JPH0353383A - パターン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はパターン検査装置、特に、プリント基板等のパ
ターンの検査において、良品と被検査品を比較すること
により被検査品の断線の検出を行なうパターン検査装置
に関する。

〔従来の技術〕

従来のパターン検査装置は、２組の光学系を用いた比較
装置により、良品パターンと被検査パタ−ンとをハード
ウエアを主体として比較するものであった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のパターン検査装置は、比較検査を行なっ
ているので、精密な位置合せを行なわなくてはならず、
このために必要な検出系や駆動系などの膨大なハードウ
エアが必要であるという欠点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のパターン検査装置は、 （Ａ）画像を光電変換しビデオ信号を出力する光電変換
回路、 （Ｂ）前記ビデオ信号ｆを二値化し二値化画像信号を出
力する二値化回路、 （Ｃ）前記二値化画像信号の細線化処理を行ない、細線
化信号を出力する細線化処理回路、（Ｄ）前記細線化信
号にもとづいて端点を検出し、第１の端点信号を出力す
る端点検出回路、（Ｅ）前記端点信号を、入力画像が基
型となる良品のパターンの時は第１の出力端に第２の端
点信号として出力し、被検査品のパターンの時は第２の
出力端に第３の端点信号として出力する端点信号切り替
え回路５、 （Ｆ）前記第２の端点信号を記憶し、端点読み出し信号
を出力する記憶回路、 （Ｇ）前記第３の端点信号を拡大処理し、ラベリングし
、拡大ラベリング信号を出力する拡大ラベリング回路、 （Ｉ＞前記端点読み出し信号と拡大ラベリング信号とに
もといづいて、拡大しラベリングされた端点を、各ラベ
ル毎に良品パターンの端点と論理積をとることにより、
＠線を検出し、欠陥検出信号を出力する断線検出回路、 とを含んで構或される。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第］図は本発明の一実施例を示すブロック図である。

第１図に示すパターン検査装置は、 （人）画像を光電変換しビデオ信号ｆを出力する光電変
換回路１、 （ＩＩ）ビデオ信号ｆを二値化し二値化画像信号ｇを出
力する二値化回路２、 ＜Ｃ＞二値化画ｆ象信号ｇの細線化処理を行ない、細線
化信号ｈを出力する細線化処理回路３、（Ｄ），？ＩＢ
線化信号ｈにもとづいて端点を検出し、第１の端点信号
ｉを出力ずる端点検出回路４、（Ｅ）端点信号ｉを、入
力画像が基準となる良品のパターンの時は第１の出力端
に第２の端点信号ｌｉとして出力し、被検査品のパター
ンの時は第２の出力端に第３の端点信号ｉｉｉとして出
力する端点信号切り替え回１ｉ’８　５、（Ｆ）第１の
端点信号ｉｉを記憶し、端点読み出し信号ｊを出力する
記憶回路６、 ＣＧ＞第２の端点信号ｉｉｉを拡大処理し、ラベリング
し、拡大ラベリング信号ｋを出力する拡大ラベリング回
路７、 （Ｉ）端点読み出し信号ｊと拡大ラベリング信号ｋとに
もといづいて、拡大しラベリングされた端点を、各ラベ
ル毎に良品パターンの端点と論埋積をとることにより、
断線を検出する断線検出回路８、 とを含んで横或される。

二値化回路２は、パターンを黒、背景を白とするように
二値化を行なう。

第２図（ａ），（ｂ）は、良品パターンおよび断線欠陥
を含む被検査品のパターンを示す模式図である。

第３図（ａ），（ｂ）は、第２図（ａ），（ｂ〉に示す
パターンを細線化処理回路３で処理した結果を示す模式
図である。

端点検出回路４は、細線化信号ｈを入力し、端点信号ｉ
を出力する。

端点は、３×３のマスクを用いて検出する。

端点とは、画像を画素単位で考えた時の連結数が１とな
る画素のことをさす。

第４図’（ａ＞，（ｂ）は、第３図に（ａ），（ｂ）に
示すパターンの端点を示す模式図である。

第４図（ａ）は、良品パターンの端点Ｔ１〜Ｔ２を示し
、第４図（ｂ）は、被検査品のパターンの端点’ｌ”１
Ｑ−Ｔ４０を示す。

拡大ラベリング回路７は、被検査パターンの端点信号ｉ
ｉｉを入力し、端点ＴＩＯ〜Ｔ４０を入力し、端点ＴＩ
Ｏ〜Ｔ４０を拡大処理して、それらのラベリングを行な
い、拡大ラベリング信号ｋを出力する。

拡大処理とは、ｉｌＲに３×３のマスクを用い、着目し
ている画素の周辺の画素のうち、１つでも黒画素がある
ときは着目している画素を黒に変換する処理のことをい
う。

ラベリングとは、連続して存在する図形を１つの集合と
考えた時、各集合に一般には左上から順番を付けていく
処理のことをいい、，付けられた番号のことをラベルと
呼ぶ。

第５図は、第４図（ｂ）に示すパターンを拡大処理した
後、ラベルＬ１〜Ｌ４にラベリングした模式図である。

断線回路８で、被検査パターンの端点を拡大処理したも
のと、良品のパターンを重ね合せた時、両者の多少の位
置ずれを考慮しても、被検査パターンの端点が断線が原
因で生じたものでなければ、被検査パターンの端点を拡
大処理したもののなかに良品の端点が含まれる。

すなわち、断線部分でないラベルＬ１とＬ２のなかには
、良品パターンの端点Ｔ１とＴ２が含まれている。

そこで、両者の論理積をとった結果、黒（論理“１″）
として残る点があるときは正常部分、すべて白く論理”
Ｏ”）となるときはその被検査品の端点部分が断線であ
ると判定し、欠陥検出信号１を出力する。

第６図は、第５図に示す良品の端点と被検査品の端点を
拡大したものを各ラベル毎に論理積をとった結果を示す
模式図である。

ラベルＬ３とＬ４の端点部分である端点Ｔ３０と７４０
に断線があると判定される。

なお、第７図は端点の一例を示す模式図である． 〔発明の効果〕 本発明のパターン検査装置は、被検査品のパタンの端点
Ｔを拡大し、ラベリングして、基準となる良品のパター
ンの端点と比較することにより、断線部分の判定を行な
うので、精密な位置合せを行なうための膨大なハードウ
エアなしに断線の検出が行なえるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図（
ａ），（ｂ）は良品パターンおよび断線欠陥を含む被検
査品のパターンを示す模式図、第３図（ａ），（ｂ）は
第２図（ａ），（ｂ）に示すパターンを細線化処理回路
３で処理した結果を示す模式図、第４図（ａ），（ｂ）
は第３図に（ａ），（ｂ＞に示すパターンの端点を示す
模式図、第５図は第４図（ｂ）に示すパターンを拡大処
理した後ラベルＬ１〜Ｌ４にラベリングした模式図、第
６図は第５図に示す良品の端点と被検査品の端点を拡大
したものを各ラベル毎に論理積をとった結果を示す模式
図、第７図は端点の一例を示す模式図である。 １・・・・・・光電変換回路、２・・・・・・二値化回
路、３・・・・・・細線化処理回路、４・・・・・・端
点検出回路、５・・・・端点信号切り替え回路、６・・
・・・・記憶回路、７・・・・・・拡大ラベリング回路
、８・・・・・・断線検出回路、ｆ・・・・・・ビデオ
信号、ｇ・・・・・・二値化画像信号、ｈ・・・・・・
細線化信号、ｉ・・・・・・端点信号、ｊ・・・・・・
端点読み出し信号、ｋ・・・・・・拡大ラベリング信号
、１・・・・・・欠陥検出信号。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （Ａ）画像を光電変換しビデオ信号を出力する光電変換
   回路、 （Ｂ）前記ビデオ信号ｆを二値化し二値化画像信号を出
   力する二値化回路、 （Ｃ）前記二値化画像信号の細線化処理を行ない、細線
   化信号を出力する細線化処理回路、 （Ｄ）前記細線化信号にもとづいて端点を検出し、第１
   の端点信号を出力する端点検出回路、 （Ｅ）前記端点信号を、入力画像が基準となる良品のパ
   ターンの時は第１の出力端に第２の端点信号として出力
   し、被検査品のパターンの時は第２の出力端に第３の端
   点信号として出力する端点信号切り替え回路５、 （Ｆ）前記第２の端点信号を記憶し、端点読み出し信号
   を出力する記憶回路、 （Ｇ）前記第３の端点信号を拡大処理し、ラベリングし
   、拡大ラベリング信号を出力する拡大ラベリング回路、 （Ｉ）前記端点読み出し信号と拡大ラベリング信号とに
   もといづいて、拡大しラベリングされた端点を、各ラベ
   ル毎に良品パターンの端点と論理積をとることにより、
   断線を検出し、欠陥検出信号を出力する断線検出回路、 とを含むことを特徴とするパターン検査装置。