JPH0332046A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH0332046A JPH0332046A JP1167821A JP16782189A JPH0332046A JP H0332046 A JPH0332046 A JP H0332046A JP 1167821 A JP1167821 A JP 1167821A JP 16782189 A JP16782189 A JP 16782189A JP H0332046 A JPH0332046 A JP H0332046A
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- JP
- Japan
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- base plate
- metal base
- bolt
- case
- metal
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は放熱部材等の外部構造物にねじ締めされる半導
体装置に関し、特にそのねじ締め部分の構造に関するも
のである。
体装置に関し、特にそのねじ締め部分の構造に関するも
のである。
従来のこの種の半導体装置のねじ締め部分は第5図に示
すように構成されていた。
すように構成されていた。
第5図は従来のパワーモジュールの取付は穴部を拡大し
て示す断面図で、同図において1は半導体素子(図示せ
ず)を支持するための金属ベース板で、この金属ベース
板1は半導体素子搭載用基板(図示せず)が上面に接合
されており、側縁部には取付はボルト2が挿通されるボ
ルト孔1aが穿設されている。3は前記金属ベース板l
と共にパワーモジュールのパッケージを形成するケース
で、このケース3は全体が合成樹脂によって一体成形さ
れており、前記金属ベース板1上にシリコン系接着剤4
を介して接着されている。前記ケース3における金属ベ
ース板1との接着部には、前記金属ベース仮1のボルト
孔1aと対応する位置にボルト孔3aが穿設されると共
に、金属ベース板1の側縁部を囲む折り返し片3bが形
成されている。また、前記ボルト孔3a内には、ボルト
2が嵌挿される中空部を有する金属リング5が嵌入され
ている。6は半導体素子(図示せず)の熱を放散させる
ための放熱フィンで、この放熱フィン6には前記取付は
ボルト2が螺着されるねじ孔6aが設けられている。な
お、7はばね座金、8は平座金である。
て示す断面図で、同図において1は半導体素子(図示せ
ず)を支持するための金属ベース板で、この金属ベース
板1は半導体素子搭載用基板(図示せず)が上面に接合
されており、側縁部には取付はボルト2が挿通されるボ
ルト孔1aが穿設されている。3は前記金属ベース板l
と共にパワーモジュールのパッケージを形成するケース
で、このケース3は全体が合成樹脂によって一体成形さ
れており、前記金属ベース板1上にシリコン系接着剤4
を介して接着されている。前記ケース3における金属ベ
ース板1との接着部には、前記金属ベース仮1のボルト
孔1aと対応する位置にボルト孔3aが穿設されると共
に、金属ベース板1の側縁部を囲む折り返し片3bが形
成されている。また、前記ボルト孔3a内には、ボルト
2が嵌挿される中空部を有する金属リング5が嵌入され
ている。6は半導体素子(図示せず)の熱を放散させる
ための放熱フィンで、この放熱フィン6には前記取付は
ボルト2が螺着されるねじ孔6aが設けられている。な
お、7はばね座金、8は平座金である。
このように構成されたパワーモジュールを組立てるには
、予め半導体素子等が搭載された金属ベース板1上にケ
ース3をシリコン系接着剤4によって接着し、しかる後
、半導体素子を樹脂封止して行われる。そして、上述し
たように組立てられたパワーモジュールを放熱フィン6
に取付けるには、ケース3の金属リング5内および金属
ベース板1のボルト孔1a内に取付はボルト2を貫通さ
せ、金属ベース板1の裏面を放熱フィン6に当接させた
状態で取付はボルト2の先端を放熱フィン6に螺着させ
ることによって行われる。この際、取付はボルト2をあ
る締付はトルクにて締付けると、平座金8からケース3
の上面に第5図中矢印で示す力Pが加わり、この力Pに
よって金属ベース板1が放熱フィン6に圧接されること
になる。すなわち、従来のパワーモジュールにおいては
、平座金8と対接される金属リング5およびケース3と
の二つの部材によって上述した締付は力Pを受けること
になる。
、予め半導体素子等が搭載された金属ベース板1上にケ
ース3をシリコン系接着剤4によって接着し、しかる後
、半導体素子を樹脂封止して行われる。そして、上述し
たように組立てられたパワーモジュールを放熱フィン6
に取付けるには、ケース3の金属リング5内および金属
ベース板1のボルト孔1a内に取付はボルト2を貫通さ
せ、金属ベース板1の裏面を放熱フィン6に当接させた
状態で取付はボルト2の先端を放熱フィン6に螺着させ
ることによって行われる。この際、取付はボルト2をあ
る締付はトルクにて締付けると、平座金8からケース3
の上面に第5図中矢印で示す力Pが加わり、この力Pに
よって金属ベース板1が放熱フィン6に圧接されること
になる。すなわち、従来のパワーモジュールにおいては
、平座金8と対接される金属リング5およびケース3と
の二つの部材によって上述した締付は力Pを受けること
になる。
しかるに、このように構成された従来のパワーモジュー
ルにおいては、取付はボルト2からの締付は力はケース
3と金属リング5とで受ける構造であるが、金属リング
5は、金属ベース板1とケース3との接着面積を大きく
採るためにその肉厚を薄く設定しなければならない。こ
のため、パワーモジュールを放熱フィン6に取付ける際
に発生する力Pは大部分がケース3が受けることになる
。
ルにおいては、取付はボルト2からの締付は力はケース
3と金属リング5とで受ける構造であるが、金属リング
5は、金属ベース板1とケース3との接着面積を大きく
採るためにその肉厚を薄く設定しなければならない。こ
のため、パワーモジュールを放熱フィン6に取付ける際
に発生する力Pは大部分がケース3が受けることになる
。
ところが、ケース3等に使用される樹脂は一般的に長時
間ある方向に力を加え続けられるとクリープ現象によっ
て変形を起こすため、ケース3においては取付はボルト
2の締付は力Pを殆ど受は持たなくなり、全体として締
付は力が低下されるという問題があった。
間ある方向に力を加え続けられるとクリープ現象によっ
て変形を起こすため、ケース3においては取付はボルト
2の締付は力Pを殆ど受は持たなくなり、全体として締
付は力が低下されるという問題があった。
また、金属ベース板1のボルト孔1aとケース3のボル
ト孔3aとの位置決めは、ケース3の折り返し片3bで
囲まれた部分に金属ベース板lを嵌挿させて行われてい
るが、この折り返し片3bと金属ベース板lの側面との
間にはシリコン系接着剤4が充填されるための僅かな隙
間が設けられており、この隙間のために位置決め精度は
低いものであった。さらにまた、金属ベース板l上にケ
ース3を接着する際にシリコン系接着剤4がボルト孔1
a。
ト孔3aとの位置決めは、ケース3の折り返し片3bで
囲まれた部分に金属ベース板lを嵌挿させて行われてい
るが、この折り返し片3bと金属ベース板lの側面との
間にはシリコン系接着剤4が充填されるための僅かな隙
間が設けられており、この隙間のために位置決め精度は
低いものであった。さらにまた、金属ベース板l上にケ
ース3を接着する際にシリコン系接着剤4がボルト孔1
a。
3a内にはみ出すことがあり、このボルト孔1a、 3
a内で硬化されたシリコン系接着剤4によって取付はボ
ルト2の挿通作業が円滑に行えなくなることがあった。
a内で硬化されたシリコン系接着剤4によって取付はボ
ルト2の挿通作業が円滑に行えなくなることがあった。
本発明に係る半導体装置は、ボルト貫通部分に、ボルト
貫通用中空部が形成された金属リングを外囲ケースに嵌
合させかつ金属ベース板に当接させた状態で装着してな
り、この金属リングは、外囲ケース側端部がボルトの接
圧部分より大きな径をもって形成されると共に、金属ベ
ース板側端部が前記外囲ケース側端部より細く形成され
、この金属ベース板側端部に金属ベース板のボルト孔内
へ挿入される位置決め用突条を突設したものである。
貫通用中空部が形成された金属リングを外囲ケースに嵌
合させかつ金属ベース板に当接させた状態で装着してな
り、この金属リングは、外囲ケース側端部がボルトの接
圧部分より大きな径をもって形成されると共に、金属ベ
ース板側端部が前記外囲ケース側端部より細く形成され
、この金属ベース板側端部に金属ベース板のボルト孔内
へ挿入される位置決め用突条を突設したものである。
ボルトの締付は力を金属リングから外囲ケースを介すこ
となく金属ベース板に直接的に加えることができる。ま
た、金属リングの位置決め用突条を、この金属リングを
外囲ケースに装着させた状態で金属ベース板のボルト孔
内に挿入することによって、外囲ケースと金属ベース板
との位置決めを行なうことができる。さらにまた、金属
ベース板のボルト孔は金属リングによってシールされる
ことになる。
となく金属ベース板に直接的に加えることができる。ま
た、金属リングの位置決め用突条を、この金属リングを
外囲ケースに装着させた状態で金属ベース板のボルト孔
内に挿入することによって、外囲ケースと金属ベース板
との位置決めを行なうことができる。さらにまた、金属
ベース板のボルト孔は金属リングによってシールされる
ことになる。
以下、本発明の一実施例を第1図ないし第4図によって
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第1図は本発明に係る半導体装置の取付は穴部を拡大し
て示す断面図、第2図ないし第4図は本発明に係る金属
リングが得られるまでの経過を示す取付は穴部の断面図
で、第2図は金属リングを肉厚に形成した場合を示し、
第3図は金属リングの金属ベース板側端部を細く形成し
た場合を示し、第4図は金属リングの金属ベース板側端
部に位置決め用突条を設けた状態を示す。これらの図に
おいて前記第5図で説明したものと同一もしくは同等部
材については同一符号を付し、ここにおいて詳細な説明
は省略する。第1図ないし第4図において、11は本発
明に係る金属リングで、この金属リング11は取付はボ
ルト2が貫通される中空部12が半径方向中央部に穿設
され、取付はボルト2の接圧部たる平座金8より大きな
径をもって形成されかつケース3のボルト孔3aに嵌合
される大径部13と、この大径部13より細く形成され
、金属ベース板1の上面に当接される押圧部14と、こ
の押圧部14に金属ベース板1側へ向けて突設され、金
属ヘース板1のボルト孔1a内に挿入される細径部15
とから構成されている。この金属リング11が嵌合され
るケース3のボルト孔3aは、前記金属リング11の大
径部13および押圧部14とが嵌合されるように開口寸
法をケース3の厚み方向略中央部分て変えて形成されて
おり、その大径部分の深さ寸法は、金属リング11の大
径部13における軸方向の長さ寸法よりも大きな寸法を
もって形成されている。この金属リング11を、金属ベ
ース板1上にケース3を接着する際にケース3のポルト
孔りa内に装着すると、金属リング11の押圧部14の
先端面が金属ベース板1に当接され、この金属リング1
1の大径部13における金属ベース板1側端部とケース
3のボルト孔3aにおける大径部分の底部との間に僅か
な(約0.5mm程度)間隙gが設けられることになる
。
て示す断面図、第2図ないし第4図は本発明に係る金属
リングが得られるまでの経過を示す取付は穴部の断面図
で、第2図は金属リングを肉厚に形成した場合を示し、
第3図は金属リングの金属ベース板側端部を細く形成し
た場合を示し、第4図は金属リングの金属ベース板側端
部に位置決め用突条を設けた状態を示す。これらの図に
おいて前記第5図で説明したものと同一もしくは同等部
材については同一符号を付し、ここにおいて詳細な説明
は省略する。第1図ないし第4図において、11は本発
明に係る金属リングで、この金属リング11は取付はボ
ルト2が貫通される中空部12が半径方向中央部に穿設
され、取付はボルト2の接圧部たる平座金8より大きな
径をもって形成されかつケース3のボルト孔3aに嵌合
される大径部13と、この大径部13より細く形成され
、金属ベース板1の上面に当接される押圧部14と、こ
の押圧部14に金属ベース板1側へ向けて突設され、金
属ヘース板1のボルト孔1a内に挿入される細径部15
とから構成されている。この金属リング11が嵌合され
るケース3のボルト孔3aは、前記金属リング11の大
径部13および押圧部14とが嵌合されるように開口寸
法をケース3の厚み方向略中央部分て変えて形成されて
おり、その大径部分の深さ寸法は、金属リング11の大
径部13における軸方向の長さ寸法よりも大きな寸法を
もって形成されている。この金属リング11を、金属ベ
ース板1上にケース3を接着する際にケース3のポルト
孔りa内に装着すると、金属リング11の押圧部14の
先端面が金属ベース板1に当接され、この金属リング1
1の大径部13における金属ベース板1側端部とケース
3のボルト孔3aにおける大径部分の底部との間に僅か
な(約0.5mm程度)間隙gが設けられることになる
。
すなわち、この金属リング11が装着された状態で取付
はボルト2によって金属ベース板1を放熱フィン6にね
じ締めすると、取付はボルト2からの締付は力は平座金
8から金属リング11に伝達され、この金属リング11
を介して金属ベース板1に加えられることになる。この
際、ケース3と金属リング11とは嵌合状態であるが、
前記間隙gが設けられているために取付はボルト2から
の締付は力がケース3に伝えられるようなことはない。
はボルト2によって金属ベース板1を放熱フィン6にね
じ締めすると、取付はボルト2からの締付は力は平座金
8から金属リング11に伝達され、この金属リング11
を介して金属ベース板1に加えられることになる。この
際、ケース3と金属リング11とは嵌合状態であるが、
前記間隙gが設けられているために取付はボルト2から
の締付は力がケース3に伝えられるようなことはない。
したがって、取付はボルト2の締付は力は金属リング1
1からケース3を介すことなく金属ベース板1に直接的
に加わることになる。
1からケース3を介すことなく金属ベース板1に直接的
に加わることになる。
上述したように構成された金属リング11を使用して本
発明に係る半導体装置を組立てるには、金属ベース板l
とケース3とをシリコン系接着剤4によって接着する際
に、金属リング11をケース3のボルト孔3a内に嵌合
させると共に、金属リング11の細径部15を金属ベー
ス板1のボルト孔la内に挿入させて行われる。この際
、金属リング11の押圧部14が金属ベース板lに当接
されることによって、シリコン系接着剤4が金属ベース
板1のボルト孔la内に入り込むのを阻止することがで
きる。
発明に係る半導体装置を組立てるには、金属ベース板l
とケース3とをシリコン系接着剤4によって接着する際
に、金属リング11をケース3のボルト孔3a内に嵌合
させると共に、金属リング11の細径部15を金属ベー
ス板1のボルト孔la内に挿入させて行われる。この際
、金属リング11の押圧部14が金属ベース板lに当接
されることによって、シリコン系接着剤4が金属ベース
板1のボルト孔la内に入り込むのを阻止することがで
きる。
また、金属リング11の細径部15を金属ベース板lの
ボルト孔la内に挿入させることによって、ケース3と
金属ベース板lとの位置決めを行なうことができる。
ボルト孔la内に挿入させることによって、ケース3と
金属ベース板lとの位置決めを行なうことができる。
次に、本発明に係る半導体装置に使用する金属リング1
1を第2図ないし第4図によってさらに詳しく説明する
。
1を第2図ないし第4図によってさらに詳しく説明する
。
ケース3に生じるクリープ現象によって取付はボルト2
の締付は力が低下されるという第1の問題点は、ケース
3で締付は力を伝達させないようにすることで解決する
ことができる。このようにするには、先ず、第2図に示
すように金属リング11の外径を平座金8の外径より大
きく形成することが考えられる。ところが、この金属リ
ング11を使用すると、金属リング11によって金属ベ
ース板1とケース3との接着部分(第2図中a部等ボル
ト孔1a、 3aの周辺部)の面積が狭められるため、
この接着部分の面積を確保するためにケース3および金
属ベース板lを大きく設定しなければならず半導体装置
が大型化されてしまい望ましくない。
の締付は力が低下されるという第1の問題点は、ケース
3で締付は力を伝達させないようにすることで解決する
ことができる。このようにするには、先ず、第2図に示
すように金属リング11の外径を平座金8の外径より大
きく形成することが考えられる。ところが、この金属リ
ング11を使用すると、金属リング11によって金属ベ
ース板1とケース3との接着部分(第2図中a部等ボル
ト孔1a、 3aの周辺部)の面積が狭められるため、
この接着部分の面積を確保するためにケース3および金
属ベース板lを大きく設定しなければならず半導体装置
が大型化されてしまい望ましくない。
上述した接着面積を確保するためには、第3図に示すよ
うに金属リング11の下側の径を小さく設定すればよい
が、このようにすると金属リング11の外周部に形成さ
れた段部から締付は力Pがケース3に伝達されてしまう
。この締付は力Pを受ける部分を第3図中すで示す。こ
のようにケース3で締付は力が伝達される構造ではb部
の樹脂がクリープを起こし、やがて締付は力が低下され
てしまう。そこで、第1図に示すように、金属リング1
1の大径部13における金属ベース板1側端部とケース
3のボルト孔3aにおける大径部分の底部との間に僅か
な間隙gを設けることにより、締付は力を金属リング1
1のみを介して金属ベース板1に伝達することができる
ようになった。これにより締付は力が低下するのを確実
に防止することができる。
うに金属リング11の下側の径を小さく設定すればよい
が、このようにすると金属リング11の外周部に形成さ
れた段部から締付は力Pがケース3に伝達されてしまう
。この締付は力Pを受ける部分を第3図中すで示す。こ
のようにケース3で締付は力が伝達される構造ではb部
の樹脂がクリープを起こし、やがて締付は力が低下され
てしまう。そこで、第1図に示すように、金属リング1
1の大径部13における金属ベース板1側端部とケース
3のボルト孔3aにおける大径部分の底部との間に僅か
な間隙gを設けることにより、締付は力を金属リング1
1のみを介して金属ベース板1に伝達することができる
ようになった。これにより締付は力が低下するのを確実
に防止することができる。
次に、ケース3の金属ベース板lに対する位置決め精度
が低いという第2の問題点を解決する手段に関して説明
する。パワーモジュールは設計上および使用上、位置精
度は金属ベース板1のボルト孔1aが重要視されており
、この部分の位置精度が高いものであるため、このボル
ト孔1aを使用することにより接着後のケース3の位置
精度を高く保つことができる。本発明では、第4図に示
すように、金属リングIfの下部と金属ベース板Iとが
インローCになるように金属リング11の金属ベース板
1側端部に金属ベース板lのボルト孔1a内へ挿入され
る細径部15を設けることによって、金属ベース板1の
ボルト孔1aを使用してケース3を位置決めすることが
できる。なお、シリコン系接着剤4がボルト孔1a、
3a内にはみ出すという第3の問題点は、上述したよう
に金属リング11の細径部15をボルト孔りa内に挿入
させた状態で、金属ベース板1側端部を金属ベース板1
に当接させることによって、金属ベース板1のボルト孔
1aが金属リング11でシールされることになり解決す
ることができる。
が低いという第2の問題点を解決する手段に関して説明
する。パワーモジュールは設計上および使用上、位置精
度は金属ベース板1のボルト孔1aが重要視されており
、この部分の位置精度が高いものであるため、このボル
ト孔1aを使用することにより接着後のケース3の位置
精度を高く保つことができる。本発明では、第4図に示
すように、金属リングIfの下部と金属ベース板Iとが
インローCになるように金属リング11の金属ベース板
1側端部に金属ベース板lのボルト孔1a内へ挿入され
る細径部15を設けることによって、金属ベース板1の
ボルト孔1aを使用してケース3を位置決めすることが
できる。なお、シリコン系接着剤4がボルト孔1a、
3a内にはみ出すという第3の問題点は、上述したよう
に金属リング11の細径部15をボルト孔りa内に挿入
させた状態で、金属ベース板1側端部を金属ベース板1
に当接させることによって、金属ベース板1のボルト孔
1aが金属リング11でシールされることになり解決す
ることができる。
以上説明したように本発明に係る半導体装置は、ボルト
貫通部分に、ボルト貫通用中空部が形成された金属リン
グを外囲ケースに嵌合させかつ金属ベース板に当接させ
た状態で装着してなり、この金属リングは、外囲ケース
側端部がボルトの接圧部分より大きな径をもって形成さ
れると共に、金属ベース板側端部が前記外囲ケース側端
部より細く形成され、この金属ベース板側端部に金属ベ
ース板のボルト孔内へ挿入される位置決め用突条を突設
したため、ボルトの締付は力を金属リングから外囲ケー
スを介すことなく金属ベース板に直接的に加えることが
できる。したがって、ボルトの締付は力が低下されるの
を確実に防ぐことができ、イε頓性の高い半導体装置が
得られる。また、金属リングの位置決め用突条を、この
金属リングを外囲ケースに装着させた状態で金属ベース
板のボルト孔内に挿入することによって、外囲ケースと
金属へ−ス板との位置決めを行なうことができるから、
半導体装置の組立て精度を高めることができると共に、
半導体装置を均一な組立て精度をもって製造することが
できる。さらにまた、金属ベース板のボルト孔は金属リ
ングによってシールされ、この接着剤が取付は孔内には
み出すのを確実に防ぐことができるから、高品質な半導
体装置を得ることができる。
貫通部分に、ボルト貫通用中空部が形成された金属リン
グを外囲ケースに嵌合させかつ金属ベース板に当接させ
た状態で装着してなり、この金属リングは、外囲ケース
側端部がボルトの接圧部分より大きな径をもって形成さ
れると共に、金属ベース板側端部が前記外囲ケース側端
部より細く形成され、この金属ベース板側端部に金属ベ
ース板のボルト孔内へ挿入される位置決め用突条を突設
したため、ボルトの締付は力を金属リングから外囲ケー
スを介すことなく金属ベース板に直接的に加えることが
できる。したがって、ボルトの締付は力が低下されるの
を確実に防ぐことができ、イε頓性の高い半導体装置が
得られる。また、金属リングの位置決め用突条を、この
金属リングを外囲ケースに装着させた状態で金属ベース
板のボルト孔内に挿入することによって、外囲ケースと
金属へ−ス板との位置決めを行なうことができるから、
半導体装置の組立て精度を高めることができると共に、
半導体装置を均一な組立て精度をもって製造することが
できる。さらにまた、金属ベース板のボルト孔は金属リ
ングによってシールされ、この接着剤が取付は孔内には
み出すのを確実に防ぐことができるから、高品質な半導
体装置を得ることができる。
第1図は本発明に係る半導体装置の取付は穴部を拡大し
て示す断面図、第2図ないし第4図は本発明に係る金属
リングが得られるまでの経過を示す取付は穴部の断面図
で、第2図は金属リングを肉厚に形成した場合を示し、
第3図は金属リングの金属ベース板側端部を細く形成し
た場合を示し、第4図は金属リングの金属ベース板側端
部に位置決め用突条を設けた状態を示す。第5図は従来
のパワーモジュールの取付は穴部を拡大して示す断面図
である。 1・・・・金属ベース板、1a・・・・ボルト孔、2・
・・・取付はボルト、3・・・・ケース、4・・・・シ
リコン系接着剤、6・・・・放熱フィン、11・・・・
金属リング、13・・・・大径部、14・・・・押圧部
、15・・・・細径部。
て示す断面図、第2図ないし第4図は本発明に係る金属
リングが得られるまでの経過を示す取付は穴部の断面図
で、第2図は金属リングを肉厚に形成した場合を示し、
第3図は金属リングの金属ベース板側端部を細く形成し
た場合を示し、第4図は金属リングの金属ベース板側端
部に位置決め用突条を設けた状態を示す。第5図は従来
のパワーモジュールの取付は穴部を拡大して示す断面図
である。 1・・・・金属ベース板、1a・・・・ボルト孔、2・
・・・取付はボルト、3・・・・ケース、4・・・・シ
リコン系接着剤、6・・・・放熱フィン、11・・・・
金属リング、13・・・・大径部、14・・・・押圧部
、15・・・・細径部。
Claims (1)
- 樹脂によって形成された外囲ケースが半導体素子支持用
金属ベース板上に接着され、この接着部分を貫通するボ
ルトを介して前記金属ベース板が放熱部材にねじ締めさ
れる半導体装置において、前記ボルト貫通部分に、ボル
ト貫通用中空部が形成された金属リングを外囲ケースに
嵌合させかつ金属ベース板に当接させた状態で装着して
なり、この金属リングは、外囲ケース側端部がボルトの
接圧部分より大きな径をもって形成されると共に、金属
ベース板側端部が前記外囲ケース側端部より細く形成さ
れ、この金属ベース板側端部に金属ベース板のボルト孔
内へ挿入される位置決め用突条を突設したことを特徴と
する半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167821A JP2518408B2 (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167821A JP2518408B2 (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332046A true JPH0332046A (ja) | 1991-02-12 |
| JP2518408B2 JP2518408B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=15856721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1167821A Expired - Lifetime JP2518408B2 (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 半導体装置 |
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1989
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| JP2518408B2 (ja) | 1996-07-24 |
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