JPH0349851A - 機上測定装置 - Google Patents
機上測定装置Info
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- JPH0349851A JPH0349851A JP18412189A JP18412189A JPH0349851A JP H0349851 A JPH0349851 A JP H0349851A JP 18412189 A JP18412189 A JP 18412189A JP 18412189 A JP18412189 A JP 18412189A JP H0349851 A JPH0349851 A JP H0349851A
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- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
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- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/20—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring workpiece characteristics, e.g. contour, dimension, hardness
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、機械加工後の工作物の寸法を、該工作物を機
上に把持したままで測定する機上測定装置に間する。
上に把持したままで測定する機上測定装置に間する。
「従来の技術」
機械加工後の工作物の厚さや直径等の寸法は、該工作物
を機上のチャック等により把持したまま測定して、良否
の判断を行うことが望ましい、その理由としては、工作
物を一旦機上のチャック等からはずして測定すると、時
間的なロスが生ずるのみならず、刃具の位−置補正ある
いは交換等の対応が遅れて複数個の同じような不良品を
生じてしまうこと、そして不良と判断された場合に機械
加工を追加して良品化するためにはチャックに把持され
たまま、いわゆるワンチャッキングで追加工を行うのが
望ましいのであって、−旦チャックからはずした工作物
を、再度機上のチャック等に把持させても再び同一位置
に固定することは困難であり、偏心の発生により精度的
に好ましくないこと等が挙げられる。
を機上のチャック等により把持したまま測定して、良否
の判断を行うことが望ましい、その理由としては、工作
物を一旦機上のチャック等からはずして測定すると、時
間的なロスが生ずるのみならず、刃具の位−置補正ある
いは交換等の対応が遅れて複数個の同じような不良品を
生じてしまうこと、そして不良と判断された場合に機械
加工を追加して良品化するためにはチャックに把持され
たまま、いわゆるワンチャッキングで追加工を行うのが
望ましいのであって、−旦チャックからはずした工作物
を、再度機上のチャック等に把持させても再び同一位置
に固定することは困難であり、偏心の発生により精度的
に好ましくないこと等が挙げられる。
上記のような、工作物を機上に把持したまま測定する機
上測定装置として、第5図に二点鎖線で示すような、ボ
ール61をシャフト62の先端に接合した触針60を使
用したタッチセンサを備え、該タッチセンサを刃物台等
に取付け、工作物に対し相対的に移動させてボールを当
接させ、該当接位置を検出して測定するものがあった。
上測定装置として、第5図に二点鎖線で示すような、ボ
ール61をシャフト62の先端に接合した触針60を使
用したタッチセンサを備え、該タッチセンサを刃物台等
に取付け、工作物に対し相対的に移動させてボールを当
接させ、該当接位置を検出して測定するものがあった。
例えば第5図に示すように、加工終了時の工作物1は、
先端部1aの外径、内径および深さが数−一の穴2と、
幅11程度の環状溝3とを有し、該環状溝3の右側壁3
aと穴2の底面2bとで厚さ0.1−一程度の薄肉部4
が形成されているとする。
先端部1aの外径、内径および深さが数−一の穴2と、
幅11程度の環状溝3とを有し、該環状溝3の右側壁3
aと穴2の底面2bとで厚さ0.1−一程度の薄肉部4
が形成されているとする。
この薄肉部4の厚さを触針を使用して測定するためには
、環状溝3の幅よりも充分小径のボール61を備えた触
針60と、穴2の内壁2a部近傍で底面2bに当接する
ため、やはり小径のボール61を備えた触針60とが必
要となる。触針60の寸法は一種類に限定されるもので
はないが、すべての被測定部の条件に合わせて数多く揃
えることは不経済であるため、ある一定の間隔で定めら
れた所定の寸法のものが複数箇所に対し汎用的に用いら
れる。また、ボール61を接合されたシャフト62は一
般にボール61よりもさらに細径である。
、環状溝3の幅よりも充分小径のボール61を備えた触
針60と、穴2の内壁2a部近傍で底面2bに当接する
ため、やはり小径のボール61を備えた触針60とが必
要となる。触針60の寸法は一種類に限定されるもので
はないが、すべての被測定部の条件に合わせて数多く揃
えることは不経済であるため、ある一定の間隔で定めら
れた所定の寸法のものが複数箇所に対し汎用的に用いら
れる。また、ボール61を接合されたシャフト62は一
般にボール61よりもさらに細径である。
第5図に示すような工作物1の薄肉部4の厚さを測定す
るには、細径の触針60が必要となり、シャフト62が
曲がったり折れたりして実用的ではなく、生産性向上の
妨げとなっていた。
るには、細径の触針60が必要となり、シャフト62が
曲がったり折れたりして実用的ではなく、生産性向上の
妨げとなっていた。
「発明が解決しようとする課題」
本発明は上記のような問題点に鑑みてなされたものであ
り、その課題とするところは、触針式では測定できない
ような工作物の被測定部が、機上において測定できる機
上測定装置を提供することである。
り、その課題とするところは、触針式では測定できない
ような工作物の被測定部が、機上において測定できる機
上測定装置を提供することである。
「課題を解決するための手段」
上記課題を解決するための本発明による機上測定装置は
、工作物の寸法を、該工作物を機上に把持したままで測
定する機上測定装置において、前記工作物に当接させた
後さらに所定寸法だけ押し付けて被測定部を弾性変形さ
せ、当接部に発生する被測定部の弾性変形による反力を
検出する力センサを備えた力検出手段と、該力検出手段
による検出値とあらかじめ設定された基準値とを比較す
る比較手段と、を備えることを特徴とする。
、工作物の寸法を、該工作物を機上に把持したままで測
定する機上測定装置において、前記工作物に当接させた
後さらに所定寸法だけ押し付けて被測定部を弾性変形さ
せ、当接部に発生する被測定部の弾性変形による反力を
検出する力センサを備えた力検出手段と、該力検出手段
による検出値とあらかじめ設定された基準値とを比較す
る比較手段と、を備えることを特徴とする。
「作用」
上記構成の本発明による機上測定装置は、力検出手段に
より、工作物の所望の被測定部の寸法を、該被測定部と
は別の部分に力センサを当接させ、被測定部の弾性変形
によって生じる反力に読みかえて検出するので、触針を
用いてでは測定困難な部分であっても力センサによる測
定箇所を他の部分に任意に設定することにより測定が可
能になる。
より、工作物の所望の被測定部の寸法を、該被測定部と
は別の部分に力センサを当接させ、被測定部の弾性変形
によって生じる反力に読みかえて検出するので、触針を
用いてでは測定困難な部分であっても力センサによる測
定箇所を他の部分に任意に設定することにより測定が可
能になる。
また、前記力検出手段による検出値と、あらかじめ設定
された基準値とを比較する比較手段を備えているので、
測定後直ちに工作物の良否が判定される。
された基準値とを比較する比較手段を備えているので、
測定後直ちに工作物の良否が判定される。
「実施例」
以下本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第1図は、本発明の機上測定装置を備えた正面旋盤の構
成を示す平面図、第2図は前V、正面旋盤の主軸先端部
附近を示す平面図、第5図は旋削加工後の工作物が前記
正面旋盤の主軸先端部においてチャックに保持された状
態を示す断面図である。
成を示す平面図、第2図は前V、正面旋盤の主軸先端部
附近を示す平面図、第5図は旋削加工後の工作物が前記
正面旋盤の主軸先端部においてチャックに保持された状
態を示す断面図である。
旋削加工後の工作物1は、従来例にて説明したものと同
一で、先端部1aの外径、内径および深さが数−程度の
穴2と、幅1−一の環状溝3とを有し、該環状溝3の右
側壁3aと穴2の底部2bとで厚さ0 、1 am程度
の薄肉部4が形成されている。
一で、先端部1aの外径、内径および深さが数−程度の
穴2と、幅1−一の環状溝3とを有し、該環状溝3の右
側壁3aと穴2の底部2bとで厚さ0 、1 am程度
の薄肉部4が形成されている。
本実施例ではこの薄肉部4を被測定部とし、その厚さを
測定して良否を判定する。
測定して良否を判定する。
正面旋盤は、第1図に示すように、同時2軸制御装置が
適用され、工作物を正面旋削するのに用いられる。
適用され、工作物を正面旋削するのに用いられる。
ベース10上にZ軸周支持台11が固定されている。Z
軸周支持台11に設けられたガイドバー12に、Z軸テ
ーブル13が図面左右方向(2方向)に摺動自在に案内
され支持されている。Z軸テーブル13は送りねじ14
Aに螺合され、Z軸モータ14により送られる。Z軸テ
ーブル13上には主軸台15が固定されている。主軸台
15にはZ方向と平行な軸線方向に主軸16が回転自在
に支承され、主軸モータ17により回転駆動される。主
軸16の先端にはチャック18が設けられ、工作物1を
保持できるようにされている。
軸周支持台11に設けられたガイドバー12に、Z軸テ
ーブル13が図面左右方向(2方向)に摺動自在に案内
され支持されている。Z軸テーブル13は送りねじ14
Aに螺合され、Z軸モータ14により送られる。Z軸テ
ーブル13上には主軸台15が固定されている。主軸台
15にはZ方向と平行な軸線方向に主軸16が回転自在
に支承され、主軸モータ17により回転駆動される。主
軸16の先端にはチャック18が設けられ、工作物1を
保持できるようにされている。
また、ベース10上にはX軸周支持台21が固定されて
いる。X軸周支持台21にはガイドバー22が設けられ
、X軸テーブル23が図面前後方向(X方向)に摺動自
在に案内されている。X軸テーブル23は送りねじ24
Aに螺合されχ軸モータ24により送られる。X軸テー
ブル23上には刃物台25が設けられている。この刃物
台25に複数のバイト26が固定され、チャック18に
保持された工作物1を正面旋削できるようにされている
。また、刃物台25には力センサ27が固定され、該力
センサ27が工作物1に当接できるようにされている。
いる。X軸周支持台21にはガイドバー22が設けられ
、X軸テーブル23が図面前後方向(X方向)に摺動自
在に案内されている。X軸テーブル23は送りねじ24
Aに螺合されχ軸モータ24により送られる。X軸テー
ブル23上には刃物台25が設けられている。この刃物
台25に複数のバイト26が固定され、チャック18に
保持された工作物1を正面旋削できるようにされている
。また、刃物台25には力センサ27が固定され、該力
センサ27が工作物1に当接できるようにされている。
この方センサ27は、第4図に示すように、付加された
力によって発生するダイヤフラム28のひずみをひずみ
ゲージ29で電圧に変換して出力するものである。
力によって発生するダイヤフラム28のひずみをひずみ
ゲージ29で電圧に変換して出力するものである。
また、ベース10上にはレーザ測長システム30が設置
され、2軸テーブル13及びX軸テーブル23の変位を
検出するようにされている。レーザ光は分光器31によ
りX方向及びZ方向に分けられ、それぞれ、管路32,
33及び伸縮管34.35の内部を通って各テーブル1
3.23上の反射鏡36.37に送られる。
され、2軸テーブル13及びX軸テーブル23の変位を
検出するようにされている。レーザ光は分光器31によ
りX方向及びZ方向に分けられ、それぞれ、管路32,
33及び伸縮管34.35の内部を通って各テーブル1
3.23上の反射鏡36.37に送られる。
Z軸モータ14及びX軸モータ24はCNC装置40に
接続され、レーザ測長システム30からのフィードバッ
ク信号に基づいて同時2軸制御される。CNC装置40
は、制御プログラムが記憶されたROM、NC加工デー
タ等が記憶されるRAM、Z軸及びX軸モータを制御す
るサーボCPU、及びこれらを統括するCPUを備えた
通常のものである。
接続され、レーザ測長システム30からのフィードバッ
ク信号に基づいて同時2軸制御される。CNC装置40
は、制御プログラムが記憶されたROM、NC加工デー
タ等が記憶されるRAM、Z軸及びX軸モータを制御す
るサーボCPU、及びこれらを統括するCPUを備えた
通常のものである。
CNC装!ff140はNC加工データ処理装置50に
接続されている。NC加工データ処理装置!50はミニ
コンピユータシステムにより構成されているものであり
、インターフェース51および比較装置53を介して力
センサ27に接続されたCPU52と、CNC装240
へのNC加工データを記憶するNC加工データメモリ5
5を有している。
接続されている。NC加工データ処理装置!50はミニ
コンピユータシステムにより構成されているものであり
、インターフェース51および比較装置53を介して力
センサ27に接続されたCPU52と、CNC装240
へのNC加工データを記憶するNC加工データメモリ5
5を有している。
上記の正面旋盤の主軸先端部と、刃物台の工作物側およ
び機上測定に関する構成について第2図に示す0図は、
工作物1の加工終了時における測定の態様を示し、チャ
ック18に把持されたままの工作物1に力センサ27が
当接され、さらに所定寸法だけ押し付けられている。な
お、この押し付けは工作物1と力センサ27との相対的
な移動によって行われるのであり、本実施例においては
第1図に示すように、力センサ27側ではなく工作物1
側をZ軸テーブルごとZ方向に移動させて行われる。
び機上測定に関する構成について第2図に示す0図は、
工作物1の加工終了時における測定の態様を示し、チャ
ック18に把持されたままの工作物1に力センサ27が
当接され、さらに所定寸法だけ押し付けられている。な
お、この押し付けは工作物1と力センサ27との相対的
な移動によって行われるのであり、本実施例においては
第1図に示すように、力センサ27側ではなく工作物1
側をZ軸テーブルごとZ方向に移動させて行われる。
工作物1は第4図に示すように、先端部1aに力センサ
27が当接した後押し付けられ、薄肉部4である被測定
部に、平板状から逆皿状となるような弾性変形を来たし
、該弾性変形により力センサ27との当接部である先端
1aには薄肉部4の厚さ寸法に対応した反力Fが発生す
る。(なお、第4図は本発明を理解しやすくするために
誇張されている。)該反力Fは薄肉部4の厚さ寸法に対
応し、厚さ寸法が小さければ反力Fは小さく、厚さ寸法
が大きくなれば反力Fも大きくなる0反力計は力センサ
27に検出され、電圧値として出力される。力センサ2
7からの出力は前記比較装置53を構成する力センサ用
アンプである増幅回路57にて増幅されてコンパレータ
56に出力される。コンパレータ56内では力センサ用
アンプ53からの出力値が、基準電圧発生回路58で発
生した上限値電圧Hと下限値電圧りの範囲内であるか否
かを判断し、前記範囲内にあればインターフェース51
に信号を出力し、前記範囲内から外れるのであれば信号
を出力しない。
27が当接した後押し付けられ、薄肉部4である被測定
部に、平板状から逆皿状となるような弾性変形を来たし
、該弾性変形により力センサ27との当接部である先端
1aには薄肉部4の厚さ寸法に対応した反力Fが発生す
る。(なお、第4図は本発明を理解しやすくするために
誇張されている。)該反力Fは薄肉部4の厚さ寸法に対
応し、厚さ寸法が小さければ反力Fは小さく、厚さ寸法
が大きくなれば反力Fも大きくなる0反力計は力センサ
27に検出され、電圧値として出力される。力センサ2
7からの出力は前記比較装置53を構成する力センサ用
アンプである増幅回路57にて増幅されてコンパレータ
56に出力される。コンパレータ56内では力センサ用
アンプ53からの出力値が、基準電圧発生回路58で発
生した上限値電圧Hと下限値電圧りの範囲内であるか否
かを判断し、前記範囲内にあればインターフェース51
に信号を出力し、前記範囲内から外れるのであれば信号
を出力しない。
「作動」
次に、本実施例の作動につき第3図のフローチャートを
参照して説明する。
参照して説明する。
この処理動作は、工作物1を加工完了した直後、チャッ
ク18に保持されたままの状態で行われる。
ク18に保持されたままの状態で行われる。
ます力センサ27が前進する(ステップ51)0次に力
センサ27が工作物1に当接した後さらに所定寸法だけ
前進させ、工作物1の被測定部を弾性変形させ、該弾性
変形によって発生する反力Fを読みとることによって力
測定を行う(ステップS2)、そして、測定された力が
あらかじめ設定された基準値内であるか否がを比較装置
53にて判定しくステップS3)、信号が入力されなか
ったのであればCNC装置に割込信号を出力しNGとし
て加工サイクルを停止しくステップS4)、信号が入力
されたならばOKとしそのまま処理動作の実行を終了す
る。
センサ27が工作物1に当接した後さらに所定寸法だけ
前進させ、工作物1の被測定部を弾性変形させ、該弾性
変形によって発生する反力Fを読みとることによって力
測定を行う(ステップS2)、そして、測定された力が
あらかじめ設定された基準値内であるか否がを比較装置
53にて判定しくステップS3)、信号が入力されなか
ったのであればCNC装置に割込信号を出力しNGとし
て加工サイクルを停止しくステップS4)、信号が入力
されたならばOKとしそのまま処理動作の実行を終了す
る。
NGとされた場合には、加工サイクルが停止したのち機
械側においてバイト26の切込量の補正、あるいはバイ
ト26の交換等の指示を行う、この間工作物1はチャッ
ク18に把持されたままであるから、追加工に際して、
前回の加工と同一の基準で行われる。
械側においてバイト26の切込量の補正、あるいはバイ
ト26の交換等の指示を行う、この間工作物1はチャッ
ク18に把持されたままであるから、追加工に際して、
前回の加工と同一の基準で行われる。
また、OKとされた場合は加工サイクルを続行し、工作
物1を交換する指示を行い、次の工作物1の加工の準備
にかかるようにする。
物1を交換する指示を行い、次の工作物1の加工の準備
にかかるようにする。
なお、上記実施例では比較装置によって圧力の判定を行
ったが、これに限られるものではなく、NCデータ処理
装置にて基準データを記憶して判定を行うようにしても
よい。
ったが、これに限られるものではなく、NCデータ処理
装置にて基準データを記憶して判定を行うようにしても
よい。
「発明の効果」
以上説明したように、本発明の機上測定装置は、工作物
の寸法を、該工作物を機上に把持したままで測定する機
上測定装置において、前記工作物に当接させた後さらに
所定寸法だけ押し付けて被測定部を弾性変形させ、当接
部の力を検出する力センサを備えた力検出手段と、該力
検出手段による検出値とあらかじめ設定された基準値と
を比較する比較手段と、を備えることを特徴とするもの
であるから、加工後の工作物についての測定を機上に把
持したまま力センサによって行い、その測定結果に基づ
いて、比較手段による比較の結果により、測定後直ちに
工作物の良否が判定されて、バイトの切込量の補正やバ
イトの交換等の指示がリアルタイムでなされ、触針を用
いてでは測定困難な部分を有する工作物に対しても機上
にて測定が行える。また加工不良が検出されても、工作
物の追加工が先の加工と同一基準にて行われるので、不
良品の発生が低減され、生産性が著しく向上するという
優れた効果がある。
の寸法を、該工作物を機上に把持したままで測定する機
上測定装置において、前記工作物に当接させた後さらに
所定寸法だけ押し付けて被測定部を弾性変形させ、当接
部の力を検出する力センサを備えた力検出手段と、該力
検出手段による検出値とあらかじめ設定された基準値と
を比較する比較手段と、を備えることを特徴とするもの
であるから、加工後の工作物についての測定を機上に把
持したまま力センサによって行い、その測定結果に基づ
いて、比較手段による比較の結果により、測定後直ちに
工作物の良否が判定されて、バイトの切込量の補正やバ
イトの交換等の指示がリアルタイムでなされ、触針を用
いてでは測定困難な部分を有する工作物に対しても機上
にて測定が行える。また加工不良が検出されても、工作
物の追加工が先の加工と同一基準にて行われるので、不
良品の発生が低減され、生産性が著しく向上するという
優れた効果がある。
第1図は本発明の機上測定装置を備えた正面旋盤の構成
を示す平面図、第2t!lは前記正面旋盤の主軸先端部
附近を示す平面図、第3図は前記機上測定装置における
処理動作を示すフローチャート、第4図は力センサによ
る測定状態を示す部分断面図、第5図は工作物の形状を
示す部分断面図である。 100.工作物、 430.薄肉部(被測定部)、18
、、、チャック、 27.、、力センサ、 53 、、
。 増幅回路、 56 、、、コンパレータ。 第 図 第 3 図 第 図
を示す平面図、第2t!lは前記正面旋盤の主軸先端部
附近を示す平面図、第3図は前記機上測定装置における
処理動作を示すフローチャート、第4図は力センサによ
る測定状態を示す部分断面図、第5図は工作物の形状を
示す部分断面図である。 100.工作物、 430.薄肉部(被測定部)、18
、、、チャック、 27.、、力センサ、 53 、、
。 増幅回路、 56 、、、コンパレータ。 第 図 第 3 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 工作物の寸法を、該工作物を機上に把持したままで測定
する機上測定装置において、 前記工作物に当接させた後さらに所定寸法だけ押し付け
て被測定部を弾性変形させ、当接部に発生する被測定部
の弾性変形による反力を検出する力センサを備えた力検
出手段と、該力検出手段による検出値とあらかじめ設定
された基準値とを比較する比較手段と、 を備えることを特徴とする機上測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18412189A JPH0349851A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 機上測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18412189A JPH0349851A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 機上測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0349851A true JPH0349851A (ja) | 1991-03-04 |
Family
ID=16147743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18412189A Pending JPH0349851A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 機上測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0349851A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007151477A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Daiwa Seiko Inc | 移動式仕掛け |
| CN109129019A (zh) * | 2018-08-01 | 2019-01-04 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种小型工件柔性生产线的在线检测装置及其检测方法 |
| US10912875B2 (en) | 2014-10-09 | 2021-02-09 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Sensing negative pressure with a pressure transducer |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP18412189A patent/JPH0349851A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007151477A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Daiwa Seiko Inc | 移動式仕掛け |
| US10912875B2 (en) | 2014-10-09 | 2021-02-09 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Sensing negative pressure with a pressure transducer |
| CN109129019A (zh) * | 2018-08-01 | 2019-01-04 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种小型工件柔性生产线的在线检测装置及其检测方法 |
| CN109129019B (zh) * | 2018-08-01 | 2021-01-05 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种小型工件柔性生产线的在线检测方法 |
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