JPH0141647Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、自走車を用いた搬送設備に関し、特
に、粉塵の発生がきらわれる場合に使用するのに
適した搬送設備に関する。

自走車は一般に、レール装置の給電レールに摺
接する集電子を介して給電され、レール装置に導
かれて走行するものである。したがつて、その構
成上、集電に際して粉塵が発生し、これが舞い上
るという事態を避けることはできない。このため
従来にあつては、自走車で粉塵をきらう被搬送
物、たとえば半導体を搬送することは不可能であ
つた。

本考案は、このような事情に鑑みてなされたも
ので、その目的は、発生した粉塵を被搬送物に付
着させることのない、自走車を用いた搬送設備を
提供するところにある。

本考案の特徴は、外部に対して密閉状態を保ち
うるとともに、長手方向に伸びる液体停留部が設
けられた搬送ダクトと、この搬送ダクトに隣接し
て設けられた走行ダクトと、この走行ダクト内を
レール装置に導かれて走行するとともに、マグネ
ツトが搬送ダクトに対して間隙を存して対向する
ように設けられた自走車と、搬送ダクト内を前記
自走車のマグネツトに導かれて移動するよう前記
マグネツトに対応位置すべくマグネツトが設けら
れるとともに、ガイドローラー等の移動ガイド部
材が液体停留部に対応位置すべく設けられた被搬
送物を搬送するための搬送台車とから構成飯した
ところにある。

以下、本考案の好適な実施例を添付図面に基づ
いて詳細に説明する。

まず、本実施例の構成について説明する。

搬送ダクト１と走行ダクト２とは、ともに角筒
状に形成され、隔壁３によつて区画されている。
前記搬送ダクト１には、図示していないが開閉自
在な被搬送物３６の出入口が設けられ、この出入
口が閉塞されると密閉状態を保つよう構成されて
いる。また、前記搬送ダクト１の内部における幅
方向両側には、隔壁３が下方に向けてＬ字状に折
曲されることにより凹溝４ａ，４ｂが形成され、
これら凹溝４ａ，４ｂにそれぞれ断面状のみぞ
形鋼４a′，４b′を嵌合し、ここに液体たる水を貯
留して液体停留部５ａ，５ｂを構成している。

一方、走行ダクト２内には、公知のレール装置
６が所定間隔をおいて配置された支持部材７よつ
て支持されている。このレール装置６は、第１案
内面８と、この第１案内面８より低く設定された
一対の第２案内面９ａ，９ｂ及び各第２案内面９
ａ，９ｂから垂直に立上る第３案内面１０ａ，１
０ｂとを備えている。そして、前記第１案内面８
には互いに平行に、ラツク１１、信号レール１２
及び給電レール１３，１４が設けられている。な
お、走行ダクト２には、公知の図示していないエ
アー噴出及び吸引の両機構が取り付けられ、これ
ら両機構を作動することにより、一定方向に清浄
なエアーが流通するよう構成されている。このエ
アーの流通のほかは、前記走行ダクト２は、外部
に対して密閉可能である。

レール装置６に導かれて走行ダクト２内を走行
する自走車１５の本体１６は、各第２案内面９
ａ，９ｂに当接するガイド輪１７、このガイド輪
１７の回転軸と垂直な回転軸を有し各第３案内面
１０ａ，１０ｂに当接する水平ローラー１８を備
えている。またこの本体１６は、第１案内面８に
当接する駆動輪１９、ラツク１１と噛合するギア
２０、各レール１２，１３，１４にそれぞれ摺接
する集電子２１，２２，２３をも備えている。前
記自走車１５は、集電子２２，２３を介して給電
されることによりモーター（図示せず）を作動さ
せ、この回転力によつて駆動輪１９を回転させて
走行するものである。前記自走車１５の上部は、
本体１６に対して複数のスプリング２４を介して
離反方向に弾発されるとともに、支柱２５で接離
方向に移動自在に支持された案内部２６となつて
いる。この案内部２６は両側部が上方に突出し、
この突出部分の上面にそれぞれマグネツト２７が
固設されている。そして、前記マグネツト２７と
隔壁３とは、案内部２６に回転自在に支持したガ
イドローラ２８がスプリング２４の弾発力で隔壁
３に当接することにより、常に適正な一定間隔を
保つている。

搬送ダクト１の各液体停留部５ａ，５ｂには、
ガイドレール２９ａ，２９ｂがそれぞれ設けられ
ている。そして、このガイドレール２９ａ，２９
ｂに案内される移動ガイド部材たる回転自在なガ
イドローラー３０を、それぞれ支持アーム３１に
軸支した搬送台車２３が、その下面が隔壁３と一
定の間隙をおくようにして搬送ダクト１内に配置
されている。前記搬送台車３２の下面には、自走
車１５のマグネツト２７と対応位置して相対的に
吸着するように、マグネツト３３が固設されてい
る。また、前記搬送台車３２の上部に形成した載
置部３４には、磁界シールド板３５が内設され、
マグネツト３３の磁気の影響が載置部３４より上
方には及ばないよう構成されている。そして前記
載置部３４上に、粉塵の発生をきらう被搬送物３
６が載置されるものである。

次に、本実施例の作用について説明する。

従来公知の自走車と同様にして、自走車１５が
走行ダクト２内を所定方向に走行すると、その案
内部２６のマグネツト２７への移動に搬送台車３
２のマグネツト３３が導かれ、搬送台車３２は自
走車１５と同一方向に同一速度で搬送ダクト１内
を走行する。この走行時に、各集電子２１，２
２，２３と各レール１２，１３，１４との摺接部
分をはじめとする各接触部分において、粉塵が発
生することになる。しかし、搬送ダクト１内の接
触部分は、液体停留部５ａ，５ｂの水中にだけ位
置しているから、発生した粉塵はこの水中内で浮
遊するにとどまり、被搬送物３６方向に舞い上る
ことはない。一方、走行ダクト２内に発生した粉
塵は、走行ダクト２と搬送ダクト１とは遮断状態
にあるので、搬送ダクト１内に侵入することはな
い。また、図示していないエアー噴出及び吸引の
両機構を作動させると、走行ダクト２内で発生し
た粉塵は、空気流にともなわれて走行ダクト２外
へ排出される。このように、搬送台車３２の載置
部３４に載置された被搬送物３６には、粉塵が付
着することはないものである。

なお、本考案における自走車の搬送台車あるい
は移動ガイド部材の構成が上述した実施例のもの
に限定されないことはいうまでもないほか、各マ
グネツトは永久磁石あるいは電磁石のいずれを用
いてもよく、また、液体停留部の構成、あるいは
ここに停留させる液体も特に限定されないなど、
本考案は上述の実施例に多くの改変を施こすこと
が可能である。

以上説明したところで明らかなように、本考案
によれば、搬送ダクト内においては、液体停留部
内面壁と搬送台車の移動ガイド部材間の摩擦によ
つて生じる粉塵が液体中で浮遊するにとどまり空
間に舞い上がることがないから、被搬送物に粉塵
を付着させることなく搬送作業が可能であり、半
導体のような粉塵をきらう被搬送物の搬送に好適
であるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

図は本考案の好適な実施例を示し、第１図は各
ダクトを断面とした正面図、第２図は同じく側面
図である。 １……搬送ダクト、２……走行ダクト、３……
隔壁、５ａ，５ｂ……液体停留部、６……レール
装置、１５……自走車、２７……マグネツト、３
０……ガイドローラー、３２……搬送台車、３３
……マグネツト、３６……被搬送物。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 外部に対して密閉状態を保ちうるようになした
   搬送ダクトと、該搬送ダクト内にその長手方向に
   伸ばして設け、内側に液体を貯留させた液体停留
   部と、前記搬送ダクトに壁を介在して隣接するよ
   うに配置した走行ダクトと、この走行ダクト内を
   レール装置に導かれて走行しうるとともに、前記
   壁に相対させ、かつ、該壁との間に間隙をもたし
   てマグネツトを設けた自走車と、前記搬送ダクト
   の液体停留部内側に移動ガイド部材が位置した状
   態で搬送ダクト内を走行しうるとともに、前記自
   走車のマグネツトに対応位置するように前記壁に
   相対させ、かつ、該壁との間に間隙をもたしてマ
   グネツトを設けた、被搬送物を搭載しうる搬送台
   車とから構成したことを特徴とする自走車を用い
   た搬送設備。