JPH07107914B2 - クリ−ンル−ム内搬送装置 - Google Patents
クリ−ンル−ム内搬送装置Info
- Publication number
- JPH07107914B2 JPH07107914B2 JP14033487A JP14033487A JPH07107914B2 JP H07107914 B2 JPH07107914 B2 JP H07107914B2 JP 14033487 A JP14033487 A JP 14033487A JP 14033487 A JP14033487 A JP 14033487A JP H07107914 B2 JPH07107914 B2 JP H07107914B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide body
- traveling guide
- clean room
- traveling
- air passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製品の製造工場でウエハーカセット
を搬送する場合などに用いるクリーンルーム内搬送装置
に関するものである。
を搬送する場合などに用いるクリーンルーム内搬送装置
に関するものである。
第５図は例えば特開昭62−68005号公報に示された従来
のクリーンルーム内搬送装置の概略側面図である。
のクリーンルーム内搬送装置の概略側面図である。
第５図において、１は横断面角筒状をなす走行案内体、
２は走行案内体１の長手方向に沿って走行するキャリア
ー、3a,3bは走行案内体１の両端部に近接して配設した
ロボット、４はウエハーカセット、５は走行案内体１を
クリーンルーム６の床面上方に固定する支柱である。そ
して、上記走行案内体１の上端部には長手方向に沿うス
リット部1aが設けられ、走行案内体内上部1bにはレール
面1cが設けられ、キャリアー２の台車2aが走行案内体内
上部1bに収容され、台車2aに設けた車輪2bがレール面1c
に転動自在に支持され、キャリアー２の走行案内体１外
に位置する載置部2cが上記スリット部1aに挿通された連
結部2dによって上記台車2aと一体に構成されている。ま
た走行案内体１内下部にはほぼ全長にわたって両端を閉
じたエア通路1dが形成され、エア通路1dは支柱５内を経
てクリーンルーム６内に延びる排気ダクト７に接続され
ていると共に、走行案内体内上部1bにも接続されてお
り、排気ダクト７内には送風機８が設置されている。
２は走行案内体１の長手方向に沿って走行するキャリア
ー、3a,3bは走行案内体１の両端部に近接して配設した
ロボット、４はウエハーカセット、５は走行案内体１を
クリーンルーム６の床面上方に固定する支柱である。そ
して、上記走行案内体１の上端部には長手方向に沿うス
リット部1aが設けられ、走行案内体内上部1bにはレール
面1cが設けられ、キャリアー２の台車2aが走行案内体内
上部1bに収容され、台車2aに設けた車輪2bがレール面1c
に転動自在に支持され、キャリアー２の走行案内体１外
に位置する載置部2cが上記スリット部1aに挿通された連
結部2dによって上記台車2aと一体に構成されている。ま
た走行案内体１内下部にはほぼ全長にわたって両端を閉
じたエア通路1dが形成され、エア通路1dは支柱５内を経
てクリーンルーム６内に延びる排気ダクト７に接続され
ていると共に、走行案内体内上部1bにも接続されてお
り、排気ダクト７内には送風機８が設置されている。
次に、上記のように構成された従来のクリーンルーム内
搬送装置の動作について説明する。
搬送装置の動作について説明する。
一方のロボット3aのハンドリングによってキャリアー２
の載置部2cにウエハーカセット４を積み、キャリアー２
の台車2aを適宜の手段で駆動させ、車輪2bを走行案内体
１のレール面1cを転動させつつ、走行案内体１の長手方
向に沿ってその一端部から他端部までキャリアー２を走
行させて停止させ、他方のロボット3bのハンドリングに
よって載置部2cからウエハーカセット４を降ろす。その
後、キャリアー２を走行させて、走行案内体１の一端部
に戻し、上述した動作を繰り返す。この動作中に送風機
８を駆動させてスリット部1a−走行案内体内上部1b−エ
ア通路1d−排気ダクト７の経路で空気を流し、キャリア
ー２の車輪2bがレール面1cを転動することなどで発生し
た塵を、クリーンルーム６外に空気と共に排出し、走行
案内体内上部1bからスリット部1aを経てクリーンルーム
６内に塵が放出されるのを防いでいる。
の載置部2cにウエハーカセット４を積み、キャリアー２
の台車2aを適宜の手段で駆動させ、車輪2bを走行案内体
１のレール面1cを転動させつつ、走行案内体１の長手方
向に沿ってその一端部から他端部までキャリアー２を走
行させて停止させ、他方のロボット3bのハンドリングに
よって載置部2cからウエハーカセット４を降ろす。その
後、キャリアー２を走行させて、走行案内体１の一端部
に戻し、上述した動作を繰り返す。この動作中に送風機
８を駆動させてスリット部1a−走行案内体内上部1b−エ
ア通路1d−排気ダクト７の経路で空気を流し、キャリア
ー２の車輪2bがレール面1cを転動することなどで発生し
た塵を、クリーンルーム６外に空気と共に排出し、走行
案内体内上部1bからスリット部1aを経てクリーンルーム
６内に塵が放出されるのを防いでいる。
従来のクリーンルーム内搬送装置は、以上のように構成
され、送風機８が排気ダクト７内に設置されているた
め、第５図の矢印に示すように送風機８から遠い走行案
内体１中央付近では、スリット部1aからの流入風速が不
足する。そして、流入風速が不足すると、キャリアー２
が走行する際に、レール部内部上部1bの塵を含んだ空気
が巻き上げられて、クリーンルーム６内に逆流する恐れ
があり、これを防止するには送風機８の出力を大きくし
なければならないという問題点があった。
され、送風機８が排気ダクト７内に設置されているた
め、第５図の矢印に示すように送風機８から遠い走行案
内体１中央付近では、スリット部1aからの流入風速が不
足する。そして、流入風速が不足すると、キャリアー２
が走行する際に、レール部内部上部1bの塵を含んだ空気
が巻き上げられて、クリーンルーム６内に逆流する恐れ
があり、これを防止するには送風機８の出力を大きくし
なければならないという問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、送風機の出力を大きくしなくても走行案内
体内上部の塵を含んだ空気がクリーンルーム内に逆流す
ることがないクリーンルーム内搬送装置を得ることを目
的としている。
れたもので、送風機の出力を大きくしなくても走行案内
体内上部の塵を含んだ空気がクリーンルーム内に逆流す
ることがないクリーンルーム内搬送装置を得ることを目
的としている。
この発明は、上記のようなクリーンルーム内搬送装置に
おいて、走行案内体内上部と、走行案内体内下部に長手
方向に沿って形成したエア通路とを仕切る仕切りに、送
風機に近い位置では小さく、遠い位置では大きい通気孔
を設け、走行案内体長手方向の各部からエア通路への吸
気量を均一化したものである。
おいて、走行案内体内上部と、走行案内体内下部に長手
方向に沿って形成したエア通路とを仕切る仕切りに、送
風機に近い位置では小さく、遠い位置では大きい通気孔
を設け、走行案内体長手方向の各部からエア通路への吸
気量を均一化したものである。
この発明におけるクリーンルーム内搬送装置は、走行案
内体のエア通路を仕切る仕切りに設けた通気孔の大きさ
を走行案内体の長手方向での位置によって変え、この長
手方向の各部からエア通路への吸気量を均一化したの
で、走行案内体のスリット部から走行案内体内への空気
の流入風速も均一化し、出力が小さい送風機でもスリッ
ト部からの流入風速が不足せず、このためキャリアーの
走行時に発生した塵を確実にクリーンルーム外に排出す
ることができ、塵をスリット部からクリーンルーム６内
に放出することがなく、クリーンルーム６を塵などで汚
さないことになる。
内体のエア通路を仕切る仕切りに設けた通気孔の大きさ
を走行案内体の長手方向での位置によって変え、この長
手方向の各部からエア通路への吸気量を均一化したの
で、走行案内体のスリット部から走行案内体内への空気
の流入風速も均一化し、出力が小さい送風機でもスリッ
ト部からの流入風速が不足せず、このためキャリアーの
走行時に発生した塵を確実にクリーンルーム外に排出す
ることができ、塵をスリット部からクリーンルーム６内
に放出することがなく、クリーンルーム６を塵などで汚
さないことになる。
以下、この発明の一実施例を第１図ないし第４図につい
て説明する。
て説明する。
第１図ないし第４図において、第５図と同一符号は相当
部分を示し、９は走行案内体内上部1bとエア通路1dとを
仕切る仕切りであり、仕切り９には走行案内体１両端部
では小さく、走行案内体１の長手方向中央部で大きい通
気孔9aが形成され、走行案内体１長手方向の各部からエ
ア通路1dに均一な空気量で吸気させるようにしてある。
10はキャリアー２の台車2aに設けられて車輪2bを回動さ
せる電動機、11aは台車2aに設けた集電子、11bは走行案
内体内上部1bに長手方向に沿って固定された給電線であ
り、給電線11bに摺動可能に集電子11aが接触している。
なお、第２図に示すように、排気ダクト７は支柱５内に
設けた垂直部7aの下部に連通した水平部7bが室壁6aを貫
通してクリーンルーム６外の部分12に開口されている。
部分を示し、９は走行案内体内上部1bとエア通路1dとを
仕切る仕切りであり、仕切り９には走行案内体１両端部
では小さく、走行案内体１の長手方向中央部で大きい通
気孔9aが形成され、走行案内体１長手方向の各部からエ
ア通路1dに均一な空気量で吸気させるようにしてある。
10はキャリアー２の台車2aに設けられて車輪2bを回動さ
せる電動機、11aは台車2aに設けた集電子、11bは走行案
内体内上部1bに長手方向に沿って固定された給電線であ
り、給電線11bに摺動可能に集電子11aが接触している。
なお、第２図に示すように、排気ダクト７は支柱５内に
設けた垂直部7aの下部に連通した水平部7bが室壁6aを貫
通してクリーンルーム６外の部分12に開口されている。
この実施例のクリーンルーム内搬送装置は、給電線11b
から集電子11aによって電動機10に給電し、これを正逆
回転させて車輪2bをレール面1c上で回転させることによ
り、キャリアー２を走行案内体１の長手方向に往復動さ
せる。また、送風機８の駆動によって、スリット1a−走
行案内体内上部1b−通気孔9a−エア通路1d−排気ダクト
７の経路で空気が流れ、キャリアー２の車輪2bがレール
面1cを転動することなどで走行案内体内上部1bで発生し
た塵をクリーンルーム６外の部分12に空気と共に排出す
る。
から集電子11aによって電動機10に給電し、これを正逆
回転させて車輪2bをレール面1c上で回転させることによ
り、キャリアー２を走行案内体１の長手方向に往復動さ
せる。また、送風機８の駆動によって、スリット1a−走
行案内体内上部1b−通気孔9a−エア通路1d−排気ダクト
７の経路で空気が流れ、キャリアー２の車輪2bがレール
面1cを転動することなどで走行案内体内上部1bで発生し
た塵をクリーンルーム６外の部分12に空気と共に排出す
る。
そして、この実施例では仕切り９の通気孔9aの大きさ
が、送風機８に近い支柱５付近では直径d,走行案内体１
の中央部付近では直径Ｄの丸孔によって形成され、ｄ＜
Ｄの関係にしてある。このため、支柱５近くのエア通路
1dを流れる空気は通気孔9aの径が小さいために絞られ、
走行案内体１の中央部近くのエア通路1dを流れる空気は
通気孔9aの径が大きいために抵抗が少ないことにより、
スリット部1aからの流入風速Ｖは、支柱５に近い部分で
減少し、走行案内体１の中央部近くでは増大し、長手方
向の全体にわたって平均化する。したがって、送風機８
の出力を大きくしなくても、走行案内体内上部1bの塵を
含んだ空気が、スリット部1aからクリーンルーム６内
に、キャリアー２の走行によって巻き上げられることが
なくなる。
が、送風機８に近い支柱５付近では直径d,走行案内体１
の中央部付近では直径Ｄの丸孔によって形成され、ｄ＜
Ｄの関係にしてある。このため、支柱５近くのエア通路
1dを流れる空気は通気孔9aの径が小さいために絞られ、
走行案内体１の中央部近くのエア通路1dを流れる空気は
通気孔9aの径が大きいために抵抗が少ないことにより、
スリット部1aからの流入風速Ｖは、支柱５に近い部分で
減少し、走行案内体１の中央部近くでは増大し、長手方
向の全体にわたって平均化する。したがって、送風機８
の出力を大きくしなくても、走行案内体内上部1bの塵を
含んだ空気が、スリット部1aからクリーンルーム６内
に、キャリアー２の走行によって巻き上げられることが
なくなる。
なお、この実施例の上述した以外の構成および動作は、
第５図に示す従来のものと同様である。
第５図に示す従来のものと同様である。
以上説明したように、この発明によれば、走行案内体内
上部とエア通路とを仕切る仕切りに、送風機に近い位置
では小さく、遠い位置では大きい通気孔を設け、走行案
内体長手方向各部からエア通路への吸気量を均一化した
ので、クリーンルームの空気がスリット部から走行案内
体内上部に流入する風速を走行案内体の長手方向の全体
にわたって均一化することができ、送風機の出力を大き
くしないで、走行案内体内上部から塵を含んだ空気がク
リーンルーム内に逆流しなくなり、クリーンルームを汚
すことがないという効果がある。
上部とエア通路とを仕切る仕切りに、送風機に近い位置
では小さく、遠い位置では大きい通気孔を設け、走行案
内体長手方向各部からエア通路への吸気量を均一化した
ので、クリーンルームの空気がスリット部から走行案内
体内上部に流入する風速を走行案内体の長手方向の全体
にわたって均一化することができ、送風機の出力を大き
くしないで、走行案内体内上部から塵を含んだ空気がク
リーンルーム内に逆流しなくなり、クリーンルームを汚
すことがないという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例に係るクリーンルーム内搬
送装置の概略側面図、第２図，第３図は第１図のII−II
線,III−III線拡大断面図、第４図は同要部の拡大縦断
側面図、第５図は従来のクリーンルーム内搬送装置の概
略側面図である。 １……走行案内体、1a……スリット部、1b……走行案内
体内上部、1c……レール面、1d……エア通路、２……キ
ャリアー、2a……台車、2b……車輪、2c……載置部、2d
……連結部、５……支柱、６……クリーンルーム、７…
…排気ダクト、８……送風機、９……仕切り、9a……通
気孔。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
送装置の概略側面図、第２図，第３図は第１図のII−II
線,III−III線拡大断面図、第４図は同要部の拡大縦断
側面図、第５図は従来のクリーンルーム内搬送装置の概
略側面図である。 １……走行案内体、1a……スリット部、1b……走行案内
体内上部、1c……レール面、1d……エア通路、２……キ
ャリアー、2a……台車、2b……車輪、2c……載置部、2d
……連結部、５……支柱、６……クリーンルーム、７…
…排気ダクト、８……送風機、９……仕切り、9a……通
気孔。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】横断面角筒状をなしクリーンルーム内に延
長して設置され、上面に長手に沿うスリット部が形成さ
れ、内部の上下方向中間の両側にそれぞれ配置されて長
手に沿い互いに離れて対向したレール面が構成されると
共に、内部の上記レール面の下方にエア通路が形成され
た走行案内体と、上記レール面を転動する車輪が設けら
れて上記走行案内体内上部に配置された台車及びこの台
車から上記スリット部に挿通された連結部により上記走
行案内体外の上方に配置された載置部を有するキャリア
ーと、排気用の送風機が設けられて上記走行案内体に連
通し上記走行案内体の長手に沿って互いに離れて配置さ
れた排気ダクトと、上記レール面の下側寄りに設けられ
て上記走行案内体内部の上部と上記エア通路とを区画
し、上記排気ダクトの近位置では小さく遠位置では大き
い通気孔が形成されて上記走行案内体の内部上部の長手
方向各部における上記エア通路への排気量を均一化する
仕切りとを備えたクリーンルーム内搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14033487A JPH07107914B2 (ja) | 1987-06-04 | 1987-06-04 | クリ−ンル−ム内搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14033487A JPH07107914B2 (ja) | 1987-06-04 | 1987-06-04 | クリ−ンル−ム内搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63304640A JPS63304640A (ja) | 1988-12-12 |
| JPH07107914B2 true JPH07107914B2 (ja) | 1995-11-15 |
Family
ID=15266409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14033487A Expired - Lifetime JPH07107914B2 (ja) | 1987-06-04 | 1987-06-04 | クリ−ンル−ム内搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07107914B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04106014A (ja) * | 1990-08-23 | 1992-04-08 | Daifuku Co Ltd | クリーンルーム用コンベヤ装置 |
| JPH04137961U (ja) * | 1991-06-20 | 1992-12-22 | 三機工業株式会社 | リニアクリーンチユーブ搬送装置 |
| KR0151602B1 (ko) * | 1992-11-13 | 1998-10-15 | 마스다 쇼오이치로오 | 크린룸용 반송설비 |
| JP2008028419A (ja) * | 2007-10-01 | 2008-02-07 | Hirata Corp | ワーク搬送システム |
| JP6686834B2 (ja) | 2016-10-12 | 2020-04-22 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
-
1987
- 1987-06-04 JP JP14033487A patent/JPH07107914B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63304640A (ja) | 1988-12-12 |
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