JPH0332732B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0332732B2 JPH0332732B2 JP58011396A JP1139683A JPH0332732B2 JP H0332732 B2 JPH0332732 B2 JP H0332732B2 JP 58011396 A JP58011396 A JP 58011396A JP 1139683 A JP1139683 A JP 1139683A JP H0332732 B2 JPH0332732 B2 JP H0332732B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- light
- printed board
- detection device
- light shielding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 発明の技術分野
本発明はプリント板に形成されたスルホールの
ボイド又は欠陥を検査するスルーホール検知装置
に関するものである。
ボイド又は欠陥を検査するスルーホール検知装置
に関するものである。
(ロ) 技術の背景
プリント板の表面と裏面の導電部を相互に電気
的に接続するためプリント板にスルーホールを設
けてこのスルーホールの内面を銅等の導電層によ
つて被覆することによつてスルーホール処理を行
なう。このようにしてスルーホール処理がなされ
たスルーホールは信頼性の面からボイド又は欠陥
は絶対に避けなければならない。
的に接続するためプリント板にスルーホールを設
けてこのスルーホールの内面を銅等の導電層によ
つて被覆することによつてスルーホール処理を行
なう。このようにしてスルーホール処理がなされ
たスルーホールは信頼性の面からボイド又は欠陥
は絶対に避けなければならない。
(ハ) 従来技術と問題点
従来スルーホールは幅又は径が約１mm厚さが約
１mmの大きさであつたためにスルーホールの内壁
のボイド等を検査するのに目視検査が行なわれて
いた。しかしながら半導体装置の集積度向上技術
と相俟つてスルーホールの幅又は径は徐々に小さ
く変化せしめられ約0.2mmと小さくなつた。一方
スルーホールの厚さは約３mmと増加せしめられス
ルーホール形状が細長くなり目視検査は実質的に
不可能となつた。そこで第１図に示されるような
装置を用いて光学的に漏光を検知する方法が行な
われるようになつた。第１図によればプリント板
１にスルーホール２が設られており該スルーホー
ル２の内壁に導電層３が被覆されている。該導電
層３にはスルーホールボイド又は欠陥を４が形成
されている。光源（図示せず）から発せられた光
５はスルーホール開口部に設けられた遮光マスク
６以外を通過しプリント板内に入る。この時１部
の光７は該スルーホールボイド又は欠陥を４から
スルーホール内へ漏れ、レンズ８を介してCCD
などの検知器９によつて検知される。光検知器９
によつて検知されるものは第２図に示すように導
電層３内の円形の光７ａ（漏光）である。第１図
に示したようなスルーホールボイド検査装置は光
源と遮光マスクが分離しているため光源とマスク
それぞれにホルダーが必要でありまた相互の位置
調整が必要であつた。又従来の装置はプリント板
の両側に光学系が必要であり空間的にも不都合で
あつた。
１mmの大きさであつたためにスルーホールの内壁
のボイド等を検査するのに目視検査が行なわれて
いた。しかしながら半導体装置の集積度向上技術
と相俟つてスルーホールの幅又は径は徐々に小さ
く変化せしめられ約0.2mmと小さくなつた。一方
スルーホールの厚さは約３mmと増加せしめられス
ルーホール形状が細長くなり目視検査は実質的に
不可能となつた。そこで第１図に示されるような
装置を用いて光学的に漏光を検知する方法が行な
われるようになつた。第１図によればプリント板
１にスルーホール２が設られており該スルーホー
ル２の内壁に導電層３が被覆されている。該導電
層３にはスルーホールボイド又は欠陥を４が形成
されている。光源（図示せず）から発せられた光
５はスルーホール開口部に設けられた遮光マスク
６以外を通過しプリント板内に入る。この時１部
の光７は該スルーホールボイド又は欠陥を４から
スルーホール内へ漏れ、レンズ８を介してCCD
などの検知器９によつて検知される。光検知器９
によつて検知されるものは第２図に示すように導
電層３内の円形の光７ａ（漏光）である。第１図
に示したようなスルーホールボイド検査装置は光
源と遮光マスクが分離しているため光源とマスク
それぞれにホルダーが必要でありまた相互の位置
調整が必要であつた。又従来の装置はプリント板
の両側に光学系が必要であり空間的にも不都合で
あつた。
(ニ) 発明の目的
上記欠点を鑑み本発明の目的は光学系の調整が
容易なスルーホール検知装置を提供することであ
る。
容易なスルーホール検知装置を提供することであ
る。
本発明の他の目的は装置全体が占める空間を小
さくせしめたスルーホール検知装置を提供するこ
とである。
さくせしめたスルーホール検知装置を提供するこ
とである。
(ホ) 発明の構成
本発明の目的はプリント板に形成されたスルー
ホールのボイド又は欠陥を検査するスリーホール
検査装置において；少なくとも２つの照明手段
と、該照明手段から発せられた光を該スルーホー
ルの開口部に入らぬように遮光せしめる遮光手段
と、該照明手段から発せられた光が該ボイド又は
欠陥から漏れた光を検知する光検知装置とを具備
し且つ該照明手段、該遮光手段及び光検知装置が
該プリント板に対して同一側に配設せしめられて
おり、前記遮光手段が前記プリント板表面上を回
転する円筒型回転体を有することによつて該プリ
ント板を連続的に水平移動可能にせしめたことを
特徴とするスルーホール検知装置によつて達成さ
れる。
ホールのボイド又は欠陥を検査するスリーホール
検査装置において；少なくとも２つの照明手段
と、該照明手段から発せられた光を該スルーホー
ルの開口部に入らぬように遮光せしめる遮光手段
と、該照明手段から発せられた光が該ボイド又は
欠陥から漏れた光を検知する光検知装置とを具備
し且つ該照明手段、該遮光手段及び光検知装置が
該プリント板に対して同一側に配設せしめられて
おり、前記遮光手段が前記プリント板表面上を回
転する円筒型回転体を有することによつて該プリ
ント板を連続的に水平移動可能にせしめたことを
特徴とするスルーホール検知装置によつて達成さ
れる。
(ヘ) 発明の実施例
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。第３図は本発明に係る実施例を説明するため
の概略断面図である。
る。第３図は本発明に係る実施例を説明するため
の概略断面図である。
第３図において、２つの照明灯１５がプリント
板１１に形成されたスルーホール１２の側面を照
明するように配設されており、又スルーホール１
２開口部近傍には、２組の遮光板１６ａ及び遮光
用ロール１６ｂが接続されて対向するように配設
されている。これら遮光板１６ａ及び遮光ロール
１６ｂがスルーホール開口付近に設けられ且つ該
ロール１６ｂがプリント板上を移動するようにな
つているため照明灯１５の光が開口部に入らない
ようになつている。またスルーホール１２を構成
する導電層にボイド又は欠陥１４からスルーホー
ル内へ漏れた光を検知する例えばテレビカメラ
CCD等の光検知装置１９がロール１６ｂのほヾ
中央上方部に設けられている。
板１１に形成されたスルーホール１２の側面を照
明するように配設されており、又スルーホール１
２開口部近傍には、２組の遮光板１６ａ及び遮光
用ロール１６ｂが接続されて対向するように配設
されている。これら遮光板１６ａ及び遮光ロール
１６ｂがスルーホール開口付近に設けられ且つ該
ロール１６ｂがプリント板上を移動するようにな
つているため照明灯１５の光が開口部に入らない
ようになつている。またスルーホール１２を構成
する導電層にボイド又は欠陥１４からスルーホー
ル内へ漏れた光を検知する例えばテレビカメラ
CCD等の光検知装置１９がロール１６ｂのほヾ
中央上方部に設けられている。
上記本発明のスルーホール検査装置を用いてス
ルーホールを検査する方法を以下説明する。
ルーホールを検査する方法を以下説明する。
移動ステージ１０上にスルホール１２を有する
プリント板１１を載置し、該スルーホールの開口
付近に本装置を移動させる。照明灯１５をつける
スルーホール１２を側面から照明する。スルーホ
ールを構成する導電層に欠陥１４があれば照明灯
１５から出た発はその欠陥１４からスルーホール
１２内へ漏れ、光学的に該漏光を検知すべく配設
されている光検装置によつて検知される。照明灯
１５から出た光をスルーホールの開口部から入ら
ないように遮光する装置で且つプリント板と接す
る部分に用いる遮光手段は、プリント板上で移動
しやすくしかもプリント板を損傷しないためにも
ロールであることが好ましくはその材質はゴム、
等が好ましい。またスルーホール１２をはさんで
対向的に位置されたロールの間隙はスルーホール
の内径に応じて予め適宜セツトされているのが好
ましい。
プリント板１１を載置し、該スルーホールの開口
付近に本装置を移動させる。照明灯１５をつける
スルーホール１２を側面から照明する。スルーホ
ールを構成する導電層に欠陥１４があれば照明灯
１５から出た発はその欠陥１４からスルーホール
１２内へ漏れ、光学的に該漏光を検知すべく配設
されている光検装置によつて検知される。照明灯
１５から出た光をスルーホールの開口部から入ら
ないように遮光する装置で且つプリント板と接す
る部分に用いる遮光手段は、プリント板上で移動
しやすくしかもプリント板を損傷しないためにも
ロールであることが好ましくはその材質はゴム、
等が好ましい。またスルーホール１２をはさんで
対向的に位置されたロールの間隙はスルーホール
の内径に応じて予め適宜セツトされているのが好
ましい。
(ト) 発明の効果
以上説明したように本発明に係る装置はプリン
ト板に対して同一側に配設されているために両側
配置を必要とする従来装置に比して利用空間が小
さく、各装置の調節も容易に行なうことが可能と
なる。
ト板に対して同一側に配設されているために両側
配置を必要とする従来装置に比して利用空間が小
さく、各装置の調節も容易に行なうことが可能と
なる。
第１図及び第２図は従来技術を説明するための
概略断面図及び平面図であり、第３図は本発明の
１つの実施例を説明するための概略断面図であ
る。 １，１１……プリント板、２，１２……スルー
ホール、３，１３……導電層、４，１４……ボイ
ド又は欠陥、５……光、６……スルーホール遮蔽
用遮光マスク、７，７ａ……漏光、８，１８……
レンズ、９……光検知器、１０……移動ステー
ジ、１５……ボイド又は欠陥検知用照明灯、１６
ａ……遮光板、１６ｂ……遮光ロール、１９……
光検知装置。
概略断面図及び平面図であり、第３図は本発明の
１つの実施例を説明するための概略断面図であ
る。 １，１１……プリント板、２，１２……スルー
ホール、３，１３……導電層、４，１４……ボイ
ド又は欠陥、５……光、６……スルーホール遮蔽
用遮光マスク、７，７ａ……漏光、８，１８……
レンズ、９……光検知器、１０……移動ステー
ジ、１５……ボイド又は欠陥検知用照明灯、１６
ａ……遮光板、１６ｂ……遮光ロール、１９……
光検知装置。
Claims (1)
- １ プリント板に形成されたスルーホールのボイ
ド又は欠陥を検査するスルーホール検査装置にお
いて、少なくとも２つの照明手段と、該照明手段
から発せられた光を該スルーホールの開口部に入
らぬように遮光せしめる遮光手段と、該照明手段
から発せられた光が該ボイド又は欠陥から漏れた
光を検知する光検知装置とを具備し且つ該照明手
段、該遮光手段及び光検知装置が該プリント板に
対して同一側に配設せしめられており前記遮光手
段が前記プリント板表面上を回転する円筒型回転
体を有することによつて該プリント板を連続的に
水平移動可能にせしめたことを特徴とするスルー
ホール検知装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1139683A JPS59150329A (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | スル−ホ−ル検査装置 |
| US06/554,543 US4560273A (en) | 1982-11-30 | 1983-11-23 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
| DE8383307291T DE3377527D1 (en) | 1982-11-30 | 1983-11-30 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
| EP83307291A EP0111404B1 (en) | 1982-11-30 | 1983-11-30 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1139683A JPS59150329A (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | スル−ホ−ル検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59150329A JPS59150329A (ja) | 1984-08-28 |
| JPH0332732B2 true JPH0332732B2 (ja) | 1991-05-14 |
Family
ID=11776847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1139683A Granted JPS59150329A (ja) | 1982-11-30 | 1983-01-28 | スル−ホ−ル検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59150329A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5920840A (ja) * | 1982-07-28 | 1984-02-02 | Fujitsu Ltd | 欠陥検査装置 |
-
1983
- 1983-01-28 JP JP1139683A patent/JPS59150329A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59150329A (ja) | 1984-08-28 |
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