JPH0346504A - 水晶発振子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、例えば膜厚測定用センサ等として使用する
水晶発振子に関するものである。

〈従来の技術〉 厚膜センサに用いられている水晶発振子は第４図に示す
ように、水晶板１の両面にＡｕやＡｇを使用して電極膜
２．３を設けた構造になっている。

そして、金属層４を蒸着時に、金属層４の蒸着速度のモ
ニターとして用いる。

〈発明が解決しようとする課題〉 上記金属層４の蒸着工程は、水晶板１が４００〜５００
℃の高温状態におかれると共に、電極膜２に用いたＡｕ
、　Ａｇ等の金属に対して、金属層４を形成するＩｕや
Ｓｎは高温の蒸着時にＡｕやＡｇと合金をつくり易く、
このため、第４図で示したように、電極膜２は蒸着され
た金属層４と合金化５して食われてしまい、電極膜２と
水晶板１との間の接触が不安定になり、途中で水晶発振
が止まり、金属層４の蒸着モニターが行なえなくなると
いう問題がある。

この発明の目的は、上記のような問題点を解決するため
、電極膜とその表面に蒸着する金属層との合金化を防止
し、金属層の蒸着速度を安定にかつ正確にモニターする
ことができ、発振特性の安定化を図ることができる水晶
発振子を提供することにある。

〈課題を解決するための手段〉 上記のような課題を解決するため、この発明は、水晶板
の表面に設けた電極膜上に絶縁層をその周囲に電極膜を
残した状態で形成し、この絶縁層上に金属層を蒸着した
構成としたものである。

〈作用〉 電極膜上に予め絶縁層を形成し、この絶縁層上に金属層
を蒸着したので、金属層の蒸着時に電極膜に対して金属
膜が合金化するのを絶縁層によって防止することができ
、蒸着工程時に水晶発振が止まることがなく、金属層の
蒸着モニターが行なえることになり、正確な層厚の金属
層を形成することができる。

〈実施例〉 以下、この発明の実施例を添付図面の第１図乃至第３図
に基づいて説明する。

第３図に示すように、両面に電極膜２．３を設けた膜厚
測定用水晶板１に対してリング状のマスク１１を用意し
、このマスク１１を表面側の電極膜２上に重ねて取付け
、電極膜２のマスク１１で囲まれて露出する部分にＭ２
Ｏ３や５ｉＯａ等の絶縁材料を５０００〜１００００人
の厚みになるよう、電子ビーム蒸着やスパッタリング法
にて塗布し、電極膜２上に絶縁層１２を形成する。

この絶縁層１２はマスク１１の内径によって外径が設定
されるが、第１図に示した如く、表面側電極膜２を外周
に残すよう円形に形成する。

次にマスク１１を取外した後、絶縁層１２の表面にＩｕ
、　Ｓｎ等を蒸着して金属層４を設ける。

上記金属層４は、４００〜５００℃の高温状態で絶縁層
１２よりも小径の円形になるようマスクを用いて蒸着す
る。

このとき、水晶板１の画電極膜２．３に電荷を加え、水
晶発振によって蒸着のモニターを行なうものであるが、
金属層４と電極膜２の間に絶縁層１２が介在しているた
め、電極膜２と金属層４が材質的に合金化する条件にあ
っても、両者は合金化することがなく、従って、金属層
４の蒸着時に電極膜２と水晶板１との接触が安定し、発
振の安定化を図ることができ、蒸着速度をモニターとし
て蒸着量を制御することができる。

〈効果〉 以上のように、この発明によると、水晶板に設けた電極
膜上に絶縁層を設け、この絶縁層上に金属層を蒸着する
ようにしたので、電極膜上に金属層を蒸着するとき、絶
縁層によって両者の合金化を防ぐことができ、従って金
属層の蒸着工程時において、水晶発振子を発振させて蒸
着速度をモニターすることができ、金属層を正確な膜厚
に形成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る水晶発振子の正面図、第２図は
同上の平面図、第３図は同上における金属蒸着時の状態
を示す説明図、第４図は従来の水晶発振子の縦断正面図
である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　水晶板の表面に設けた電極膜上に絶縁層をその周囲に
   電極膜を残した状態で形成し、この絶縁層上に金属層を
   蒸着した水晶発振子。