JPH0353552U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0353552U JPH0353552U JP11547389U JP11547389U JPH0353552U JP H0353552 U JPH0353552 U JP H0353552U JP 11547389 U JP11547389 U JP 11547389U JP 11547389 U JP11547389 U JP 11547389U JP H0353552 U JPH0353552 U JP H0353552U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation
- substances
- blocks
- multiple types
- flight path
- Prior art date
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図及び第２図はこの考案の実施例を示し、
第１図は真空蒸着装置の概略構造を示す縦断面図
、第２図は第１図におけるＡ−Ａ線断面図である
。 ２……真空室、３……蒸着対象、５……蒸着源
、６……シヤツタ機構、１５……シヤツタ、１９
……シヤツタ板、２０……遮閉壁。
第１図は真空蒸着装置の概略構造を示す縦断面図
、第２図は第１図におけるＡ−Ａ線断面図である
。 ２……真空室、３……蒸着対象、５……蒸着源
、６……シヤツタ機構、１５……シヤツタ、１９
……シヤツタ板、２０……遮閉壁。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数種の蒸着物質を個別に蒸発供給する蒸発源
と、必要時にのみ蒸発物質の飛翔経路を遮つて、
蒸発物質の供給制御を行うシヤツタ機構とを備え
ている真空蒸着装置であつて、 複数種の蒸発物質に対応して設けられる、複数
基の個別操作可能なシヤツタでシヤツタ機構を構
成し、 シヤツタは、それぞれ蒸発物質の飛翔経路を遮
るシヤツタ板を有し、各シヤツタ板の遮閉壁が、
対応する蒸発物質の熱膨張率と一致ないしは近似
する熱膨張率を有する材料で形成されていること
を特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11547389U JPH069014Y2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11547389U JPH069014Y2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353552U true JPH0353552U (ja) | 1991-05-23 |
| JPH069014Y2 JPH069014Y2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=31663801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11547389U Expired - Lifetime JPH069014Y2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069014Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP11547389U patent/JPH069014Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH069014Y2 (ja) | 1994-03-09 |
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