JPH0334750Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本考案は、集積回路のホトエツチング用マスク
を洗浄するマスク洗浄装置に関する。

＜従来の技術＞ 従来から、ホトエツチング用マスク（以下、マ
スクという）の洗浄は、第４図及び第５図に示す
ようなマスク洗浄装置によつて行われている。こ
のマスク洗浄装置は、板状のアーム３０がボス部
３１から十字形に突出しているマスクホルダー３
２と、マスクホルダー３２のボス部３１を真空吸
着してマスクホルダー３２全体を回転させる支持
軸３３とからなつている。そして、マスクホルダ
ー３２の上方には、マスク１０の上面を洗浄する
ための洗浄液を射出するリンスパイプ３４が設け
られている。また、マスクホルダー３２の下方に
は、マスク１０の上面から下面への異物のまわり
こみを防ぐための洗浄液を射出するバツクリンス
パイプ３５と、マスク１０に付着した洗浄液を乾
燥させるための乾燥用ガスを射出するブローパイ
プ３６とが設けられている。なお、このようなマ
スク洗浄装置における洗浄液としては、純水など
が使用される。

このマスク洗浄装置によるマスク１０の洗浄
は、次のように行う。

マスクホルダー３２上にセツトしたマスク１０
を、支持軸３３によりマスクホルダー３２ととも
に回転させる。そして、リンスパイプ３４から洗
浄液を射出し、マスク１０の上面に付着している
異物を除去する。また、バツクリンスパイプ３５
からも洗浄液を射出して、マスク１０の上面から
下面へ異物がまわりこんでくるのを防止する。洗
浄後、ブローパイプ３６から乾燥用ガスを射出し
て、マスク１０に付着した洗浄液を乾燥させる。
そして、マスク１０の両面を反転させ、同様に洗
浄することにより、マスク１０の両面が洗浄、乾
燥される。

＜考案が解決しようとする問題点＞ ところで、このようなマスク洗浄装置では、マ
スク１０を保持しているマスクホルダー３２を高
速で回転させる。そのため、マスクホルダー３２
のアーム３０は高速回転による遠心力に耐える強
度が要求され、このアーム３０として断面積の大
きなものを用いなければならない。そして、回転
に対する空気抵抗を考慮すると、必然的にアーム
の横幅Ｗが大きくなる。

しかし、このような構造のマスクホルダー３２
の上面にセツトされたマスク１０に対して、その
下方に固定して設けられたバツクリンスパイプ３
５から洗浄液を射出した場合、次のような問題点
がある。すなわち、洗浄液はマスクホルダー３２
のアーム３０に邪魔されて、マスク１０下面のア
ーム３０に対面する部分には直接かからない。ま
た、アーム３０の回転により洗浄液がはじきとば
されるので、マスク１０下面のアーム３０の後方
に位置する部分にも洗浄液がかからない。そのた
め、マスク１０下面の全域は洗浄液がいきわたら
ない。したがつて、マスク１０の上面から下面へ
の異物のまわりこみ防止を充分に行うことができ
ず、そのため、マスク１０の充分な洗浄ができな
いという問題点があつた。

本考案は、前述の問題点に鑑みてなされたもの
であつて、マスクの充分な洗浄ができる。マスク
洗浄装置を提供することを目的としている。

＜問題点を解決するための手段＞ 本考案は、上記の目的を達成するために、内部
に洗浄液供給路が形成されて縦軸周りに回転する
支持軸と、洗浄すべきマスクを保持して前記支持
軸とともに回転するマスクホルダーとを備えてい
る。そして、前記支持軸と連結されて回転中心と
なる前記マスクホルダーのボス部の内部に、前記
洗浄液供給路に通じる洗浄液流通孔を形成する一
方、前記ボス部から放射状に延出され、かつ、前
記マスクと対面するアームの内部に前記洗浄液流
通孔に通じる洗浄液通路を形成するとともに、こ
のアームの表面に前記マスクに向かつて開口した
多数の洗浄液射出孔を形成している。

＜作用＞ 上記の構成によれば、支持軸の洗浄液供給路と
マスクホルダーのアームの内部に形成された洗浄
液通路とがそのボス部の内部に形成された洗浄液
流通孔を介して連通接続されているので、これら
の流路を流通してきた洗浄液はアームの表面に開
口した多数の洗浄液射出孔からマスクの下面に向
かつて射出されることになる。このため、マスク
の下面のアームに対面する部分やその後方に位置
する部分にも洗浄液がかかり、マスク下面の全域
に洗浄液がいきわたる。

＜実施例＞ 以下、本考案を第１図ないし第３図に示す実施
例に基づいて詳細に説明する。マスク洗浄装置は
マスク１０を保持するマスクホルダー１１と、マ
スクホルダー１１を回転させる支持軸１２と、乾
燥ガスを射出するブローパイプ１３と、洗浄液を
射出するリンスパイプ１４とから構成されてい
る。マスクホルダー１１は、支持軸１２と連結さ
れて回転中心となるボス部１５と、このボス部１
５から放射状、例えば、十字状に延出された数本
のアーム１６とから構成されており、各々のアー
ム１６の内部には、洗浄液通路１７が形成されて
いる。そして、ボス部１５には下面側に開口した
洗浄液流通孔１８が設けられ、この洗浄液流通孔
１８には各々のアーム１６に形成された洗浄液通
路１７が連通接続されている。なお、図面ではア
ーム１６を４本としているが、マスク１０を保持
できる本数であればよい。各々のアーム１６の斜
め上向きの側面および上面には、マスクに向かつ
て開口され、かつ、洗浄液を射出する多数の洗浄
液射出孔１９が設けられ、各洗浄液射出孔１９は
洗浄液通路１７に連通している。

また、各々アーム１６の先端にはマスク１０を
保持する保持具２０が設けられ、かつ互いに周方
向に隣合う保持具２０はリング状の強化部材２１
で連結されている。なお、このように強化部材２
１を設けると、各アーム１６の強度が強められる
ので、アーム１６の断面積、特にその横幅を小さ
くすることができる。

支持軸１２はその上端部でマスクホルダー１１
のボス部１５を真空吸着により固定し、縦軸回り
に回転させる。支持軸１２の軸心にはボス部１５
の洗浄液流通孔１８に連通する洗浄液供給路２２
が設けられている。なお、洗浄液供給路２２の外
周部には真空排気通路２３が形成されている。こ
の洗浄液供給路２２に流入した洗浄液は、洗浄液
流通孔１８を通り各々のアーム１６に流入する。

また、ガス射出孔２４を設けたリング状のブロ
ーパイプ１３が、マスクホルダー１１の下方に固
定して設けられている。なお、このブローパイプ
１３はマスクホルダー１１もしくは支持軸１２に
支持されるものであつてもよく、その場合は支持
軸１２に設けられる内部通路を通じて乾燥用ガス
を供給する。

このマスク洗浄装置によるマスク１０の洗浄
は、次のように行う。

マスク１０をマスクホルダー１１の保持具２０
に挿入して、セツトする。支持軸１２を矢印Ａ方
向に回転させて、マスクホルダー１１とともにマ
スク１０を回転させる。リンスパイプ１４から高
圧の洗浄液を射出して、マスク１０の上面に付着
している異物を除去する。また、支持軸１２の洗
浄液供給路２２、マスクホルダー１１の洗浄液流
通孔１８及びアーム１６を流通してきた低圧の洗
浄液を、マスクホルダー１１の洗浄液射出孔１９
から射出させる。このことにより、異物がマスク
１０の上面から下面にまわりこんでくるのを防止
する。洗浄後、ブローパイプ１３のガス射出孔２
４から乾燥用ガスを射出して、マスク１０に付着
した洗浄液を乾燥させる。そして、マスク１０の
両面を反転させて前記と同様の手順で洗浄、乾燥
させる。

なお、マスクホルダー１１の洗浄液射出孔１９
からリンスパイプ１４と同様に高圧の洗浄液を射
出すれば、マスク１０を反転させることなく、マ
スク１０両面の洗浄を行うこともできる。

＜考案の効果＞ 以上のように、本考案によれば、洗浄液がマス
クホルダーのアームに設けられた多数の洗浄液射
出孔からマスクの下面に射出する。このため、マ
スクの下面のアームに対面する部分やその後方に
位置する部分にも洗浄液がかかり、マスク下面の
全域に洗浄液がいきわたる。したがつて、マスク
の充分な洗浄ができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本考案の一実施例のマス
ク洗浄装置に係り、第１図はその一部断面平面
図、第２図はその一部断面側面図、第３図は第２
図の−線に沿う横断面図である。第４図及び
第５図は従来例に係り、第４図はその一部断面平
面図、第５図はその一部断面側面図である。 １１……マスクホルダー、１２……支持軸、１
６……アーム、１７……洗浄液通路、１９……洗
浄液射出孔、２２……洗浄液供給路。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 内部に洗浄液供給路が形成されて縦軸回りに回
   転する支持軸と、洗浄すべきマスクを保持して前
   記支持軸とともに回転するマスクホルダーとを備
   えており、 前記支持軸と連結されて回転中心となる前記マ
   スクホルダーのボス部の内部に、前記洗浄液供給
   路に通じる洗浄液流通孔を形成する一方、 前記ボス部から放射状に延出され、かつ、前記
   マスクと対面するアームの内部に前記洗浄液流通
   孔に通じる洗浄液通路を形成するとともに、この
   アームの表面に前記マスクに向かつて開口した多
   数の洗浄液射出孔を形成したことを特徴とするマ
   スク洗浄装置。