JPS61138582A - 有機溶剤蒸気乾燥方法 - Google Patents
有機溶剤蒸気乾燥方法Info
- Publication number
- JPS61138582A JPS61138582A JP26087784A JP26087784A JPS61138582A JP S61138582 A JPS61138582 A JP S61138582A JP 26087784 A JP26087784 A JP 26087784A JP 26087784 A JP26087784 A JP 26087784A JP S61138582 A JPS61138582 A JP S61138582A
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- JP
- Japan
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- organic solvent
- pressure
- temperature
- solvent vapor
- cleaned
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は有機溶剤蒸気乾燥方法に関するものである。
（従来の技術）
従来の此種蒸気乾燥手段は、第３図に示すように、乾燥
槽／内に貯留した有機浴剤２中にヒータ３を挿入して加
熱し、有機溶剤が沸点以上になると蒸気（以下溶剤蒸気
と称す）ｌＡが発生し、上部に設けた凝縮コイルｊ中を
流れる冷却水により凝縮して受樋乙で受液し、水分離器
７に送って水と分離させ、有機溶剤のみを乾燥槽／内に
戻す。前記溶剤蒸気≠中に汚れたもの、或いは水分のつ
いた被洗浄物ｒを入れると、溶剤蒸気が凝縮して液化し
、被洗浄物にの表面に沿って流下し、この流下に伴って
付着している汚物を流下させ、或いは表面についた水分
等を洗い流し、更に１被洗浄物ｒが有機溶剤の沸点温度
まで温度上昇することにより乾燥でせる〇又、浴剤蒸気
≠中に７ＪＯ熱コイルタを設置し、タンク１０の中に入
れた油をヒータ／／で加熱し、ポンプ７．２で加熱コイ
ル７中を循環させることにより、溶剤蒸気弘を更に温度
上昇させて、被洗浄物どの薄物（熱容量の小さいもの）
のじみの少ない乾燥効果を得るようにしている。
槽／内に貯留した有機浴剤２中にヒータ３を挿入して加
熱し、有機溶剤が沸点以上になると蒸気（以下溶剤蒸気
と称す）ｌＡが発生し、上部に設けた凝縮コイルｊ中を
流れる冷却水により凝縮して受樋乙で受液し、水分離器
７に送って水と分離させ、有機溶剤のみを乾燥槽／内に
戻す。前記溶剤蒸気≠中に汚れたもの、或いは水分のつ
いた被洗浄物ｒを入れると、溶剤蒸気が凝縮して液化し
、被洗浄物にの表面に沿って流下し、この流下に伴って
付着している汚物を流下させ、或いは表面についた水分
等を洗い流し、更に１被洗浄物ｒが有機溶剤の沸点温度
まで温度上昇することにより乾燥でせる〇又、浴剤蒸気
≠中に７ＪＯ熱コイルタを設置し、タンク１０の中に入
れた油をヒータ／／で加熱し、ポンプ７．２で加熱コイ
ル７中を循環させることにより、溶剤蒸気弘を更に温度
上昇させて、被洗浄物どの薄物（熱容量の小さいもの）
のじみの少ない乾燥効果を得るようにしている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、前記手段においては、加熱コイルの伝熱面積が
大きくとれないため、溶剤蒸気を上昇させるのに限界が
ある。それ故、乾燥効果において不十分な点があった。
大きくとれないため、溶剤蒸気を上昇させるのに限界が
ある。それ故、乾燥効果において不十分な点があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明における有機溶剤蒸気乾燥力・去においては、有
機溶剤を常圧での沸点温度より高い温度に上昇させ、沸
点温度より高い蒸気を、有機溶剤の蒸気中にある被洗浄
物に吹き付け、洗浄乾燥を行うものである。
機溶剤を常圧での沸点温度より高い温度に上昇させ、沸
点温度より高い蒸気を、有機溶剤の蒸気中にある被洗浄
物に吹き付け、洗浄乾燥を行うものである。
（作 用）
本発明においては従来と同様に、有機溶剤の溶剤蒸気中
に被洗浄物を入れ、溶剤蒸気により洗浄及び乾燥を行う
。このように、洗浄及び乾燥を行っている被洗浄物に、
第王での沸点温度より高い温度に高圧下で上昇させた溶
剤蒸気を吹き付け、より一層の汚れ薄として洗浄効果を
あげる。
に被洗浄物を入れ、溶剤蒸気により洗浄及び乾燥を行う
。このように、洗浄及び乾燥を行っている被洗浄物に、
第王での沸点温度より高い温度に高圧下で上昇させた溶
剤蒸気を吹き付け、より一層の汚れ薄として洗浄効果を
あげる。
（実施Ｉｙ１１ ）
本発明方法の第１実癩例を第１図に基いて詳細に説明す
ると、乾燥槽／内において、有機溶剤２をヒータ３で加
熱し、溶剤蒸気≠を発生させ、溶剤蒸気≠中に被洗浄物
ｒを入れて、被洗浄物♂に付置している汚れを落したり
、水分を取り除いたりして乾燥する。尚、図中夕は凝縮
コイル、乙は受樋である。
ると、乾燥槽／内において、有機溶剤２をヒータ３で加
熱し、溶剤蒸気≠を発生させ、溶剤蒸気≠中に被洗浄物
ｒを入れて、被洗浄物♂に付置している汚れを落したり
、水分を取り除いたりして乾燥する。尚、図中夕は凝縮
コイル、乙は受樋である。
一方、乾燥槽／と並んで圧力容器／３を設置し、この圧
力容器／３内に有機溶剤λを充填し、この有機溶剤２の
導管／≠途中に設置したフィルタ／！及びポンプ／乙で
循環させて、常時清浄に保つようにしている。そして、
有機溶剤２中にヒータ／７を挿入して有機溶剤２を加熱
する。この加熱により温度上昇させ、常圧での沸点よや
温度を上昇させると、圧力が、２〜３気圧上昇すること
になる。この圧力は、温度調整器／♂でヒータ／７をコ
ントロールして一定温度に上昇させることによゆ一定に
保つようになっている。尚圧力容器／３には圧力計７９
を設けて測定し、圧力安全弁２０で設定圧以上に圧力が
上昇した際に、開放して内部出力を低下させるようにな
っている。
力容器／３内に有機溶剤λを充填し、この有機溶剤２の
導管／≠途中に設置したフィルタ／！及びポンプ／乙で
循環させて、常時清浄に保つようにしている。そして、
有機溶剤２中にヒータ／７を挿入して有機溶剤２を加熱
する。この加熱により温度上昇させ、常圧での沸点よや
温度を上昇させると、圧力が、２〜３気圧上昇すること
になる。この圧力は、温度調整器／♂でヒータ／７をコ
ントロールして一定温度に上昇させることによゆ一定に
保つようになっている。尚圧力容器／３には圧力計７９
を設けて測定し、圧力安全弁２０で設定圧以上に圧力が
上昇した際に、開放して内部出力を低下させるようにな
っている。
圧力容器／３は下部に排出導管、２／を設け、乾燥槽／
に設置したノズル又は孔を設けた複数個の噴射具２２．
２２の噴射用導管２３．２３と連通ずる。この排出導管
２／はフィルタ２≠と電磁弁２夕を設け、各噴射用導管
２３．２３に夫々流量調整弁２乙、２乙を設けている。
に設置したノズル又は孔を設けた複数個の噴射具２２．
２２の噴射用導管２３．２３と連通ずる。この排出導管
２／はフィルタ２≠と電磁弁２夕を設け、各噴射用導管
２３．２３に夫々流量調整弁２乙、２乙を設けている。
そして、ｉｉｌ、＠弁２夕を開き、流量調整弁コ乙、２
乙にて流量を調節して高圧高温の有機溶剤液を噴射具２
２．．２２から噴射して被洗浄物♂に吹き付ける。乾燥
槽／内は大気圧なのでＯ気圧であり、噴射具、２２．．
２２から噴射した溶剤液は圧力が高いため、急に圧力だ
けがＯに開放されるが、温度は常圧の沸点より高いので
、急速に溶剤が蒸気となり、温度の高い蒸気が被洗浄物
ｒに吹き付けられ、汚れを落し、且つ洗浄効果をあげる
。
乙にて流量を調節して高圧高温の有機溶剤液を噴射具２
２．．２２から噴射して被洗浄物♂に吹き付ける。乾燥
槽／内は大気圧なのでＯ気圧であり、噴射具、２２．．
２２から噴射した溶剤液は圧力が高いため、急に圧力だ
けがＯに開放されるが、温度は常圧の沸点より高いので
、急速に溶剤が蒸気となり、温度の高い蒸気が被洗浄物
ｒに吹き付けられ、汚れを落し、且つ洗浄効果をあげる
。
次に、本発明の第２実施例を第２図に基いて説明すると
、洗浄乾燥槽／′をｉｇ ／槽３０．＆２槽３／、７糸
３槽３２の３つに分割し、盃／槽３０の底に超音波振動
子３３を固定して有機溶剤λ中に被洗浄物♂を浸漬して
超音波洗浄を行い、ｌＫ２槽３／ですすぎを行い、／１
≦３槽３！において被洗浄物どに第１実施例と同様に噴
射具２２゜２２から高圧高温の有機溶剤コを吹きつける
ようになっているユ高圧容器／３は、導管３ｔＡにて予
備槽３夕にて接続し、高／槽３０と予備槽３ｊとを接続
して＆／槽３０から洗浄乾燥権／′で使用した有機溶剤
を導入し、ポンプ３６で高圧容器／３に送るようになっ
ている。尚高圧容器／３の操作は第１実施例と同一なの
で、同一符号を付し説明を省略する０ 本実施例では同じ有機溶剤を用いて超音波洗浄から乾燥
までを連続して行うことができる。
、洗浄乾燥槽／′をｉｇ ／槽３０．＆２槽３／、７糸
３槽３２の３つに分割し、盃／槽３０の底に超音波振動
子３３を固定して有機溶剤λ中に被洗浄物♂を浸漬して
超音波洗浄を行い、ｌＫ２槽３／ですすぎを行い、／１
≦３槽３！において被洗浄物どに第１実施例と同様に噴
射具２２゜２２から高圧高温の有機溶剤コを吹きつける
ようになっているユ高圧容器／３は、導管３ｔＡにて予
備槽３夕にて接続し、高／槽３０と予備槽３ｊとを接続
して＆／槽３０から洗浄乾燥権／′で使用した有機溶剤
を導入し、ポンプ３６で高圧容器／３に送るようになっ
ている。尚高圧容器／３の操作は第１実施例と同一なの
で、同一符号を付し説明を省略する０ 本実施例では同じ有機溶剤を用いて超音波洗浄から乾燥
までを連続して行うことができる。
本発明においては、被洗浄物が乾燥槽内の溶剤蒸気より
も高い温度となるため、乾燥効果をあげることができる
。
も高い温度となるため、乾燥効果をあげることができる
。
特に、熱容量の小さい薄物ガラス、ンリコンウエハー等
に用いて効果がある。
に用いて効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る有機溶剤乾燥方法の第１実施例の
断面図、第２２１は第２実施例の断面図、゛第３図は従
来装置の断面図である。 図中！・・・有機溶剤、ざ・・・被洗浄物、／３・・・
圧力容器。
断面図、第２２１は第２実施例の断面図、゛第３図は従
来装置の断面図である。 図中！・・・有機溶剤、ざ・・・被洗浄物、／３・・・
圧力容器。
Claims (1)
- 有機溶剤を常圧での沸点温度より高い温度に圧力容器内
で上昇させ、沸点温度より高い蒸気を、有機溶剤の蒸気
中にある被洗浄物に吹き付け、洗浄乾燥を行うことを特
徴とする有機溶剤蒸気乾燥方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26087784A JPS61138582A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 有機溶剤蒸気乾燥方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26087784A JPS61138582A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 有機溶剤蒸気乾燥方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61138582A true JPS61138582A (ja) | 1986-06-26 |
| JPH0331111B2 JPH0331111B2 (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=17353992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26087784A Granted JPS61138582A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 有機溶剤蒸気乾燥方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61138582A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6443384A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-15 | Hitachi Ltd | Steam washing method and washer |
| US5105556A (en) * | 1987-08-12 | 1992-04-21 | Hitachi, Ltd. | Vapor washing process and apparatus |
-
1984
- 1984-12-12 JP JP26087784A patent/JPS61138582A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6443384A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-15 | Hitachi Ltd | Steam washing method and washer |
| US5105556A (en) * | 1987-08-12 | 1992-04-21 | Hitachi, Ltd. | Vapor washing process and apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0331111B2 (ja) | 1991-05-02 |
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