JPH0353557U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0353557U JPH0353557U JP11451489U JP11451489U JPH0353557U JP H0353557 U JPH0353557 U JP H0353557U JP 11451489 U JP11451489 U JP 11451489U JP 11451489 U JP11451489 U JP 11451489U JP H0353557 U JPH0353557 U JP H0353557U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- vapor phase
- phase growth
- core tube
- boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ａ及びｂは本考案の一実施例の気相成長
サイクルの動作順断面図、第２図は本考案の他の
実施例の気相成長後の状態を示す断面図、第３図
は従来の気相成長装置の断面図である。 １……ヒーター、２……炉芯管、３……ウエハ
ー、４……ウエハーボート、５……排気口、６…
…バルブ、７……ガス導入口、８……ハツチ、９
……ブロアーフアン、１０……ゲートバルブ、１
１……ブロアーフアン排気口。
サイクルの動作順断面図、第２図は本考案の他の
実施例の気相成長後の状態を示す断面図、第３図
は従来の気相成長装置の断面図である。 １……ヒーター、２……炉芯管、３……ウエハ
ー、４……ウエハーボート、５……排気口、６…
…バルブ、７……ガス導入口、８……ハツチ、９
……ブロアーフアン、１０……ゲートバルブ、１
１……ブロアーフアン排気口。
Claims (1)
- 加熱された炉芯管の一方の炉口から該炉芯管内
にボートに載せられたウエハーを入れ気相成長を
行なう減圧気相成長装置において、炉芯管内にボ
ートを入、出炉させる為の前記炉口と対向する他
の炉口端に該他の炉口端を開閉するゲートバルブ
を介して前記炉芯管内を排気するべく設けられた
ブロアーフアンを有することを特徴とする減圧気
相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11451489U JPH0353557U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11451489U JPH0353557U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353557U true JPH0353557U (ja) | 1991-05-23 |
Family
ID=31662878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11451489U Pending JPH0353557U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353557U (ja) |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP11451489U patent/JPH0353557U/ja active Pending