JPH035085A - 電子ビーム溶接面の表面処理方法 - Google Patents

電子ビーム溶接面の表面処理方法

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JPH035085A
JPH035085A JP13966789A JP13966789A JPH035085A JP H035085 A JPH035085 A JP H035085A JP 13966789 A JP13966789 A JP 13966789A JP 13966789 A JP13966789 A JP 13966789A JP H035085 A JPH035085 A JP H035085A
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oxide film
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恒雄 石垣
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小室 弘
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文夫 渡辺
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Zaidan Hojin Shinku Kagaku Kenkyusho
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SMC Corp
Zaidan Hojin Shinku Kagaku Kenkyusho
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、電子ビーム溶接面の表面処理に関するもので
ある。
[従来の技術] アルミ合金を溶接により接合して真空機器を製作する場
合、従来はTIG溶接て溶接していたのて、溶接面に多
孔質の酸化膜か形成され、この多孔質の酸化膜に吸着さ
れたカスなとか真空圧力において放出されるため、真空
圧力が悪くなるという間顯かある。
最近は、電子ビーム溶接によって精密な溶接が行えるの
で、溶接幅かTIG溶按の数十分の−に小ざくなって、
溶接面からのカスの放出が著しく減少している。
しかしなから、超高真空、極高真空においては、放出カ
スを可能な限り減少させる必要があり、たとえ溶接面積
か全面積の数百分の一程度の極めて小さい場合てありて
も、溶接面からの放出ガスを無視することかてきす、か
つガス放出抑制無届かてきないために大きな問題であっ
た。
[発明か解決しようとする課題] 木発明か解決しようとする課題は、溶接面からの放出カ
スを可能な限り減少させる溶接面の表面処理方法を提供
することにある。
[課題を解決するための手段] 上記課題を解決するため、本発明の電子ビーム溶接面の
表面処理方法は、真空中にお番づる電子ビーム溶接後、
大気圧力にもどす際、微量の酸素ガスを含む不活性ガス
を供給して、活性化している溶接面に緻密な酸化膜を形
成させることを特徴としている。
[作 用コ 真空中での電子ビーム溶接により活性化している溶接面
に、微量の酸素ガスを含む不活性ガスを供給すると、微
量の酸素ガスによって溶接面に緻密な酸化膜か形成され
る。したがって、電子ビーム溶接によって溶接面積か小
さいことと相まつ゛C1超高真空、極高真空においても
、溶接面からの放出カスを極限に減少させることかてき
る。
[実施例] 図面は本発明を実施する装置の一例を示し、チャンバ1
内は、10−2〜10−’Torr程度の真空圧力に保
持されている。このチャンバ1内にアルミ合金よりなる
溶接体2を設置し、図示を省略している適宜の手段によ
って溶接体2を回転させなから、その溶接部2aに電子
ビーム3を照射して溶接する。
この場合、チャンバ1内の空気密度は、大気の10−5
〜] 0− ”分の1程度であるから、溶接面の酸化は
殆と進行しない。
溶接終了後、チャンバ】を大気圧力にもどす際、チャー
シロ1aから、十分に乾燥させた、Ar+0□等の微量
の酸素ガスを含む不活性ガスを供給して、チャンバ1内
を数〜数十Torr程度に昇圧させると、活性化してい
る溶接面に、不純物(主に水)の少ない緻密な酸化膜か
形成される。
したかって、上記溶接体2の溶接面は、超高真空、極高
真空においても、電子ビーム溶接によって溶接面積か小
さいことと、面積の小さい溶接面に緻密な酸化膜が形成
されていることとが相まつて、溶接面からの放出ガスを
極限に減少させることができる。
[発明の効果] 本発明における電子ビーム溶接面の表面処理方法は、真
空中において電子ビームにより溶接した溶接面に、微量
の酸素ガスを含む不活性ガスを供給して溶接面に緻密な
酸化膜を形成させることにより、溶接面におけるカスの
吸着が殆どないため、溶接面積が小さいことと相まって
、超高真空、極高真空においても、溶接面からの放出ガ
スを極限に減少させることかできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を実施する装置の一例を示す縦断正面図
である。 2a・・溶接部、  3 ・電子ビーム。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.真空中における電子ビーム溶接後、大気圧力にもど
    す際、微量の酸素ガスを含む不活性ガスを供給して、活
    性化している溶接面に緻密な酸化膜を形成させる、 ことを特徴とする電子ビーム溶接面の表面処理方法。
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61296974A (ja) * 1985-06-24 1986-12-27 Toyota Motor Corp セラミツク粒子分散金属複合層の形成方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61296974A (ja) * 1985-06-24 1986-12-27 Toyota Motor Corp セラミツク粒子分散金属複合層の形成方法

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