JPS59150327A - スル−ホ−ル検査装置 - Google Patents
スル−ホ−ル検査装置Info
- Publication number
- JPS59150327A JPS59150327A JP1139483A JP1139483A JPS59150327A JP S59150327 A JPS59150327 A JP S59150327A JP 1139483 A JP1139483 A JP 1139483A JP 1139483 A JP1139483 A JP 1139483A JP S59150327 A JPS59150327 A JP S59150327A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- printed board
- light
- void
- defect
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）発明の技術分野
本発明はプリント板に形成されたスルーホールのボイド
又は欠陥を検査するプリント仮検査装置に関するもので
ある。
又は欠陥を検査するプリント仮検査装置に関するもので
ある。
（ロ） 技術の背景
プリント板の表面と裏面の４電部を相互に電気的に接続
するためプリント板にスルーホールを設けてそのスルー
ホールの内面を銅等の導電層によって被覆することによ
ってスルーホール処理を行なう。このよりにしてスルー
ホール処理がなされたスルーホールは（Ｎ頼性の面から
ボイド又は欠陥は絶対に避けなければならない。
するためプリント板にスルーホールを設けてそのスルー
ホールの内面を銅等の導電層によって被覆することによ
ってスルーホール処理を行なう。このよりにしてスルー
ホール処理がなされたスルーホールは（Ｎ頼性の面から
ボイド又は欠陥は絶対に避けなければならない。
（ハ）従来技術と問題点
従来スルーホールは幅又は径が約１關厚さが約１ａｌの
大きさであったためにスルーホールの内壁のボイド等を
検査するのに目視検査が行なわれていｆｃｏＬ／かしな
がら手導体装置の集積度同士技術と相俟ってスルーホー
ルの幅又は径は徐々に小さく変化せしめられ約０．２１
１１１と小さくなった。一方スルーホールの厚さはプリ
ント板の多層化に伴ない約３１１！１１と増加せしめら
れスルーホール形状が細長くなり目視検査は実質的に不
可能となった。そこで第１図に示されるような装置を用
いて光学的に漏光を検知する方法が行なわれるようにな
った。
大きさであったためにスルーホールの内壁のボイド等を
検査するのに目視検査が行なわれていｆｃｏＬ／かしな
がら手導体装置の集積度同士技術と相俟ってスルーホー
ルの幅又は径は徐々に小さく変化せしめられ約０．２１
１１１と小さくなった。一方スルーホールの厚さはプリ
ント板の多層化に伴ない約３１１！１１と増加せしめら
れスルーホール形状が細長くなり目視検査は実質的に不
可能となった。そこで第１図に示されるような装置を用
いて光学的に漏光を検知する方法が行なわれるようにな
った。
第１図によればプリント板１にスルーホール２が設けら
れて２シ該スルーホール２の内壁に導電層３が被覆され
ている。該導電層３にはスルーホールボイド又は欠陥４
が形成されている。光源（図示せス）から発せられた光
５はスルーホール開口部に設けられた連光マスク６以外
を通過しプリント板内に入る。この時１部の元７は該ス
ルーホールボイド又は欠陥４からスルーホール内へ漏れ
、レンズ８を弁して光検知器９によって検知される。
れて２シ該スルーホール２の内壁に導電層３が被覆され
ている。該導電層３にはスルーホールボイド又は欠陥４
が形成されている。光源（図示せス）から発せられた光
５はスルーホール開口部に設けられた連光マスク６以外
を通過しプリント板内に入る。この時１部の元７は該ス
ルーホールボイド又は欠陥４からスルーホール内へ漏れ
、レンズ８を弁して光検知器９によって検知される。
光検知器９によって検知されるものは第２図に示すよう
に導電層３内の円形の元７ａ（漏光）である。第１図に
示したようなスルーホールボイド検査装置は′ｙｔ、源
と逆光マスクが分離している念め光源とマスクそれぞれ
にホルダーが必要でありまた相互の位置調整が必要であ
った０ に）発明の目的 上記欠点を鑑み本発明の目的は照明系を簡素化したスル
ーホールボイド検査装置を提供することである。
に導電層３内の円形の元７ａ（漏光）である。第１図に
示したようなスルーホールボイド検査装置は′ｙｔ、源
と逆光マスクが分離している念め光源とマスクそれぞれ
にホルダーが必要でありまた相互の位置調整が必要であ
った０ に）発明の目的 上記欠点を鑑み本発明の目的は照明系を簡素化したスル
ーホールボイド検査装置を提供することである。
本発明の他の目的は大面積のスルーホールの検査が可能
なスルーホールボイド横歪装置を提供することである。
なスルーホールボイド横歪装置を提供することである。
（ホ）発明の構成
本発明の目的はプリント板内に配設したスルーホールの
内壁を検査するために、期間手段と、該スルーホールの
１端の開口部に近接して配設した遮光手段と、前記照明
手段から出された元のうち前記プリント基板を介して前
記スルーホールのボイド又は欠陥から漏れた元を検知す
る４元検知装置とを具備してなるスルーホール検査装置
に２いて前記遮光手段が前記照明手段に被層されている
ことを特徴とするスルーホール検査装置によって達成さ
れる。
内壁を検査するために、期間手段と、該スルーホールの
１端の開口部に近接して配設した遮光手段と、前記照明
手段から出された元のうち前記プリント基板を介して前
記スルーホールのボイド又は欠陥から漏れた元を検知す
る４元検知装置とを具備してなるスルーホール検査装置
に２いて前記遮光手段が前記照明手段に被層されている
ことを特徴とするスルーホール検査装置によって達成さ
れる。
該照明手段は横断面積が細長い矩形（短冊）状を有する
螢光灯であるのが好ましく特に高輝度蛍光灯であるのが
好ましい。
螢光灯であるのが好ましく特に高輝度蛍光灯であるのが
好ましい。
更に該照明手段に被層せしめる逅光手段ｒｌ：該照明手
段との被着側の反対面、すなわちスルーホール開口４を
被覆する面、が平面であるのが好筐しくその材質として
は黒色ゴム、黒色プラスチック等が有利である。
段との被着側の反対面、すなわちスルーホール開口４を
被覆する面、が平面であるのが好筐しくその材質として
は黒色ゴム、黒色プラスチック等が有利である。
（へ）発明の実Ｍ例
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第３図は本発明に係る１つの実施例を説明するための概
略斜視図であ夛、第４図はその概略断面図であり、説明
をわか９やすくするためにプリント板の厚みを拡大して
図示した。
略斜視図であ夛、第４図はその概略断面図であり、説明
をわか９やすくするためにプリント板の厚みを拡大して
図示した。
第３図によれば例えば横２００胴、＄２００Ｋｍ。
を有するプリント板１１上方でｍ ２．３ ｍ、長さ２
部０鵡以上を有する遮光手段としての黒色ゴムがスルー
ホール１６ （第４図）の１つの開口端を被覆してＢシ
、且つ該黒色ゴム１２は畷明手段の１つである螢光灯１
３に被Ｎぜしめられている。
部０鵡以上を有する遮光手段としての黒色ゴムがスルー
ホール１６ （第４図）の１つの開口端を被覆してＢシ
、且つ該黒色ゴム１２は畷明手段の１つである螢光灯１
３に被Ｎぜしめられている。
プリント１１に対して螢光灯１３の反対側に漏光検知装
置の１つであるＣＣＤ （Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅ
ｄｉ）ｅｖｉｃｅ ）が配設されている。該プリント板
とＣＯＤとの間には漏光を結像するためにレンズ１４が
設けられている。
置の１つであるＣＣＤ （Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅ
ｄｉ）ｅｖｉｃｅ ）が配設されている。該プリント板
とＣＯＤとの間には漏光を結像するためにレンズ１４が
設けられている。
第４図を用いて本発明に係る装置を用いてスルーホール
内壁に存在するボイド又ｔよ欠陥を検査する方法を説明
する。
内壁に存在するボイド又ｔよ欠陥を検査する方法を説明
する。
螢元灯１３から発したｙｔ１３ａはプリント板１１を透
過して１部は、スルーホール１６の内壁を構成する導電
層１６＆のボイド又は欠陥（図示せず〕から４に１３ｂ
としてレンズ１４を介してＣＣＤ１５によって検知され
る。元１３ｇはスルーホール１６の上方開口端が黒色ゴ
ム１２によって通光されているため、該スルーホールの
他の１端から出る元はプリント板からスルーホールの内
壁を構成する導電層１６ａの欠陥部を介してスルーホー
ル内へ漏れた元として検知されることになる０ （ト）発明の詳細 な説明から明らかなように本発明によれば照明手段に遮
光手段が予め被層ぜしめられているのでホルダーが単純
化されしかも相互位置の調整が不要となシ従りて照明系
が簡素化される。史に又細長い形状の照明手段及びそれ
に被着した細長い形状の遮光手段が可能であるために広
い面積にわたる多数のスルーホールを一足位置で検知可
能となる。
過して１部は、スルーホール１６の内壁を構成する導電
層１６＆のボイド又は欠陥（図示せず〕から４に１３ｂ
としてレンズ１４を介してＣＣＤ１５によって検知され
る。元１３ｇはスルーホール１６の上方開口端が黒色ゴ
ム１２によって通光されているため、該スルーホールの
他の１端から出る元はプリント板からスルーホールの内
壁を構成する導電層１６ａの欠陥部を介してスルーホー
ル内へ漏れた元として検知されることになる０ （ト）発明の詳細 な説明から明らかなように本発明によれば照明手段に遮
光手段が予め被層ぜしめられているのでホルダーが単純
化されしかも相互位置の調整が不要となシ従りて照明系
が簡素化される。史に又細長い形状の照明手段及びそれ
に被着した細長い形状の遮光手段が可能であるために広
い面積にわたる多数のスルーホールを一足位置で検知可
能となる。
第１図及び第２図は従来技術を説明するための概略断面
図及び平面図であシ、第３図は本発明に係る１つの実施
例を説明するための概略ｆ＋枕図であシ、第４図は第３
図の概略断面図である。 １・・・プリント板、２・・・スルーホール（コンタク
トホール）、３・・・導電層、４・・・ボイド又は欠陥
、５・・・元、６・・・遮光マスク、７，７ａ・・・漏
光、８・・・レンズ、９・・・元検知器、１１・・・プ
リント板、１２・・・連光用黒色ゴム、１３・・・螢元
灯、１３ａ・・・元、１３ｂ・・・４元、１４・・・レ
ンズ、１５・・・Ｃ０Ｄ（（：：ｂａｒｇｅ Ｃｏｕｐ
ｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ ）、１６…スルーホール、１６
ａ・・・欠陥。 ％許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 浦 和 之 弁理士 内田幸男 弁理、土 山口昭之 第２図 一３図 第４回
図及び平面図であシ、第３図は本発明に係る１つの実施
例を説明するための概略ｆ＋枕図であシ、第４図は第３
図の概略断面図である。 １・・・プリント板、２・・・スルーホール（コンタク
トホール）、３・・・導電層、４・・・ボイド又は欠陥
、５・・・元、６・・・遮光マスク、７，７ａ・・・漏
光、８・・・レンズ、９・・・元検知器、１１・・・プ
リント板、１２・・・連光用黒色ゴム、１３・・・螢元
灯、１３ａ・・・元、１３ｂ・・・４元、１４・・・レ
ンズ、１５・・・Ｃ０Ｄ（（：：ｂａｒｇｅ Ｃｏｕｐ
ｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ ）、１６…スルーホール、１６
ａ・・・欠陥。 ％許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 浦 和 之 弁理士 内田幸男 弁理、土 山口昭之 第２図 一３図 第４回
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 プリント板内に配設し次スルーホールの内壁を検査する
ために、照明手段と、該スルーホールの１端の開口部に
近接して配設した遮光手段と、前記照明手段から出され
た元のうち前記プリント基板を介して前記スルーホール
のボイド又は欠陥から漏れた元を検知する漏光検知装置
とを具備してなるスルーホール検査装置に２いて、 ＡｉＪ記遮元手段が前記押切手段に被層されていること
を特徴とするスルーホール検査装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1139483A JPS59150327A (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | スル−ホ−ル検査装置 |
| US06/554,543 US4560273A (en) | 1982-11-30 | 1983-11-23 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
| DE8383307291T DE3377527D1 (en) | 1982-11-30 | 1983-11-30 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
| EP83307291A EP0111404B1 (en) | 1982-11-30 | 1983-11-30 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1139483A JPS59150327A (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | スル−ホ−ル検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59150327A true JPS59150327A (ja) | 1984-08-28 |
Family
ID=11776788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1139483A Pending JPS59150327A (ja) | 1982-11-30 | 1983-01-28 | スル−ホ−ル検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59150327A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002048726A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-15 | Dainippon Printing Co Ltd | 光散乱透過シートの欠点検査装置 |
-
1983
- 1983-01-28 JP JP1139483A patent/JPS59150327A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002048726A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-15 | Dainippon Printing Co Ltd | 光散乱透過シートの欠点検査装置 |
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