒸気乾燥手段は、第３図に示すよう
に、乾燥槽１内に貯留した有機溶剤２中にヒータ
３を挿入して加熱し、有機溶剤が沸点以上になる
と蒸気（以下溶剤蒸気と称す）４が発生し、上部
に設けた凝縮コイル５中を流れる冷却水により凝
縮して受樋６で受液し、水分離器７に送つて水と
分離させ、有機溶剤のみを乾燥槽１内に戻す。前
記溶剤蒸気４中に汚れたもの、或いは水分のつい
た被洗浄物８を入れると、溶剤蒸気が凝縮して液
化し、被洗浄物８の表面に沿つて流下し、この流
下に伴つて付着している汚物を流下させ、或いは
表面についた水分等を洗い流し、更に、被洗浄物
８が有機溶剤の沸点温度まで温度上昇することに
より乾燥させる。
に、乾燥槽１内に貯留した有機溶剤２中にヒータ
３を挿入して加熱し、有機溶剤が沸点以上になる
と蒸気（以下溶剤蒸気と称す）４が発生し、上部
に設けた凝縮コイル５中を流れる冷却水により凝
縮して受樋６で受液し、水分離器７に送つて水と
分離させ、有機溶剤のみを乾燥槽１内に戻す。前
記溶剤蒸気４中に汚れたもの、或いは水分のつい
た被洗浄物８を入れると、溶剤蒸気が凝縮して液
化し、被洗浄物８の表面に沿つて流下し、この流
下に伴つて付着している汚物を流下させ、或いは
表面についた水分等を洗い流し、更に、被洗浄物
８が有機溶剤の沸点温度まで温度上昇することに
より乾燥させる。
又、溶剤蒸気４中に加熱コイル９を設置し、タ
ンク１０の中に入れた油をヒータ１１で加熱し、
ポンプ１２で加熱コイル９中を循環させることに
より、溶剤蒸気４を更に温度上昇させて、被洗浄
物８の薄物（熱容量の小さいもの）のしみの少な
い乾燥効果を得るようにしている。
ンク１０の中に入れた油をヒータ１１で加熱し、
ポンプ１２で加熱コイル９中を循環させることに
より、溶剤蒸気４を更に温度上昇させて、被洗浄
物８の薄物（熱容量の小さいもの）のしみの少な
い乾燥効果を得るようにしている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、前記手段においては、加熱コイルの伝
熱面積が大きくとれないため、溶剤蒸気を上昇さ
せるのに限界がある。それ故、乾燥効果において
不十分な点があつた。
熱面積が大きくとれないため、溶剤蒸気を上昇さ
せるのに限界がある。それ故、乾燥効果において
不十分な点があつた。
（問題点を解決するための手段）
本発明における有機溶剤蒸気乾燥方法において
は、有機溶剤を常圧での沸点温度より高い温度に
上昇させ、沸点温度より高い蒸気を、有機溶剤の
蒸気中にある被洗浄物に吹き付け、洗浄乾燥を行
うものである。
は、有機溶剤を常圧での沸点温度より高い温度に
上昇させ、沸点温度より高い蒸気を、有機溶剤の
蒸気中にある被洗浄物に吹き付け、洗浄乾燥を行
うものである。
（作 用）
本発明においては従来と同様に、有機溶剤の溶
剤蒸気中に被洗浄物を入れ、溶剤蒸気により洗浄
及び乾燥を行う。このように、洗浄及び乾燥を行
つている被洗浄物に、常圧での沸点温度より高い
温度に高圧下で上昇させた溶剤蒸気を吹き付け、
より一層の汚れ薄として洗浄効果をあげる。
剤蒸気中に被洗浄物を入れ、溶剤蒸気により洗浄
及び乾燥を行う。このように、洗浄及び乾燥を行
つている被洗浄物に、常圧での沸点温度より高い
温度に高圧下で上昇させた溶剤蒸気を吹き付け、
より一層の汚れ薄として洗浄効果をあげる。
（実施例）
本発明方法の第１実施例を第１図に基いて詳細
に説明すると、乾燥槽１内において、有機溶剤２
とヒータ３で加熱し、溶剤蒸気４を発生させ、溶
剤蒸気４中に被洗浄物８を入れて、被洗浄物８に
付着している汚れを落したり、水分を取り除いた
りして乾燥する。尚、図中５は凝縮コイル、６は
受樋である。
に説明すると、乾燥槽１内において、有機溶剤２
とヒータ３で加熱し、溶剤蒸気４を発生させ、溶
剤蒸気４中に被洗浄物８を入れて、被洗浄物８に
付着している汚れを落したり、水分を取り除いた
りして乾燥する。尚、図中５は凝縮コイル、６は
受樋である。
一方、乾燥槽１と並んで圧力容器１３を設置
し、この圧力容器１３内に有機溶剤２を充填し、
この有機溶剤２の導管１４途中に設置したフイル
タ１５及びポンプ１６で循環させて、常時清浄に
保つようにしている。そして、有機溶剤２中にヒ
ータ１７を挿入して有機溶剤２を加熱する。この
加熱により温度上昇させ、常圧での沸点より温度
を上昇させると、圧力が２〜３気圧上昇すること
になる。この圧力は、温度調整器１８でヒータ１
７をコントロールして一定温度に上昇させること
により一定に保つようになつている。尚圧力容器
１３には圧力計１９を設けて測定し、圧力安全弁
２０で設定圧以上に圧力が上昇した際に、開放し
て内部圧力を低下させるようになつている。
し、この圧力容器１３内に有機溶剤２を充填し、
この有機溶剤２の導管１４途中に設置したフイル
タ１５及びポンプ１６で循環させて、常時清浄に
保つようにしている。そして、有機溶剤２中にヒ
ータ１７を挿入して有機溶剤２を加熱する。この
加熱により温度上昇させ、常圧での沸点より温度
を上昇させると、圧力が２〜３気圧上昇すること
になる。この圧力は、温度調整器１８でヒータ１
７をコントロールして一定温度に上昇させること
により一定に保つようになつている。尚圧力容器
１３には圧力計１９を設けて測定し、圧力安全弁
２０で設定圧以上に圧力が上昇した際に、開放し
て内部圧力を低下させるようになつている。
圧力容器１３は下部に排出導管２１を設け、乾
燥槽１に設置したノズル又は孔を設けた複数個の
噴射具２２，２２の噴射用導管２３，２３と連通
する。この排出導管２１はフイルタ２４と電磁弁
２５を設け、各噴射用導管２３，２３に夫々流量
調整弁２６，２６を設けている。そして、電磁弁
２５を開き、流量調整弁２６，２６にて流量を調
節して高圧高温の有機溶剤液を噴射具２２，２２
から噴射して被洗浄物８に吹き付ける。乾燥槽１
内は大気圧なので０気圧であり、噴射具２２，２
２から噴射した溶剤液は圧力が高いため、急に圧
力だけが０に開放されるが、温度は常圧の沸点よ
り高いので、急速に溶剤が蒸気となり、温度の高
い蒸気が被洗浄物８に吹き付けられ、汚れを落
し、且つ洗浄効果をあげる。
燥槽１に設置したノズル又は孔を設けた複数個の
噴射具２２，２２の噴射用導管２３，２３と連通
する。この排出導管２１はフイルタ２４と電磁弁
２５を設け、各噴射用導管２３，２３に夫々流量
調整弁２６，２６を設けている。そして、電磁弁
２５を開き、流量調整弁２６，２６にて流量を調
節して高圧高温の有機溶剤液を噴射具２２，２２
から噴射して被洗浄物８に吹き付ける。乾燥槽１
内は大気圧なので０気圧であり、噴射具２２，２
２から噴射した溶剤液は圧力が高いため、急に圧
力だけが０に開放されるが、温度は常圧の沸点よ
り高いので、急速に溶剤が蒸気となり、温度の高
い蒸気が被洗浄物８に吹き付けられ、汚れを落
し、且つ洗浄効果をあげる。
次に、本発明の第２実施例を第２図に基いて説
明すると、洗浄乾燥槽１′をNo.１槽３０，No.２槽
３１、No.３槽３２の３つに分割し、No.１槽３０の
底に超音波振動子３３を固定して有機溶剤２中に
被洗浄物８を浸漬して超音波洗浄を行い、No.２槽
３１ですすぎを行い、No.３槽３２において被洗浄
物８に第１実施例と同様に噴射具２２，２２から
高圧高温の有機溶剤２を吹きつけるようになつて
いる。高圧容器１３は、導管３４にて予備槽３５
にて接続し、No.１槽３０と予備槽３５とを接続し
てNo.１槽３０から洗浄乾燥槽１′で使用した有機
溶剤を導入し、ポンプ３６で高圧容器１３に送る
ようになつている。尚高圧容器１３の操作は第１
実施例と同一なので、同一符号を付し説明を省略
する。
明すると、洗浄乾燥槽１′をNo.１槽３０，No.２槽
３１、No.３槽３２の３つに分割し、No.１槽３０の
底に超音波振動子３３を固定して有機溶剤２中に
被洗浄物８を浸漬して超音波洗浄を行い、No.２槽
３１ですすぎを行い、No.３槽３２において被洗浄
物８に第１実施例と同様に噴射具２２，２２から
高圧高温の有機溶剤２を吹きつけるようになつて
いる。高圧容器１３は、導管３４にて予備槽３５
にて接続し、No.１槽３０と予備槽３５とを接続し
てNo.１槽３０から洗浄乾燥槽１′で使用した有機
溶剤を導入し、ポンプ３６で高圧容器１３に送る
ようになつている。尚高圧容器１３の操作は第１
実施例と同一なので、同一符号を付し説明を省略
する。
本実施例では同じ有機溶剤を用いて超音波洗浄
から乾燥までを連続して行うことができる。
から乾燥までを連続して行うことができる。
本発明においては、被洗浄物が乾燥槽内の溶剤
蒸気よりも高い温度となるため、乾燥効果をあげ
ることができる。
蒸気よりも高い温度となるため、乾燥効果をあげ
ることができる。
特に、熱容量小さい薄物ガラス、シリコンウエ
ハー等に用いて効果がある。
ハー等に用いて効果がある。
第１図は本発明に係る有機溶剤乾燥方法の第１
実施例の断面図、第２図は第２実施例の断面図、
第３図は従来装置の断面図である。 図中２…有機溶剤、８…被洗浄物、１３…圧力
容器。
実施例の断面図、第２図は第２実施例の断面図、
第３図は従来装置の断面図である。 図中２…有機溶剤、８…被洗浄物、１３…圧力
容器。
Claims (1)
- １ 有機溶剤を常圧での沸点温度より高い温度に
圧力容器内で上昇させ、沸点温度より高い蒸気
を、有機溶剤の蒸気中にある被洗浄物に吹き付
け、洗浄乾燥を行うことを特徴とする有機溶剤蒸
気乾燥方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26087784A JPS61138582A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 有機溶剤蒸気乾燥方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26087784A JPS61138582A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 有機溶剤蒸気乾燥方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61138582A JPS61138582A (ja) | 1986-06-26 |
| JPH0331111B2 true JPH0331111B2 (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=17353992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26087784A Granted JPS61138582A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 有機溶剤蒸気乾燥方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61138582A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5105556A (en) * | 1987-08-12 | 1992-04-21 | Hitachi, Ltd. | Vapor washing process and apparatus |
| JPS6443384A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-15 | Hitachi Ltd | Steam washing method and washer |
-
1984
- 1984-12-12 JP JP26087784A patent/JPS61138582A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61138582A (ja) | 1986-06-26 |
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