JPH0348517A - Igbt素子の駆動回路 - Google Patents

Igbt素子の駆動回路

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JPH0348517A
JPH0348517A JP31377489A JP31377489A JPH0348517A JP H0348517 A JPH0348517 A JP H0348517A JP 31377489 A JP31377489 A JP 31377489A JP 31377489 A JP31377489 A JP 31377489A JP H0348517 A JPH0348517 A JP H0348517A
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JP
Japan
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voltage
gate
igbt element
current
collector
Prior art date
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JP31377489A
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English (en)
Inventor
Majiyuumudaaru Goorabu
ゴーラブ・マジュームダール
Moichi Yoshida
吉田 茂一
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、スイッチング用半導体素子の一種であるI
 G B T (Insulated Gate Bi
pOlar Transistor)素子の駆動回路の
過電流保護回路に関する。
〔従来の技術〕
IGBT素子は、バイボーラトランジスタと同様に、高
耐圧・大電流定格という特徴を有する。
また、パワーMOSFETと同様に、絶縁ゲート構造に
よる高入力インピーダンスを有し、駆動が容易で、高速
スイッチングが可能であるという特徴も有している。そ
のため、IGBT素子は、これらの特徴を有する新しい
デバイスとして、最近注目されている。iGT,COM
FET,GEMFET,MBTまたはBiFETなどと
いう商品名を有するデバイスが製品化されている。
第8A図は、IGBT素子の回路記号を示す図であり、
IGBT素子のゲートG,コレクタC,エミッタEが示
されている。第8B図はI GBT素子の等価回路を示
す回路図である。第8B図に示すように、IGBT素子
のゲートGは、MOSトランジスタQ  のゲートに、
エミッタEはMMOS OSトランジスタQ  のソースに、それぞれ接MOS 続されている。コレクタCとエミッタEとの間には、サ
イリスタを構成するpnp}ランジスタQ およびnp
n }ランジスタQ2が存在する。
l トランジスタQlのエミッタは、I GBT素子のコレ
クタCに、ベースはトランジスタQ2のコレクタに、コ
レクタはトランジスタQ2のベースに接続される。トラ
ンジスタQ2のコレクタは、変調抵抗RMを介してMO
SトランジスタQMoSのドレインに、エミッタはIG
BT素子のエミッタに接続される。トランジスタQ2の
ベース・エミッタ間には抵抗RBEが接続される。また
、第8A図および第8B図にはコレクタ電流ICが図の
ように示されている。
次に、IGBT素子の過電流保護について説明する。コ
レクタ電流!。が増加し、所定の値以上になると、トラ
ンジスタQ.Q2によって構成1 される寄生サイリスタがターンオン状態となる。
いったん電流が流れ始めると、電流の遮断が不可能とな
り、発熱のため、IGBT素子が破壊されてしまう。こ
の現象をラッチアップと呼び、その時に流れる電流値を
ラッチアップ電流と呼ぶ。この問題は、IGBT素子を
用いるにあたって、充分に注意を要する。
従って、IGBT素子の過電流保護においては、IGB
T素子の過電流をラッチアップ電流以下に抑制すること
が重要な課題となる。I GBT素子のコレクタ電流1
cはゲート電圧に依存している。
ゲート電圧が所定の値以上になると、コレクタ電流IC
がラッチアップ電流以上になり、ラッチアップが起こる
第9図はIGBT素子の従来の駆動回路の一例を示す回
路図である。スイッチングユニットSU内には、電圧源
v  ,■  が備えられている。
GEI   GE2 電圧源V  の負電位側端子と電圧源■  の正GEL
             GE2電位側端子とが接地
される。電圧源V  の正電GEL 位側端子は、出力抵抗R。およびスイッチング素子S1
を介して、出力点OUTに接続され、電圧源V  の負
電位側端子は、スイッチング素子SGE2 2を介して出力点OUTに接続される。
出力点OUTは、ゲート抵抗R。を介してIGBT素子
Q。のゲートに接続される。I GBT素子Qoのエミ
ッタは接地され、コレクタは負荷LDおよび電流検出器
CSを介して電源電圧V。0の正電位側端子に接続され
る。電源電圧V。0の負電位側端子は接地される。また
、寄生容量として、ゲート・コレクタ間に容量CGCが
、ゲート・エミヅタ間に容量CGEが存在する。
電流検出器CSの出力は制御システムSYに与えられる
。電流検出器CSが過電流を検出した場合には、制御シ
ステムSYはスイッチング素子S1をOFF状態、スイ
ッチング素子S2をON状態にして、I GBT素子Q
。を強制的にOFF状態にする保護動作を行う。
次に、動作について説明する。制御システムSYからの
制御信号によってスイッチング素子31,S2のO N
/O F F状態が指定される。スイッチング素子S1
がON状態、スイッチング素子S2がOFF状態の一時
、I GBT素子Q。はON状態になり、負荷LDに電
流が供給される。スイッチング素子S1がOFF状態、
スイッチング素子S2がON状態の時、IGBT素子Q
oはOFF状態になり負荷LDには電流が流れなくなる
。このように、スイッチング素子S1.S2のON/O
FF状態を制御することにより、負荷LDへの供給電流
を制御する。
次に、動作異常について説明する。負荷LDとして、例
えばモータなどを用いた場合、モータの異常によって、
図中に(短絡)で示すように、電源電圧V が直接、I
GBT素子Q。のコレクタCC に印加される場合がある。電m電圧V。0としては数百
Vの電圧が用いられるので、コレクタ電流■ が急激に
増加し、EGBT素子Q。が発熱すC る。IGBT素子Q。の温度が上昇すると、さらにコレ
クタ電流1cが増加し、第8B図に示すトランジスタQ
.Q2によって形成される寄生サl イリスタがターンオンしやすくなる。そのため負荷短絡
時には、前述した制御システムSYによる保護動作が完
了する前に、発熱によるラッチアップが起こりやすくな
る。
また、負荷短絡時には、電源電圧V。0による大電圧が
コレクタ・エミッタ間に瞬間的に印加される。この時、
容mc,c  が存在するためにゲGC   GE 一ト電圧が瞬間的に増大する。その増大する電圧ΔVG
Eは、コレクタ●エミッタ間にステップ状に印加される
増大電圧ΔvCEを用いて、下記式(1)で与えられる
ΔV 一ΔV CE X C cc/ C GE   
 ”’ (1 )GE 増大電圧ΔvCEは数十Vから数百V程度の大きさであ
り、容量比CGC/CGEは0.01〜0.05程度の
値である。例えば ΔV  −  100V,Coc/
CoE−CB 0.05  とすると式(l)ヨり、ΔVoE−5V 
 となる。通常動作時よりもゲート電圧が、さらに5v
増大するので、コレクタ電流I。が増大し、瞬間的にラ
ッチアップが起る可能性がある。
この容量成分の電圧上昇によるラッチアップは、ゲート
抵抗R。の値を小さくすれば、ある程度緩和できる。し
かし、ゲート抵抗RGをあまりに小さくしてしまうと、
電圧源V  への切換り時にGE2 変位dV/dtが大きくなり、やはりI GBT素子Q
oがラッチアップしやすくなり、かつコレクタ・エミッ
タ間に耐圧以上のサージ電圧が発生しやすくなるので、
ゲート抵抗R。として、通常数Ω〜百Ωの抵抗を用いる
必要がある。なお、この抵抗を大きくしすぎると、スイ
ッチング時間が長くなり、かつスイッチング時の損失が
増大し、高周波での駆動が困難になることが知られてい
る。
以上のような機構によって起こるラッチアップを防止す
るために、従来の駆動回路では、電圧源V  の電圧を
小さくし、通常動作時におけるゲGEI 一ト電圧を下げるという方法が用いられている。
この方法によるとIGBT素子Q。の通常のコレクタ電
流I。が小さく抑制され、負荷短絡時にコレクタ電流l
cが増大しても、ラッチアップが起こりにくくなる。一
方、IGBT素子Q。のオン抵抗が大きくなり、負荷L
D以外での電力損失が増加する。
〔発明がAq決しようとする課題〕
従来のI GBT素子の駆動回路は以上のように構成さ
れているので、I GBT素子Q。のラッチアップを防
ぐために、比較的低いゲート電圧によってIGBT素子
Qoを駆動していた。そのため、IGBT素子Q。のオ
ン抵抗が高くなり、IGBT素子Q。における電力損失
が大きくなるという問題があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、IGBT素子のラッチアップを防ぎつつ、
ゲート電圧を充分高くすることによって、IGBT素子
のオン抵抗を小さくし、電力損失を低減することのでき
るI GBT素子の駆動回路を得ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
この発明に係るIGBT素子の駆動回路は、IGBT素
子のゲートにゲートバイアス電圧を与えることにより、
IGBT素子を駆動する順ゲートバイアス電圧源と、I
GBT素子のコレクタに接続され、該コレクタの電圧を
所定電圧だけ降下させる電圧降下手段と、電圧降下手段
とIGBT素子のエミッタとの間に接続され、分割され
た電圧を中間点より導出する電圧分割器と、IGBT素
子のゲートと所定の電位を与える端子との間に設けられ
た電流経路と、電圧分割器の中間点にゲートを接続され
、電流経路にソースおよびドレインを直列に介挿された
MOSFETと、IGBT素子のゲートと順ゲートバイ
アス電圧源との間に接続された出力抵抗とを備えたもの
である。
〔作用〕
この発明におけるMOSFETは、電圧分割器の中間点
にゲートを接続され、I GBT素子のゲートと所定の
電位を与える端子との間に設けられた電流経路にソース
およびドレインを直列に介挿されるので、IGBT素子
のコレクタの電位が所定電位より高くなると導通状態と
なり、IGBT素子のゲート電位を制限する。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
図はこの発明の一実施例によるI GET素子の駆動回
路の回路図である。
スイッチングユニットSU内には電圧源vGEL’vG
E2が備えられている。電圧源V  の負電位GEI 側端子と電圧源V  の正電位側端子とが接地さGE2 れる。電圧源V  の正電位側端子は、出力抵抗GEI Roおよびスイッチング素子s1を介して、出カ点OU
Tに接続され、電圧源V  の負電位側端GE2 子は、スイッチング素子s2を介して出カ点OUTに接
続される。また、制御システムSYからの制御信号によ
ってスイッチング素子Sl,S2のON/OFF状態が
指定される。
出力点OUTは、ゲート抵抗R。を介してIGBT素子
Q。のゲートに接続される。IGBT素子Q。のエミッ
タは接地され、コレクタは負荷LDおよび電流検出器C
Sを介して電源電圧V。0の正電位側端子に接続される
。電源電圧■。0の負電位側端子は接地される。また、
寄生容量として、ゲート・コレクタ間に容量CGcが、
ゲート・エミッタ間に容量CGEが存在する。
電流検出器CSの出力は制御システムsYに与えられる
。電流検出器CSが過電流を検出した場合には、制御シ
ステムSYはスイッチング素子SlをOFF状態、スイ
ッチング素子S2をON状態にして、IGBT素子Q。
を強制的にOFF状態にする保護動作を行う。
出力抵抗R。とスイッチング素子S1との接続点は抵抗
Rt,を介してMOSI−ランジスタQMのドレインに
接続される。MOSトランジスタQMのソースは、ダイ
オードD1のアノードに、ダイオードD1のカソードは
接地電位に接続される。
また、この経路には電流ILが、図中の方向に流れる。
なお、ダイオードD は、電流ILの逆流{ を防止するためのものである。
IGBT素子QoのコレクタはダイーオドD2のアノー
ドに、ダイオードD2のカソードはツエナーダイオード
Dzのカソードに接続される。ツェナーダイオードDz
のアノードは、ポテンシャルディバイダーとして機能す
る抵抗R  ,R  を12 介して接地される。この経路には、電流IRが図中の方
向に流れる。なお、ダイオードD2は電流■Rの逆流を
防止するためのものであり、なくてもよい。また抵抗R
1と抵抗R2との接続点は、MOS}ランジスタQMの
ゲートに接続される。
IGBT素子Qoのコレクタ・エミッタ間には、通常I
GBT素子Q。に逆並列に還流ダイオードDwが組み込
まれており、還流ダイオードDwのアノードはエミッタ
に、カソードはコレクタに接続されている。また、第1
図に示すように、IGBT素子Qoのコレクタからエミ
ッタへはコレクタ電流I。が流れる。
また通常、駆動回路全体は複数のアームから成るブリッ
ジ構成となっている。第1図に示す駆動回路はその中の
一つのアームに対応しており、他のアームも同様の構或
である。負荷LDの両端には、さらに他のアームARに
属する還流ダイオードDxが逆並列に接続されるように
、アーム間の配線が施されている。
次に動作について説明する。第2図および第3図は、第
1図に示す駆動回路の通常動作時での各部の波形を示す
タイミングチャートである。
時刻1<11において、第1図に示すスイッチング素子
S1がOFF状態、スイッチング素子S2がON状態で
ある。電圧ri.■   の負電位側端GE2 子がスイッチング素子S2およびゲート抵抗R。
を介してIGBT素子Q。のゲートに接続される。
第2図に示すように、ゲート電圧V6として負の電圧(
−■  )が与えられ、I GBT素子Q。
GE2 はOFF状態となる。第3図に示すように、コレクタ電
流lcは流れず、コレクタ・エミッタ間電圧V。おとし
て電源電圧V。0が印加される。
また、ダイオードD 1 Dzおよび抵抗R1,2 R2によって形威される経路にも非常に大きい電源電圧
vccが印加されているため、一定の大きさの電流IR
が流れる。この電流IRは後述する保謹動作には関与す
るが、通常の駆動動作には関与せず、I GBT素子Q
oがOFF状態であるこの期間においては無効電流とな
る。なお、この無効電流低減のための各素子の定数の設
定については後述する。
時刻11において、スイッチング素子s1が0N状態に
、スイッチング素子S2がOFF状態になる。電圧源V
  の正電位側端子が、抵抗R。,GEI スイッチング素子S1およびゲート抵抗R。を介してI
 GBT素子Q。のゲートに接続される。第2図に示す
ように、ゲート電圧V。が上昇し時刻t2においてOv
に達する。さらに時刻t3までにIGBT素子Q。が活
性状態になる電位に達する。このゲート電圧V。の上昇
に追随して、時刻t3までにコレクタ電流I。が流れ出
す。また、IGBT素子QoがOFF状態からON状態
に移行するため、電圧V。6が下がりだす。
一般にI GBT素子の特性として、ON状態の初期に
はゲート電圧が一定のレベルを保持する現象が起こる。
そのため、IGBT素子QoがON状態になると、ゲー
ト電圧V。は時刻t4まで、ある電圧を保ち、その後さ
らに上昇する。そして時刻t において、完全に電圧I
Wv  の正電位5             GEL 側端子の電圧と等しくなる。
コレクタ電流■ は、時刻t3から時刻t4まC での間、他のアームARに属する還流ダイオードDxの
逆回復電流のため一時的に増大し、通常のピーク電流l
  となる。その後、定常状態となCPN り、電圧源V  によって決定される通常の電流GEI 値■ となる。またIGBT素子Q。がON状態CN になるのに従って電圧V は時刻t3から時刻CE t まで下がり、時刻t4以後、IGBT素子4 Q が完全にON状態になるので飽和電圧vcEs0 になる。
第4図および第5図は短絡動作時の各部の波形を示すタ
イミングチャートである。
まず、後述する保護動作との対比のために、第1図の回
路から、ダイオードD  ,D 2 , D z 11 抵抗R  ,R  ,R  およびMOS}ランジスタ
12L QMより成る保護回路を取り除いた保護機能を備えてい
ない第9図に示す従来の駆動回路の短絡時の動作につい
て説明する。
まず、時刻t3までに負荷LD内で短絡が起こっている
とする。第4図において、短絡時のゲート電圧V の波
形は、時刻t5まではスイッチンG グ素子SL,S2のON/OFF状態にしたがって、前
述した第2図に示す通常動作時のゲートa圧V。と同様
の波形となる。
時刻t5以後において、負荷LDの短絡によって電源電
圧vccが直接コレクタに印加されているため、ゲート
電圧V は容量比CGC/CGEに比例G する増加電圧ΔV だけ時刻t6まで過渡的に上GE 昇を続ける。その後、電圧源V  の正電位側端GEI 子の電圧まで降下し、定常状態となって安定する。
また第5図に示すように、ゲート電圧V。の上昇に追随
してコレクタ電流l は時刻t3までにC 流れ出し、以後、増大する。そして電圧ΔvGEの増加
分に対応して一時的に増加し、時刻t6で短絡時のピー
ク電流I  となる。その後定常状態CPS となり、短絡時の一定の電流値I。3となる。
またコレクタ・エミッタ間電圧vcEは、IGBT素子
Q。が完全なON状態に移行する時刻t3から時刻t 
までの間は、コレクタ電流1cが少4 <IGBT素子Qoのコレクタ・エミッタ間抵抗が小さ
いため、電源電圧vccから一時的に降下する。その後
、コレクタ電流1cが増大するとIGBT素子Qoのコ
レクタ・エミッタ間抵抗が大きくなり、さらに負荷LD
が短絡しているため、コレクタ・エミッタ間電圧vcE
は電源電圧vcoに向かって上昇し、時刻t6以後の定
常状態では、ほほ電源電圧V。0となる。
時刻t6以後の定常状態においても、コレクタ・エミッ
タ間電圧V が、ほぼ電源電圧■CoとなCE っているため、短絡時の電流値■。3は、前述した第3
図に示す通常の電流値I。Nよりも非常に大きい値とな
り、例えば通常流れる定格電流の6〜7倍程度の電流値
となる。
以上のように保護機能を備えていない駆動回路において
は、一時的に増加する短絡時のピーク電流I  のため
、IGBT素子Q。が瞬間的にラCP8 ッチアップを起こす可能性がある。
また、短絡時のピーク電流I  のため、IGCPS BT素子Qoがラッチアップを起こさなくても、以下の
ようにして発熱による電流増大のためラッチアップを起
こすす可能性がある。
前述したように、通常このような駆動回路は、スイッチ
ング素子Sl,S2を制御する制御システムSYによっ
ても保護されている。しかし、電流検出器CSが負荷短
絡などの動作異常による過電流を検出し、制御システム
SYがスイッチング素子S1をOFF状態にスイッチン
グ素子S2をON状態にして、強制的にIGBT素子Q
。をOFF状態にするまでには通常30μSec程度の
時間を必要とする。負荷短絡時には、時刻t6以後の定
常状態においても、定格電流の6〜7倍程度の電流値I
 を有するコレクタ電流I。が流れ、CS 5〜30μsec程度の時間で発熱によるラッチアップ
が起こってしまう。そのため制御システムSYによる保
護動作は無効となってしまう。
次に、保護機能を備えた第1図に示す駆動回路の動作に
ついて説明する。
時刻t4までの動作は前述した保護機能を備えない回路
と同様の動作となる。時刻t4以後、■GBT素子Q 
のコレクタ・エミッタ間電圧vcE0 が増加する。コレクタ・エミッタ間電圧vcEがツエナ
ーダイオードD のツエナー電圧Vzとダイ2 オードD の順方向電圧V,との和よりも大きい2 時には、第6図に示す特性に従って電流IRが流れる。
このV−1特性は用いるダイオードD2D7の特性に依
存するが、単調増加であり、電圧V の増加に追随して
電流IRも増加する。
CE MOS}ランジスタQMのゲート電圧は、IR×R で
与えられる。ここで、ゲート電圧IR×2 R が、MOSトランジスタQMがON状態にな2 る所定の閾値電圧v1HとダイオードD1の順方向電圧
VPとの和を越える時のコレクタ・エミッタ間電圧V 
を、閾値電圧V  と定義する。コレCE      
  CET クタ・エミッタ間電圧V。Eが増加して、閾値電圧V 
 を越えると、MOSトランジスタQMがOCET N状態になり電流1t,が流れ出す。これにより、スイ
ッチングユニットSUの出力点OUTの電圧、つまりI
 GBT素子Q。のゲート電圧V。の大きさが下記式(
2〉で与えられる制限ゲート電圧V。Lとなる。
V  −I  X(R  +r  )+V   ・(2
)GL   L    L   DS    Fただし
、式〈2)において、rDsはMOSトランジスタQM
のON状態でのドレイン・ソース間抵抗である。また、
コレクタ・エミッタ間電圧vcEが閾値電圧V  に達
し、制限動作を開始する時にCET 流れるコレクタ電流1cのピーク電流値は、IGBT素
子Qoが瞬間的にラッチアップを起こさない程度に小さ
い必要がある。つまり、短絡時のピーク電流I  が流
れる時刻te以前に、かつ時CPS 刻t4以後できるだけ早く、コレクタ・エミッタ間電圧
V が閾値電圧V  に達しMOSトランCE    
   GET ジスタQMがON状態になるように、各素子の定数を設
定する必要がある。以上のような設定によって短絡時の
ピーク電流I  によるIGBT素CPS 子Qoのラッチアップを防ぐことができる。
しかし、保護動作を開始するタイミングを早くするため
に、閾値電圧V  をあまりに低く設定CET すると、通常の駆動動作のタイミングが遅くなったり、
,ノイズなどの影響により誤って保護動作を開始したり
する。そのため、閾値電圧V  は、GET 通常の駆動動作および保護動作の両方が円滑に行えるレ
ベルに設定する必要がある。なお、このMOSトランジ
スタQMがON状態になるタイミングの設定については
、さらに後述する。
また第4図に示すように、制限ゲート電圧V。,が充分
低い電圧となるように、式(2)内の各素子の定数が設
定されるので、時刻t6以後の定常状態においてコレク
タ・エミッタ間電圧vcEとして非常に大きい電源電圧
V。0が印加されても、保護動作時のコレクタ電流IC
は、充分小さい電流値I に制限される。電流値I。,
を、例えば通常流CL れる定格電流の2倍程度に抑制すれば、過電流が流れは
じめてから発熱によるラッチアップが起こるまでの時間
を50μsec程度に延ばすことができる。そのため、
前述した制御システムSYによる保護動作が有効に動作
し、発熱によるラッチアップを防ぐことができる。
次に、無効電流低減のためのダイオードD 2 ,D 
および抵抗R,R2の各素子の定数の設定Z     
        1 について説明する。
ツェナーダイオードD2は、電圧降下手段として設けら
れている。そのため、負荷短絡時やIGBT素子Qoが
OFF状態の期間において、、■GBT素子Qoのコレ
クタ・エミッタ間電圧V。Eとして電源電圧V。0が印
加されても、抵抗R1,R2にかかる電圧は、コレクタ
・エミッタ間電圧voEより充分小さくなり電流IRも
充分小さくなる。また負荷短絡が起こらず、I GBT
素子Q。
が通常のON状態の期間においては、コレクタ●エミッ
タ間電圧V。Eは、第3図に示すように非常に小さい飽
和電圧V  になるので、電流IRはCES ツエナーダイオードDzで阻止され、抵抗R1,R2に
は電流が流れない。
以上のように、ツエナーダイオードDzを電圧降下手段
として設ける事により、抵抗RRlノ2 に流れる無効電流を低減し、消費電力を小さくすること
ができる。
なお、ツエナーダイオードDZを設けなくても、抵抗R
,R2の抵抗値を充分大きくすれば、こl の部分での消費電力を小さくすることができるが、第1
図に示す駆動回路を集積化するに際して、半導体基板上
に高抵抗を精度良く形成するのは困難であり、また比較
的大きな実装面積を必要とする。
前述したように、MOSトランジスタQMのゲート電圧
は、抵抗R,R2の抵抗値に依存する。
l 抵抗R,R2の抵抗値にバラつきが生じると、! ゲート電圧V が閾値電圧vTl+に達するタイミンG グ、すなわち保護動作を開始するタイミングにもバラつ
きが生じる。そのため、実際の製品化に際して設計どお
り保護動作を開始しない駆動回路を生じる可能性が高く
なる。
以上のような事情を考慮すると、電源電圧V。0の大き
さに対応したツェナー電圧v2を有するツェナーダイオ
ードDzを用いたり、さらに複数個のツエナーダイオー
ドを直列に接続したりして、この部分での電圧降下を充
分大きくし、実装面積が小さく、かつ精度良く形成でき
る比較的小さい抵抗値を有する抵抗R  ,R  用い
る方が有利でl2 ある。
次に、MOSトランジスタQMがON状態になるタイミ
ングの設定について説明する。
MOSトランジスタQ の閾値電圧”Tl+は、そH の製造工程上、例えばチャネル領域に打ち込まれる不純
物イオンの濃度を制御することなどにより、任意に設定
できる。従って、保護機能が働き出す閾値電圧V  の
設定の自由度も大きくなる。
CET またMOSI−ランジスタQMがOFF状態からON状
態に移行するのに必要な過渡時間、つまりMOS}ラン
ジスタQMのゲートに閾値電圧vTHが与えられてから
MOSトランジスタQMが実際にON状態に移行するま
での時間は、短絡時のビーク電流I  にによるラッチ
アップを防ぐためCPS にも短い方が望ましい。
しかし、この過渡時間が短すぎると、以下に示すように
、通常のピーク電流I  に対してもMCPN OSトランジスタQMがON状態になる誤動作を起こす
可能性がある。つまり、第3図に示すように、通常のピ
ーク電流■  が流れる時刻t3かCPN ら時刻t4までの間においては、コレクタ●エミツタ間
電圧vCEは下がりきっておらず、ダイオードD ,ツ
エナーダイオードDzがON状態であ2 る可能性が高い。このため、逆回復電流の一部が電流I
Rの一部として流れ込み、MOSトランジQMのゲート
電圧が一時的に高くなり、MOSトランジQMが誤って
ON状態になる可能性がある。
閾値電圧VTHは、このような誤動作を起こさないよう
なレベルに設定されるが、以下のようにMOSトランジ
QMの構造を選択することによって、さらに確実に誤動
作を回避できる。
第7A図は、MOSトランジスタの断面構造の一例を示
す図である。第7A図に示すように、MOSトランジス
タQMとしては、垂直拡散(VDMOS)構造を有する
MOS}ランジスタが用いられる。VDMOS トラン
ジスタは高い耐圧および大きい電流容量をを有するとと
もに、以下に示すようにゲート電極のキャパシタ容量を
比較的大きく設定できる構造を有している。
図において、ドレイン電極Dに接続されたn+拡散領域
1の上にはn一拡散領域2が形成される。
n+拡散領域1およびn一拡散領域2はドレインとして
機能する。n一拡散領域2内にはp拡散領域3が形成さ
れ、p拡散領域3内にはソース電極Sに接続されソース
として機能するn 拡散領域4が形成される。n+拡散
領域4とn一拡散領域2との間のp拡散領域3の表面付
近にはチャネル領域5が形成され、チャネル領域5およ
びチャネル領域5の間のn 拡散領域2の上方には、ゲ
ート酸化膜6介してゲート電極7が形威される。
第7B図は、第7A図に示すvDMOSトランジスタの
ユニットセルの平面構造の一例を示す図である。第7B
図に示すように、チャネル領域5は一辺の長さLの矩形
状の平面構造を有しており、ゲート電極7の大きさも長
さLに対応して決定される。
MOSトランジスタQMとして、チャネル領域5の一辺
の長さLが大きく導適時のドレイン・ソース間抵抗’D
Sが小さい、つまり電流容量が大きくゲート電極7のキ
ャパシタ容量が大きい構造のものを選択すると、瞬間的
なピーク電流■  にCPN 対してはゲート電圧があまり上昇せずムダな保護動作を
回避でき、過剰な電流が一定時間以上続く短絡時のピー
ク電流■  に対してはゲート電圧CPS が充分に上昇し、必要な保護動作を開始する駆動回路を
構戊することができる。
また、第7B図に示すユニットセルを多く形成して、そ
の複数のユニットセルを並列に接続しても、ゲート電極
7のキャパシタ容量を大きくすることができる。さらに
、ゲート電極7のキャパシタ容量を大きくするために、
ゲート酸化膜6の厚さを薄くしたり、ゲート電極7の上
側の酸化膜の厚さやpn接合の接合容量を調整したりし
てもよい。
なお、六角形やくし形の他の平面構造を有するvDMO
Sトランジスタについても同様に、ゲート容量の大きさ
を制御できる。
例えば、第5図に示す時刻t1からピーク電流Icps
が流れる時刻t6までの所要時間は、2〜3μsec程
度である。また、第3図に示す時刻t から通常のピー
ク電流I  が流れる時刻まI           
 CPN での所要時間は、高周波用I GBT素子で0.  1
μSec程度、低周波用IGBT素子で0.8〜1.0
μsec程度である。以上のような数値を考慮すると、
スイッチングユニットSUや負荷LDが高周波用か低周
波用かによって変化するが、MOS}ランジスタQMの
構造、主としてゲート容量を制御することにより、通常
のピーク電流■  が流れる時刻後、および短絡時のピ
ーク電CPN 流が流れる時刻までに、誤動作を回避しつつMOSトラ
ンジスタQMを充分ON状態にすることができ、短絡時
のピーク電流I  によるラッチアCPS ップを防ぐことができる。
つまり、高周波用IGBT素子に対しては、ゲート容量
の小さいMOSトランジスタQMを、低周波用I GB
T素子に対してはゲート容量の大きいMOSトランジス
タQMを用いればよい。
このようにして、負荷短絡時などにI GBT素子Q。
に過剰なコレクタ電流I。が流れるのを抑制することに
より、誤動作を回避しつつ瞬間的な電圧上昇および発熱
によるラッチアップを防ぎ、I GBT素子Q。の過電
流保護を行うことができる。
〔発明の効果〕
以上のようにこの発明によれば、MOSFETは、電圧
分割器の中間点にゲートを接続され、■GBT素子のゲ
ートと所定の電位を与える端子との間に設けられた電流
経路にソースおよびドレインを直列に介挿されるので、
I GBT素子のコレクタの電位が所定電位より高くな
ると導通状態となり、I GET素子のゲート電位を制
限する。
そのため、IGBT素子のラッチアップを防ぎつつ、ゲ
ート電圧を充分高くすることによって、IGBT素子の
オン抵抗を小さくし、電力損失を低減することのできる
I GBT素子の駆動回路を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例によるIGBT素子の駆動
回路の回路図、第2図は第1図に示す回路の通常動作時
のゲート電圧の波形を示すタイミングチャート、第3図
は第1図に示す回路の通常動作時のコレクタ・エミッタ
間電圧およびコレクタ電流の波形を示すタイミングチャ
ート、第4図は第1図に示す回路の負荷短絡時のゲート
電圧の波形を示すタイミングチャート、第5図は第1図
に示す回路の負荷短絡時のコレクタ・エミッタ間電圧お
よびコレクタ電流の波形を示すタイミングチャート、第
6図はコレクタ・エミッタ間電圧と電流との関係を示す
グラフ、第7A図はMOSトランジスタの断面図、第7
B図はMOS}ランジスタの平面図、第8A図はI G
BT素子の回路記号を示す図、第8B図はI GBT素
子の等価回路を示す図、第9図は従来のIGBT素子の
駆動回路の回路図である。 図において、Q はIGBT素子、■  は電O   
       GEL 圧源、D はツェナーダイオード、R,R2は2   
                     1抵抗、
Q はMOSトランジスタ、Roは出力抵H 抗である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)IGBT素子のゲートにゲートバイアス電圧を与
    えることにより、前記IGBT素子を駆動する順ゲート
    バイアス電圧源と、 前記IGBT素子のコレクタに接続され、該コレクタの
    電圧を所定電圧だけ降下させる電圧降下手段と、 前記電圧降下手段と前記IGBT素子のエミッタとの間
    に接続され、分割された電圧を中間点より導出する電圧
    分割器と、 前記IGBT素子のゲートと所定の電位を与える端子と
    の間に設けられた電流経路と、 前記電圧分割器の中間点にゲートを接続され、前記電流
    経路にソースおよびドレインを直列に介挿されたMOS
    FETと、 前記IGBT素子のゲートと前記順ゲートバイアス電圧
    源との間に接続された出力抵抗とを備えたIGBT素子
    の駆動回路。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19931241B4 (de) * 1999-07-07 2016-07-14 Infineon Technologies Ag Schaltungsanordnung zum Erfassen einer hohen Spannung

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6395724A (ja) * 1986-10-13 1988-04-26 Fuji Electric Co Ltd Igbtのゲ−ト駆動回路
JPH01282921A (ja) * 1988-05-09 1989-11-14 Fuji Electric Co Ltd Igbtの過電流保護駆動回路

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