JPH0348192A - 微動機構 - Google Patents
微動機構Info
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- JPH0348192A JPH0348192A JP18250389A JP18250389A JPH0348192A JP H0348192 A JPH0348192 A JP H0348192A JP 18250389 A JP18250389 A JP 18250389A JP 18250389 A JP18250389 A JP 18250389A JP H0348192 A JPH0348192 A JP H0348192A
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- Japan
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims description 33
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超精密加工、半導体製造装置、電子顕微鏡等
のサブμ−オー、グーの調節を必要とする装置に使用さ
れる微動機構に関する。
のサブμ−オー、グーの調節を必要とする装置に使用さ
れる微動機構に関する。
近年、各種技術分野においては、サブμｍのオーダーの
微細な変位調節が可能である装置が要望されている。そ
の典型的な例がＬＳＩ（大規模集積回路）、超ＬＳＩの
製造工程において使用されるマスクアライナ、電子線描
画装置等の半導体製造装置である。これらの装置におい
ては、サブμｍオーダーの微細な位置決めが必要であり
、位置決めの精度が向上するにしたがってその集積度も
増大し、高性能の製品を製造することができる。このよ
うな微細な位置決めは上記半導体装置に限らず、電子顕
微鏡をはじめとする各種の高倍率光学装置や超精密加工
装置等においても必要であり、その精度向上により、バ
イオテクノロジ、宇宙開発等の先端技術においてもそれ
らの発展に大きく寄与するものである。以下、このよう
な微細な位置決めを行なう微動機構を図により説明する
。
微細な変位調節が可能である装置が要望されている。そ
の典型的な例がＬＳＩ（大規模集積回路）、超ＬＳＩの
製造工程において使用されるマスクアライナ、電子線描
画装置等の半導体製造装置である。これらの装置におい
ては、サブμｍオーダーの微細な位置決めが必要であり
、位置決めの精度が向上するにしたがってその集積度も
増大し、高性能の製品を製造することができる。このよ
うな微細な位置決めは上記半導体装置に限らず、電子顕
微鏡をはじめとする各種の高倍率光学装置や超精密加工
装置等においても必要であり、その精度向上により、バ
イオテクノロジ、宇宙開発等の先端技術においてもそれ
らの発展に大きく寄与するものである。以下、このよう
な微細な位置決めを行なう微動機構を図により説明する
。
第２図は従来の微動機構の平面図である。図で、ｌは適
宜な手段で固定された剛体部、２は剛体部１と対向する
剛体部、３，４はそれぞれ剛体部１゜２をそれらの左右
端で連結する弾性を有する平板である。各平板３，４は
互いに平行な関係にある。
宜な手段で固定された剛体部、２は剛体部１と対向する
剛体部、３，４はそれぞれ剛体部１゜２をそれらの左右
端で連結する弾性を有する平板である。各平板３，４は
互いに平行な関係にある。
５は剛体部１から突出した突起、６は剛体部２から突出
した突起、７は突起５．６間に装着された圧電アクチュ
エータである。圧電アクチュエータ７は突起５，６に例
えば接着剤により固着される。
した突起、７は突起５．６間に装着された圧電アクチュ
エータである。圧電アクチュエータ７は突起５，６に例
えば接着剤により固着される。
８は平板４の所定個所に貼着されたひずみゲージである
。これらにより微動機構１０が構成される。
。これらにより微動機構１０が構成される。
なお、Ｘ、Ｙ、Ｚは座標軸を示し、Ｚ軸は紙面に垂直方
向である。この微動機構１０はＹ軸方向およびＺ軸方向
には高い剛性を有する。
向である。この微動機構１０はＹ軸方向およびＺ軸方向
には高い剛性を有する。
圧電アクチュエータフに電圧を印加すると、圧電アクチ
ュエータ７が伸長して突起６を押圧する。
ュエータ７が伸長して突起６を押圧する。
これにより、平板３，４は破線のように変形し、剛体部
２は剛体部１に対してＸ軸方向に長さｕ８たけ並進変位
する。この変位量ｕＸは圧電アクチュエータフに印加さ
れる電圧により、サブミクロンオーダーで調節すること
ができる。又、変位量ｕ、はひずみゲージ８のひずみ量
により知ることができる。
２は剛体部１に対してＸ軸方向に長さｕ８たけ並進変位
する。この変位量ｕＸは圧電アクチュエータフに印加さ
れる電圧により、サブミクロンオーダーで調節すること
ができる。又、変位量ｕ、はひずみゲージ８のひずみ量
により知ることができる。
ところで、実際の装置においては、−軸方向のみでなく
一平面（二軸方向）において自由に位置決めを実施する
ことができる微動機構が必要とされる場合が多い、これ
に応じるため、第２図に示す微動機構１０を１つの単位
（微動ユニット）とし、この微動ユニットを組合せた構
造の２軸並進の微動機構が提案されている。以下、この
ような微動機構について説明する。
一平面（二軸方向）において自由に位置決めを実施する
ことができる微動機構が必要とされる場合が多い、これ
に応じるため、第２図に示す微動機構１０を１つの単位
（微動ユニット）とし、この微動ユニットを組合せた構
造の２軸並進の微動機構が提案されている。以下、この
ような微動機構について説明する。
第３図は従来の２軸並進の微動機構の平面図である。図
で、第２図に示す部分と同−又は等価な部分には同一符
号が付しである。ＩＯＸはＸ軸方向２の並進変位を行な
う微動ユニット（第２図に示す微動機構１０と等価の構
造、以下同じ）、１０ＹはＹ軸方向の並進変位を行なう
微動ユニットを示す。
で、第２図に示す部分と同−又は等価な部分には同一符
号が付しである。ＩＯＸはＸ軸方向２の並進変位を行な
う微動ユニット（第２図に示す微動機構１０と等価の構
造、以下同じ）、１０ＹはＹ軸方向の並進変位を行なう
微動ユニットを示す。
激動ユニットＩＯＸ、ＪＯＹはＸ軸方向に積層され、微
動ユニット１０Ｘの剛体部１と微動ユニツ目ＯＹの剛体
部２とは一体に構成されている。微動ユニット１０Ｘの
剛体部２は、微動ユニット１０Ｘの圧電アクチュエータ
７が駆動されることによりＸ軸方向に並進変位し、微動
ユニツｌ−１０Ｙの圧電アクチュエータ７が駆動される
ことによりＹ軸方向に並進変位する。これにより、この
微動機構はＸ軸およびＹ軸の２軸方向の並進変位が可能
となる。
動ユニット１０Ｘの剛体部１と微動ユニツ目ＯＹの剛体
部２とは一体に構成されている。微動ユニット１０Ｘの
剛体部２は、微動ユニット１０Ｘの圧電アクチュエータ
７が駆動されることによりＸ軸方向に並進変位し、微動
ユニツｌ−１０Ｙの圧電アクチュエータ７が駆動される
ことによりＹ軸方向に並進変位する。これにより、この
微動機構はＸ軸およびＹ軸の２軸方向の並進変位が可能
となる。
第３図に示す微動機構の構造は、図から明らがなように
片持ち梁の構造となる。ところで、２軸並進の微動機構
はＺ軸方向の厚みの小さい薄型とされるのが通常である
から、第３図に示す片持ち梁の形の微動機構は、外力に
対してＺ軸方向の剛性が弱くなるという問題が生じる。
片持ち梁の構造となる。ところで、２軸並進の微動機構
はＺ軸方向の厚みの小さい薄型とされるのが通常である
から、第３図に示す片持ち梁の形の微動機構は、外力に
対してＺ軸方向の剛性が弱くなるという問題が生じる。
そこで、第３図に示す微動機構のように片持ち梁の構造
とはならない微動機構が提案されている。これを第４図
により説明する。
とはならない微動機構が提案されている。これを第４図
により説明する。
第４図は他の従来の微動機構の平面図である。
図で、第２図に示す部分と同−又は等価な部分には同一
符号が付しである。１０Ｘ＋ 、１ＯＸｚはＸ軸方向の
並進変位を行なう微動ユニット、ＩＯＹ、。
符号が付しである。１０Ｘ＋ 、１ＯＸｚはＸ軸方向の
並進変位を行なう微動ユニット、ＩＯＹ、。
１０Ｙ２はＹ軸方向の並進変位を行なう微動ユニットで
ある。微動ユニットＩＯＸ、、ＬＯＸｚは線■−１につ
いて対称位置に配置され、微動ユニッＨＯＹ＋ 、１０
Ｙｔは線Ｊ−Ｊについて対称位置に配置されている。そ
して、微動ユニッｈｌＯＸ、 、 １０Ｘｚの剛体部１
と微動ユニッ目ＯＹ１，１０Ｙ２の剛体部２とは一体と
なって中心剛体部１２を構成している。図示されていな
いが微動ユニッ目ｏｘ、 、 ｉ。
ある。微動ユニットＩＯＸ、、ＬＯＸｚは線■−１につ
いて対称位置に配置され、微動ユニッＨＯＹ＋ 、１０
Ｙｔは線Ｊ−Ｊについて対称位置に配置されている。そ
して、微動ユニッｈｌＯＸ、 、 １０Ｘｚの剛体部１
と微動ユニッ目ＯＹ１，１０Ｙ２の剛体部２とは一体と
なって中心剛体部１２を構成している。図示されていな
いが微動ユニッ目ｏｘ、 、 ｉ。
Ｘ２の両開体部２に跨って剛体の激動テーブルが連結さ
れている。微動ユニットｌ０ＸＩ 、ＩＯＸ、 の圧電
アクチュエータ７を駆動することにより、微動テーブル
はＸ軸方向に並進変位し、微動ユニッ）１０ｙｔ 、１
０Ｙｚの圧電アクチュエータ７を駆動することにより、
微動テーブルはＹ軸方向に並進変位する。
れている。微動ユニットｌ０ＸＩ 、ＩＯＸ、 の圧電
アクチュエータ７を駆動することにより、微動テーブル
はＸ軸方向に並進変位し、微動ユニッ）１０ｙｔ 、１
０Ｙｚの圧電アクチュエータ７を駆動することにより、
微動テーブルはＹ軸方向に並進変位する。
（発明が解決しようとする課題〕
第４図に示す微動機構は、片持ち梁構造とはならず、安
定した精度の高い２軸の並進変位を行なうことができる
。しかしながら、この微動機構は、各微動ユニット１０
Ｘ＋ 、１０Ｘｚ 、１０Ｙ＋ 、ｌ０ＹＺが四方に張
り出し、全体の外形寸法が大きくなるという問題があっ
た。
定した精度の高い２軸の並進変位を行なうことができる
。しかしながら、この微動機構は、各微動ユニット１０
Ｘ＋ 、１０Ｘｚ 、１０Ｙ＋ 、ｌ０ＹＺが四方に張
り出し、全体の外形寸法が大きくなるという問題があっ
た。
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、
安定した高精度の２軸並進変位を行なうことができ、し
かも外形寸法が小形である微動機構を提供するにある。
安定した高精度の２軸並進変位を行なうことができ、し
かも外形寸法が小形である微動機構を提供するにある。
上記の目的を達成するため、本発明は、２つの剛体部と
、これら剛体部を連結する複数の平板状弾性部材と、前
記各剛体部間に装架されこれら剛体部間に相対変位を発
生させる変位発生素子とで構成される微動ユニットを４
つ組合せて互いに直交する方向の変位を発生させる微動
機構において、前記４つの微動ユニットのすべてが、そ
の一方の外側の平板状弾性部材と他の微動ユニットの一
方の剛体部とが間隙を介して隣接せしめられ、かつ、当
該一方の剛体部のすべてが連結される態様で組合わされ
ていることを特徴とする。
、これら剛体部を連結する複数の平板状弾性部材と、前
記各剛体部間に装架されこれら剛体部間に相対変位を発
生させる変位発生素子とで構成される微動ユニットを４
つ組合せて互いに直交する方向の変位を発生させる微動
機構において、前記４つの微動ユニットのすべてが、そ
の一方の外側の平板状弾性部材と他の微動ユニットの一
方の剛体部とが間隙を介して隣接せしめられ、かつ、当
該一方の剛体部のすべてが連結される態様で組合わされ
ていることを特徴とする。
４つの微動ユニットのうち、平板状弾性部材が並行とな
る２つの微動ユニットの、他の平板状弾性部材と隣接し
ない側の各剛体部を固定した状態で、それら２つの微動
ユニットの各変位発生素子を駆動すると、他の２つの微
動ユニットの他の平板状弾性部材と隣接しない各剛体部
は第１の方向に並進変位する。又、上記他の２つの微動
ユニットの各変位発生素子を駆動すると、それら微動ユ
ニットの他の平板状弾性部材と隣接しない各剛体部は前
記第１の方向と直交する第２の方向に並進変位する。
る２つの微動ユニットの、他の平板状弾性部材と隣接し
ない側の各剛体部を固定した状態で、それら２つの微動
ユニットの各変位発生素子を駆動すると、他の２つの微
動ユニットの他の平板状弾性部材と隣接しない各剛体部
は第１の方向に並進変位する。又、上記他の２つの微動
ユニットの各変位発生素子を駆動すると、それら微動ユ
ニットの他の平板状弾性部材と隣接しない各剛体部は前
記第１の方向と直交する第２の方向に並進変位する。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
第１図は本発明の実施例に係る微動機構の平面図である
。図で、第２図に示す部分と同−又は等価な部分には同
一符号を付して説明を省略する。
。図で、第２図に示す部分と同−又は等価な部分には同
一符号を付して説明を省略する。
２０Ｘ＋ 、２０ＸｚはＸ軸方向の並進変位を行なう微
動ユニット、２ｏＹ、、２０Ｙ！はＹ軸方向の並進変位
を行なう微動ユニットである。
動ユニット、２ｏＹ、、２０Ｙ！はＹ軸方向の並進変位
を行なう微動ユニットである。
上記微動機構において、微動ユニット２０Ｘ＋の平板３
と微動ユニツｌ−２０Ｙ、の剛体部２の外側面とは間隙
Ｓ、を介して隣接配置され、微動ユニット２０Ｙ、の平
板４と微動ユニツ）２０Ｘ、の剛体部１の外側面とは間
隙Ｓ！を介して隣接配置される。
と微動ユニツｌ−２０Ｙ、の剛体部２の外側面とは間隙
Ｓ、を介して隣接配置され、微動ユニット２０Ｙ、の平
板４と微動ユニツ）２０Ｘ、の剛体部１の外側面とは間
隙Ｓ！を介して隣接配置される。
又、微動ユニット２０ Ｘ ！の平板４と微動ユニット
２０Ｙ２の剛体部２の外側面とは間隙Ｓ、を介して隣接
配置され、微動ユニット２０Ｙｔの平板３と微動ユニツ
）２０ＸＩの剛体部１の外側面とは間隙Ｓ４を介して隣
接配置される。そして、微動ユニット２０Ｘ＋ 、２０
Ｘｚの剛体部１および微動ユニット２０Ｙ＋ 、２０Ｙ
ｔの剛体部２は一体に連結される。
２０Ｙ２の剛体部２の外側面とは間隙Ｓ、を介して隣接
配置され、微動ユニット２０Ｙｔの平板３と微動ユニツ
）２０ＸＩの剛体部１の外側面とは間隙Ｓ４を介して隣
接配置される。そして、微動ユニット２０Ｘ＋ 、２０
Ｘｚの剛体部１および微動ユニット２０Ｙ＋ 、２０Ｙ
ｔの剛体部２は一体に連結される。
さらに、微動ユニット２０Ｘ、の剛体部２の外側面と微
動ユニット２０Ｙｌの平板３とはほぼ一平面となるよう
に配置され、同じく、微動ユニット２０Ｙ、の剛体部ｌ
の外側面と微動ユニット２０Ｘ２の平ｖｉ３、微動ユニ
ツ）２０Ｘ！の剛体部２の外側面と微動ユニット２０Ｙ
２の平板４、および微動ユニット２０ Ｙ 、の剛体部
ｌの外側面と微動ユニット２０Ｘｌの平板４とはそれぞ
れほぼ同一平面となるように配置される。
動ユニット２０Ｙｌの平板３とはほぼ一平面となるよう
に配置され、同じく、微動ユニット２０Ｙ、の剛体部ｌ
の外側面と微動ユニット２０Ｘ２の平ｖｉ３、微動ユニ
ツ）２０Ｘ！の剛体部２の外側面と微動ユニット２０Ｙ
２の平板４、および微動ユニット２０ Ｙ 、の剛体部
ｌの外側面と微動ユニット２０Ｘｌの平板４とはそれぞ
れほぼ同一平面となるように配置される。
今、各微動ユニット２０ＸＩ 、２０Ｘ！ 、２０ＹＩ
。
。
２０Ｙ２の寸法が同一であり、かつ、各間隙Ｓ、〜Ｓ４
が同一間隙であるとすると、微動ユニット２０Ｘｌと微
動ユニット２０Ｘｔ、および微動ユニット２０ｙ＋ と
微動ユニット２０Ｙ２は、それぞれこの微動機構の中心
点０に関して互いに点対称となるように配置されている
こととなる。
が同一間隙であるとすると、微動ユニット２０Ｘｌと微
動ユニット２０Ｘｔ、および微動ユニット２０ｙ＋ と
微動ユニット２０Ｙ２は、それぞれこの微動機構の中心
点０に関して互いに点対称となるように配置されている
こととなる。
微動ユニット２０Ｙ＋ 、２０ｙｔの剛体部を固定し、
微動ユニット２０Ｘｒ 、２０Ｘｚの剛体部２に跨って
剛体の微動テーブルを連結した状態で、微動ユニット２
０Ｘ＋ 、２０Ｘｚの圧電アクチュエータ７を駆動する
と、微動テーブルはＸ軸方向に並進変位し、又、微動ユ
ニット２０Ｙｔ 、２０ｙ、の圧電アクチュエータ７を
駆動すると、微動テーブルはＹ軸方向に並進変位する。
微動ユニット２０Ｘｒ 、２０Ｘｚの剛体部２に跨って
剛体の微動テーブルを連結した状態で、微動ユニット２
０Ｘ＋ 、２０Ｘｚの圧電アクチュエータ７を駆動する
と、微動テーブルはＸ軸方向に並進変位し、又、微動ユ
ニット２０Ｙｔ 、２０ｙ、の圧電アクチュエータ７を
駆動すると、微動テーブルはＹ軸方向に並進変位する。
これにより、Ｘ軸およびＹ軸方向の２軸並進変位を行な
うことができる。
うことができる。
上記のように構成したので、本実施例の微動機構は、片
持ち梁構造をもたず、したがって安定した高精度の２軸
並進変位を行なうことができるとともに、第４図に示す
従来の微動機構のような張出し構造による無駄な空間を
省くことができ、全体構造を小形に構成することができ
る。
持ち梁構造をもたず、したがって安定した高精度の２軸
並進変位を行なうことができるとともに、第４図に示す
従来の微動機構のような張出し構造による無駄な空間を
省くことができ、全体構造を小形に構成することができ
る。
なお、上記実施例の説明では、変位発生素子として圧電
アクチュエータを用いる例について説明したが、電磁式
の直進モータ等を使用することもできる。又、微動ユニ
ツ）２０Ｙ＋ 、２０Ｙｚの剛体部を固定する例につい
て説明したが、微動ユニツ）２０Ｘ＋ 、２０Ｘｚの剛
体部を固定してもよいのは明らかである。
アクチュエータを用いる例について説明したが、電磁式
の直進モータ等を使用することもできる。又、微動ユニ
ツ）２０Ｙ＋ 、２０Ｙｚの剛体部を固定する例につい
て説明したが、微動ユニツ）２０Ｘ＋ 、２０Ｘｚの剛
体部を固定してもよいのは明らかである。
以上述べたように、本発明では、４つの微動ユニットの
すべてが、その一方の平板状弾性部材と他の微動ユニッ
トの一方の剛体部とが間隙を介して隣接上しめられ、か
つ、内方にある各剛体部が連結されるような態様で組合
されているので、片持ち梁構造は存在せず、したがって
、安定した高精度の２軸並進変位を行なうことができる
ととに、全体構造を小形に構成することができる。
すべてが、その一方の平板状弾性部材と他の微動ユニッ
トの一方の剛体部とが間隙を介して隣接上しめられ、か
つ、内方にある各剛体部が連結されるような態様で組合
されているので、片持ち梁構造は存在せず、したがって
、安定した高精度の２軸並進変位を行なうことができる
ととに、全体構造を小形に構成することができる。
第１図は本発明の実施例に係る微動機構の平面図、第２
図、第３図および第４図はそれぞれ従来の微動機構の平
面図である。 １．２・・・・・・剛体部、３．４・・・・・・平板、
７・・・・・・圧電アクチュエータ、２０Ｘ＋ 、２０
Ｘｔ 、 ２０Ｙ＋ 、 ２０・・・・・・微動ユニッ
ト、 〜Ｓ４ ・・・・・・間隙 第１凶 ２３凶 １．２−・−ＦｉＪ停鮮 ３４−・＃−腋 ７−・、五＠７り÷ユニーク ２０Ｘ、、２０Ｘ２，２０￥、２０Ｙ、−ｅＮユニ、’
ｈ５＋１５２．５３．５４−間隙
図、第３図および第４図はそれぞれ従来の微動機構の平
面図である。 １．２・・・・・・剛体部、３．４・・・・・・平板、
７・・・・・・圧電アクチュエータ、２０Ｘ＋ 、２０
Ｘｔ 、 ２０Ｙ＋ 、 ２０・・・・・・微動ユニッ
ト、 〜Ｓ４ ・・・・・・間隙 第１凶 ２３凶 １．２−・−ＦｉＪ停鮮 ３４−・＃−腋 ７−・、五＠７り÷ユニーク ２０Ｘ、、２０Ｘ２，２０￥、２０Ｙ、−ｅＮユニ、’
ｈ５＋１５２．５３．５４−間隙
Claims (1)
- ２つの剛体部と、これら剛体部を連結する複数の平板状
弾性部材と、前記各剛体部間に装架されこれら剛体部間
に相対変位を発生させる変位発生素子とで構成される微
動ユニットを４つ組合せて互いに直交する方向の変位を
発生させる微動機構において、前記４つの微動ユニット
のすべてが、その一方の外側の平板状弾性部材と他の微
動ユニットの一方の剛体部とが間隙を介して隣接せしめ
られ、かつ、当該一方の剛体部のすべてが連結される態
様で組合わされていることを特徴とする微動機構
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1182503A JP2760404B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 微動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1182503A JP2760404B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 微動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0348192A true JPH0348192A (ja) | 1991-03-01 |
| JP2760404B2 JP2760404B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=16119433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1182503A Expired - Lifetime JP2760404B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 微動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2760404B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6488182A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Toshiba Corp | Fine displacement table apparatus |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP1182503A patent/JP2760404B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6488182A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Toshiba Corp | Fine displacement table apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2760404B2 (ja) | 1998-05-28 |
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