JPH034443B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH034443B2 JPH034443B2 JP15328185A JP15328185A JPH034443B2 JP H034443 B2 JPH034443 B2 JP H034443B2 JP 15328185 A JP15328185 A JP 15328185A JP 15328185 A JP15328185 A JP 15328185A JP H034443 B2 JPH034443 B2 JP H034443B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- tray
- workpiece
- supply
- storage
- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造装置におけるワーク搬送装
置に関するものである。
置に関するものである。
従来、半導体製造装置においては、供給トレー
内からワークを取り出しこれを搬送し前記製造装
置に送り込み、半導体素子の所定の製造作業を行
い、ふたたび供給したトレー内にワークの方向を
変更せず同一位置へ収納していた。第６図に半導
体製造装置に用いられる従来のワーク搬送装置を
示す。第６図に示すように、従来のワーク搬送装
置はベース板１に垂直に軸支した送りネジ４によ
りトレー２を１ピツチずつ下降させ、まず最下段
の半導体素子（以下、ワークという）６を供給高
さ位置まで降下させ、その高さ位置にトレー２を
待機させ、トレー２から最下段のワーク６を取り
出し、該ワーク６をその下部の両側縁で搬送レー
ル５によりそれぞれ支えて加工処理部（図示略）
に送り込む。この状態のまま半導体素子の処理完
了まで待機し、処理後のワーク６を搬送レール５
にて再び元の位置に収納する。ワーク６の収納が
完了した時点で送りネジ４の回転によつてトレー
２の下降動作を行つてワーク２内の２段目のワー
ク７を搬送レールの高さの位置まで下降して送り
ネジ４は回転し停止し、ワーク７の供給動作を行
い、ワーク７の搬送レール５に供給されて所定の
製造作業を実行後、再び収納動作を行う。以上の
動作を最下段のワーク６から最上段のワーク１１
まで順次行うことによりトレー２内のワークの処
理が終了される。
内からワークを取り出しこれを搬送し前記製造装
置に送り込み、半導体素子の所定の製造作業を行
い、ふたたび供給したトレー内にワークの方向を
変更せず同一位置へ収納していた。第６図に半導
体製造装置に用いられる従来のワーク搬送装置を
示す。第６図に示すように、従来のワーク搬送装
置はベース板１に垂直に軸支した送りネジ４によ
りトレー２を１ピツチずつ下降させ、まず最下段
の半導体素子（以下、ワークという）６を供給高
さ位置まで降下させ、その高さ位置にトレー２を
待機させ、トレー２から最下段のワーク６を取り
出し、該ワーク６をその下部の両側縁で搬送レー
ル５によりそれぞれ支えて加工処理部（図示略）
に送り込む。この状態のまま半導体素子の処理完
了まで待機し、処理後のワーク６を搬送レール５
にて再び元の位置に収納する。ワーク６の収納が
完了した時点で送りネジ４の回転によつてトレー
２の下降動作を行つてワーク２内の２段目のワー
ク７を搬送レールの高さの位置まで下降して送り
ネジ４は回転し停止し、ワーク７の供給動作を行
い、ワーク７の搬送レール５に供給されて所定の
製造作業を実行後、再び収納動作を行う。以上の
動作を最下段のワーク６から最上段のワーク１１
まで順次行うことによりトレー２内のワークの処
理が終了される。
従来のワーク搬送装置はワークの所定の製造作
業完了後、次のワークに移行するまではワークの
収納動作、トレーの下降動作、そしてワークの供
給動作というシーケンスで動作を行う必要があ
り、ワークの交換にかなりの交換時間を要すると
いう欠点があつた。
業完了後、次のワークに移行するまではワークの
収納動作、トレーの下降動作、そしてワークの供
給動作というシーケンスで動作を行う必要があ
り、ワークの交換にかなりの交換時間を要すると
いう欠点があつた。
本発明は前記問題点を解消するもので、製造装
置の稼動時間を上げるべく交換時間の短縮を可能
とした装置を提供するものである。
置の稼動時間を上げるべく交換時間の短縮を可能
とした装置を提供するものである。
本発明は半導体素子を上下に複数段搭載したト
レーを１ピツチずつ上昇又は下降させ、トレーか
ら半導体素子を取り出し該半導体素子をその下部
の両側縁で搬送レールによりそれぞれ支えて加工
処理部に供給し、処理後の半導体素子を再びトレ
ーの元の位置に収納するワーク搬送装置におい
て、前記搬送レールのトレー側端末を、トレーか
ら取り出した半導体素子を後続の搬送レールとの
間で授受する供給レールと、後続の搬送レールか
ら逆送された処理済半導体素子を供給レールとの
間で授受する収納レールとに分割し、前記収納レ
ールを供給レールの高さ位置まで昇降可能に設置
するとともに、前記供給レールを水平方向に拡開
可能に設置したことを特徴とする半導体製造装置
のワーク搬送装置である。
レーを１ピツチずつ上昇又は下降させ、トレーか
ら半導体素子を取り出し該半導体素子をその下部
の両側縁で搬送レールによりそれぞれ支えて加工
処理部に供給し、処理後の半導体素子を再びトレ
ーの元の位置に収納するワーク搬送装置におい
て、前記搬送レールのトレー側端末を、トレーか
ら取り出した半導体素子を後続の搬送レールとの
間で授受する供給レールと、後続の搬送レールか
ら逆送された処理済半導体素子を供給レールとの
間で授受する収納レールとに分割し、前記収納レ
ールを供給レールの高さ位置まで昇降可能に設置
するとともに、前記供給レールを水平方向に拡開
可能に設置したことを特徴とする半導体製造装置
のワーク搬送装置である。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図において、ベース板１に送りネジ４を垂
直に取り付け、該送りネジ４にトレーホルダ３を
昇降可能に支持し、該ホルダ３にワーク６〜１１
を上下に複数段搭載したトレー２をセツトする。
直に取り付け、該送りネジ４にトレーホルダ３を
昇降可能に支持し、該ホルダ３にワーク６〜１１
を上下に複数段搭載したトレー２をセツトする。
ワークの供給高さ位置に搬送レール５を水平に
設置し、該搬送レール５のトレー側端末を供給レ
ール１２と収納レール１３とに２分割し、供給レ
ール１２の中間に収納レール１３の一部を配置し
供給レール１２と収納レール１３とを前後に配列
して設置する。さらに、供給レール１２を搬送レ
ール５と同一高さ位置に水平に設置するととも
に、左右に拡開可能に設置するとともに、収納レ
ール１３を供給レール１２の高さ位置まで昇降可
能に設置する。
設置し、該搬送レール５のトレー側端末を供給レ
ール１２と収納レール１３とに２分割し、供給レ
ール１２の中間に収納レール１３の一部を配置し
供給レール１２と収納レール１３とを前後に配列
して設置する。さらに、供給レール１２を搬送レ
ール５と同一高さ位置に水平に設置するととも
に、左右に拡開可能に設置するとともに、収納レ
ール１３を供給レール１２の高さ位置まで昇降可
能に設置する。
次に供給レールと収納レールとの動作によるワ
ークの供給、収納動作順序を説明する。
ークの供給、収納動作順序を説明する。
第２図に示すように供給されたワーク６は供給
レール１２に取り出される。この場合、一方の収
納レール１３は下降している。供給レール１２上
のワーク６は搬送レール５上に移送され、処理加
工部に送られる。
レール１２に取り出される。この場合、一方の収
納レール１３は下降している。供給レール１２上
のワーク６は搬送レール５上に移送され、処理加
工部に送られる。
第３図に示すように所定の製造作業が完了した
後のワーク６は搬送レール５を通して供給レール
１２上に再び逆送される。一方収納レール１３は
供給レール１２の高さ位置まで上昇し、その時点
で、供給レール１２は外側へ移動し、ワーク６は
供給レール１２から収納レール１３に移載され
る。
後のワーク６は搬送レール５を通して供給レール
１２上に再び逆送される。一方収納レール１３は
供給レール１２の高さ位置まで上昇し、その時点
で、供給レール１２は外側へ移動し、ワーク６は
供給レール１２から収納レール１３に移載され
る。
第４図に示すように、ワーク６が移載された収
納レール１３が下降すると、再び供給レール１２
は元の内側の位置へ移動する。この状態におい
て、ワーク６は収納可能な位置に、また供給レー
ル１２は次のワークを供給可能な位置となる。こ
の間にトレー２は１ピツチ下降する。
納レール１３が下降すると、再び供給レール１２
は元の内側の位置へ移動する。この状態におい
て、ワーク６は収納可能な位置に、また供給レー
ル１２は次のワークを供給可能な位置となる。こ
の間にトレー２は１ピツチ下降する。
第５図に示すように、収納レール１３に載つた
ワーク６はトレー２内の元の位置に収納されると
ともに、供給レール１２には次のワーク７が供給
される。
ワーク６はトレー２内の元の位置に収納されると
ともに、供給レール１２には次のワーク７が供給
される。
以上の動作を繰り返し行い、トレー２内のワー
ク６〜１１を処理加工する。
ク６〜１１を処理加工する。
本発明は以上説明したように、トレーからワー
クの取り出し動作と、トレーへのワークの収納動
作とを同時に進行させて行うことができ、ワーク
の交換に要する時間を短縮でき、したがつて製造
装置の稼動率を向上できる効果を有するものであ
る。
クの取り出し動作と、トレーへのワークの収納動
作とを同時に進行させて行うことができ、ワーク
の交換に要する時間を短縮でき、したがつて製造
装置の稼動率を向上できる効果を有するものであ
る。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２
図〜第５図は動作説明図、第６図は従来例を示す
構成図である。 ２……トレー、５……搬送レール、６〜１１…
…ワーク、１２……供給レール、１３……収納レ
ール。
図〜第５図は動作説明図、第６図は従来例を示す
構成図である。 ２……トレー、５……搬送レール、６〜１１…
…ワーク、１２……供給レール、１３……収納レ
ール。
Claims (1)
- １ 半導体素子を上下に複数段搭載したトレーを
１ピツチずつ上昇又は下降させ、トレーから半導
体素子を取り出し該半導体素子をその下部の両側
縁で搬送レールによりそれぞれ支えて加工処理部
に供給し、処理後の半導体素子を再びトレーの元
の位置に収納するワーク搬送装置において、前記
搬送レールのトレー側端末を、トレーから取り出
した半導体素子を後続の搬送レールとの間で授受
する供給レールと、後続の搬送レールから逆送さ
れた処理済半導体素子を供給レールとの間で授受
する収納レールとに分割し、前記収納レールを供
給レールの高さ位置まで昇降可能に設置するとと
もに、前記供給レールを水平方向に拡開可能に設
置したことを特徴とする半導体製造装置のワーク
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15328185A JPS6216903A (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | 半導体製造装置のワ−ク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15328185A JPS6216903A (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | 半導体製造装置のワ−ク搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6216903A JPS6216903A (ja) | 1987-01-26 |
| JPH034443B2 true JPH034443B2 (ja) | 1991-01-23 |
Family
ID=15559038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15328185A Granted JPS6216903A (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | 半導体製造装置のワ−ク搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6216903A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02138090A (ja) * | 1988-11-21 | 1990-05-28 | Shimizu Corp | 搬送物の搬送方法 |
| JP5427099B2 (ja) * | 2010-04-23 | 2014-02-26 | 西部電機株式会社 | 板状物の搬送システム |
-
1985
- 1985-07-11 JP JP15328185A patent/JPS6216903A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6216903A (ja) | 1987-01-26 |
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