JPH0343744B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0343744B2 JPH0343744B2 JP57087066A JP8706682A JPH0343744B2 JP H0343744 B2 JPH0343744 B2 JP H0343744B2 JP 57087066 A JP57087066 A JP 57087066A JP 8706682 A JP8706682 A JP 8706682A JP H0343744 B2 JPH0343744 B2 JP H0343744B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- rod
- hyperbolic
- center
- electrode rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/421—Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
- H01J49/4215—Quadrupole mass filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
- H01J49/068—Mounting, supporting, spacing, or insulating electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/4255—Device types with particular constructional features
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電極ロツドに双曲線ロツドを用いた四
重極質量分析装置に関する。
重極質量分析装置に関する。
四重極質量分析装置で理相的な双曲線電場を形
成するには電極ロツドを相互対向面が断面双曲線
であるような双曲線ロツドにする必要がある。し
かし双曲線ロツドは工作が困難な上組立て精度も
高め難く、四重極質量分析装置の電極ロツドに双
曲線ロツドを用いたことによる利益を充分に得る
ことができないので、従来双極線ロツドに代りに
等価円筒電極を用いていた。しかし等価円筒ロツ
ドはあくまでも双曲線ロツドに対する近似である
から、四重極質量分析装置では双曲線ロツドを用
いるのが望ましい。
成するには電極ロツドを相互対向面が断面双曲線
であるような双曲線ロツドにする必要がある。し
かし双曲線ロツドは工作が困難な上組立て精度も
高め難く、四重極質量分析装置の電極ロツドに双
曲線ロツドを用いたことによる利益を充分に得る
ことができないので、従来双極線ロツドに代りに
等価円筒電極を用いていた。しかし等価円筒ロツ
ドはあくまでも双曲線ロツドに対する近似である
から、四重極質量分析装置では双曲線ロツドを用
いるのが望ましい。
円筒ロツドの電極はその回転方向の位置に関し
ては全く規制を要せず、中心位置を正確に位置決
めするだけでよいが、双曲線ロツドの場合には回
転方向の位置決めが必要であり、この回転方向の
位置決めの精度を高めることが困難であつた。本
発明は電極ロツドに双曲線ロツドを用いる場合に
おける上述したような問題を解決することを目的
とするものである。
ては全く規制を要せず、中心位置を正確に位置決
めするだけでよいが、双曲線ロツドの場合には回
転方向の位置決めが必要であり、この回転方向の
位置決めの精度を高めることが困難であつた。本
発明は電極ロツドに双曲線ロツドを用いる場合に
おける上述したような問題を解決することを目的
とするものである。
第１図は四重極質量分析装置における電極ロツ
ドの配置を示し、Ｒが電極ロツドである。四重極
電場中心Ｏからroの距離の所に頂点を有し、ｘ
軸、ｙ軸と45゜をなす２直線を漸近線とする双曲
線は図に点線で示すように唯一つに決まり、電極
ロツドを円筒ロツドで近似する場合の等価円筒は
上記双曲線と頂点において接し、その半径ｒは ｒ＝1.148ro 或は ｒ＝1.1468ro と云つた値が推奨されている。上の各値は夫々に
理論的根拠を有するが、設計上では互に極めて近
い値であるから、上記値の近くになるようにｒを
決定している。四重極が円筒電極である場合に
は、その中心の周りに回転しても電場は少しも変
化しないから設計上は中心位置が正確に保持され
るようにだけ考慮すれば良く、組立ても容易であ
る。双曲線電極を用いるときは各電極の矢印方向
の回転位置が変ると頂点位置が変化し、双曲線電
場が歪む。この難点を本発明では各双極線ロツド
の背側を等価円筒の中心を中心とする円筒面と
し、この円筒面によつてその中心位置が正しく決
まるようにホルダに保持させるようにすることで
解消した。この構成では各電極が図矢印方向に回
転すると頂点位置がずれるが、電極表面の仮想し
た等価円筒面からの出入状態は正しい位置のとき
と殆んど変らず、Ｏ点を中心とする空間に対する
静電的な効果の変化も極小である。即ち正しい位
置からわづか回転しても双曲線電場は不変とみな
せる。従つて双極線ロツドを等価円筒と同心的な
円筒面で保持するときは回転方向の位置規制が工
作上及び組立上大へん楽になる。
ドの配置を示し、Ｒが電極ロツドである。四重極
電場中心Ｏからroの距離の所に頂点を有し、ｘ
軸、ｙ軸と45゜をなす２直線を漸近線とする双曲
線は図に点線で示すように唯一つに決まり、電極
ロツドを円筒ロツドで近似する場合の等価円筒は
上記双曲線と頂点において接し、その半径ｒは ｒ＝1.148ro 或は ｒ＝1.1468ro と云つた値が推奨されている。上の各値は夫々に
理論的根拠を有するが、設計上では互に極めて近
い値であるから、上記値の近くになるようにｒを
決定している。四重極が円筒電極である場合に
は、その中心の周りに回転しても電場は少しも変
化しないから設計上は中心位置が正確に保持され
るようにだけ考慮すれば良く、組立ても容易であ
る。双曲線電極を用いるときは各電極の矢印方向
の回転位置が変ると頂点位置が変化し、双曲線電
場が歪む。この難点を本発明では各双極線ロツド
の背側を等価円筒の中心を中心とする円筒面と
し、この円筒面によつてその中心位置が正しく決
まるようにホルダに保持させるようにすることで
解消した。この構成では各電極が図矢印方向に回
転すると頂点位置がずれるが、電極表面の仮想し
た等価円筒面からの出入状態は正しい位置のとき
と殆んど変らず、Ｏ点を中心とする空間に対する
静電的な効果の変化も極小である。即ち正しい位
置からわづか回転しても双曲線電場は不変とみな
せる。従つて双極線ロツドを等価円筒と同心的な
円筒面で保持するときは回転方向の位置規制が工
作上及び組立上大へん楽になる。
以下本発明の実施例を説明する。第２図は本発
明の一実施例を示す。Ｒは電極ロツドで双曲線断
面のロツドである。Ｈは電極ホルダである。第３
図は電極ロツドを拡大して示したものである。電
極ロツド相互の対向面であるＡの範囲で断面が双
曲線になつている。このＡを除く全周即ち背面は
円筒面になつており、その円筒面中心Ｃは双曲線
電場の中心Ｏからro＋ｒの位置にある。こゝでro
は中心Ｏから双曲線の頂点までの距離、ｒは前述
した等価円筒の半径である。図で点線で示したも
のが等価円で、電極ロツドＲの背面の円筒の半径
r′はｒより稍大きくしてある。ホルダＨにおいて
中心Ｏから正確にro＋ｒの位置を中心に半径r′の
円形断面の案内切込みを形成しておき、電極ロツ
ドＲを嵌着すれば電極ロツドＲの中心位置Ｃは自
動的に正しく決まる。Ｐは電極ロツドＲの回転方
向の位置決め用ノツクピンでホルダＨの外周から
電極ロツドＲの背面の位置決め穴ｈに挿入され
る。
明の一実施例を示す。Ｒは電極ロツドで双曲線断
面のロツドである。Ｈは電極ホルダである。第３
図は電極ロツドを拡大して示したものである。電
極ロツド相互の対向面であるＡの範囲で断面が双
曲線になつている。このＡを除く全周即ち背面は
円筒面になつており、その円筒面中心Ｃは双曲線
電場の中心Ｏからro＋ｒの位置にある。こゝでro
は中心Ｏから双曲線の頂点までの距離、ｒは前述
した等価円筒の半径である。図で点線で示したも
のが等価円で、電極ロツドＲの背面の円筒の半径
r′はｒより稍大きくしてある。ホルダＨにおいて
中心Ｏから正確にro＋ｒの位置を中心に半径r′の
円形断面の案内切込みを形成しておき、電極ロツ
ドＲを嵌着すれば電極ロツドＲの中心位置Ｃは自
動的に正しく決まる。Ｐは電極ロツドＲの回転方
向の位置決め用ノツクピンでホルダＨの外周から
電極ロツドＲの背面の位置決め穴ｈに挿入され
る。
第４図は本発明の他の実施例を示し、電極ホル
ダＨの内側を正方形の窓とし、電極ロツドＲの背
面をこの正方形の窓の隅角で保持するようにした
ものである。電極ロツドＲの背面は円筒面である
から、正方形の隅角で保持することにより中心位
置が決まる。Ｓは固定ねじでホルダＨとの間は隙
間のある遊合嵌合状態であり、電極ロツドＲの背
面のねじ孔に螺入されて電極ロツドをホルダＨの
正方形の窓の隅角に引き寄せ、電極ロツドの位置
決めと固定とを同時に行う。
ダＨの内側を正方形の窓とし、電極ロツドＲの背
面をこの正方形の窓の隅角で保持するようにした
ものである。電極ロツドＲの背面は円筒面である
から、正方形の隅角で保持することにより中心位
置が決まる。Ｓは固定ねじでホルダＨとの間は隙
間のある遊合嵌合状態であり、電極ロツドＲの背
面のねじ孔に螺入されて電極ロツドをホルダＨの
正方形の窓の隅角に引き寄せ、電極ロツドの位置
決めと固定とを同時に行う。
本発明四重極質量分析装置は上述したような構
成で電極ロツドに双曲線ロツドを用いたにもかゝ
わらず、同ロツドの位置決め構造はきわめて簡単
なものでよく要求精度もゆるやかでよいから工作
も組立ても容易であり、双曲線ロツドを用いた場
合の難点が解消され、しかも双曲線ロツドを用い
た四重極質量分析装置としての利点を充分に発揮
し得るのである。
成で電極ロツドに双曲線ロツドを用いたにもかゝ
わらず、同ロツドの位置決め構造はきわめて簡単
なものでよく要求精度もゆるやかでよいから工作
も組立ても容易であり、双曲線ロツドを用いた場
合の難点が解消され、しかも双曲線ロツドを用い
た四重極質量分析装置としての利点を充分に発揮
し得るのである。
第１図は四重極質量分析装置の断面図、第２図
は本発明の一実施例の断面図、第３図は同実施例
の要部拡大断面図、第４図は本発明の他の一実施
例の断面図である。 Ｒ……電極ロツド、Ｈ……電極ホルダ、Ｐ……
ノツクピン、Ｓ……固定ねじ、Ｃ……電極ロツド
背面円筒の中心。
は本発明の一実施例の断面図、第３図は同実施例
の要部拡大断面図、第４図は本発明の他の一実施
例の断面図である。 Ｒ……電極ロツド、Ｈ……電極ホルダ、Ｐ……
ノツクピン、Ｓ……固定ねじ、Ｃ……電極ロツド
背面円筒の中心。
Claims (1)
- １ 相互対向面の断面形を双曲線とした電極ロツ
ドの背面を同電極ロツドに対する等価円筒ロツド
の中心付近に中心を有する円筒面とし、この円筒
面を電極ホルダに適合させて上記電極ロツドを同
ホルダに保持させたことを特徴とする四重極質量
分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57087066A JPS58204464A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | 四重極質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57087066A JPS58204464A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | 四重極質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58204464A JPS58204464A (ja) | 1983-11-29 |
| JPH0343744B2 true JPH0343744B2 (ja) | 1991-07-03 |
Family
ID=13904563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57087066A Granted JPS58204464A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | 四重極質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58204464A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004054835A1 (de) * | 2004-11-12 | 2006-05-24 | VACUTEC Hochvakuum- & Präzisionstechnik GmbH | Verfahren zur Herstellung einer Elektrode bzw. mehrpoligen Elektrodenanordnung sowie mehrpolige Elektrodenanordnung und Elektrode für eine mehrpolige Elektrodenanordnung |
| JP4614760B2 (ja) * | 2004-12-24 | 2011-01-19 | 京セラ株式会社 | 静電偏向器及びそれを用いた電子線装置 |
| JP6061283B2 (ja) * | 2012-01-23 | 2017-01-18 | 株式会社リフトフォース | 多重電極の製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5311303B2 (ja) * | 1974-06-26 | 1978-04-20 |
-
1982
- 1982-05-21 JP JP57087066A patent/JPS58204464A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58204464A (ja) | 1983-11-29 |
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