JPH0354720A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0354720A JPH0354720A JP1190972A JP19097289A JPH0354720A JP H0354720 A JPH0354720 A JP H0354720A JP 1190972 A JP1190972 A JP 1190972A JP 19097289 A JP19097289 A JP 19097289A JP H0354720 A JPH0354720 A JP H0354720A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic recording
- recording medium
- magnetic
- oxygen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(2)
(3)
産業上の利用分野
本発明は、高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体及びその製造方法に関する
。
気記録層とする磁気記録媒体及びその製造方法に関する
。
従来の技術
記録再生機器の小型化,高性能化の為に記録密度向上の
努力は継続的に行われており、最近では強磁性金属薄膜
を磁気記録層として実用化することが待望されるに至っ
ている[アイイーイーイー トランザクションズ オン
マグネティクス(IEEE TRANSACTIO
NS ONMAGNETICS)Vol.MAG−2
1 No−3,P.P.1217〜1220 (19
85)]。
努力は継続的に行われており、最近では強磁性金属薄膜
を磁気記録層として実用化することが待望されるに至っ
ている[アイイーイーイー トランザクションズ オン
マグネティクス(IEEE TRANSACTIO
NS ONMAGNETICS)Vol.MAG−2
1 No−3,P.P.1217〜1220 (19
85)]。
強磁性金属薄膜は材料としての組合わせは多数考えられ
るが、現実的な可能性が示されているものは少なく、C
o−Cr等の垂直磁化膜[特公昭58−91号公報、特
開昭61−120331号公報]やCo−Ni,Co−
Ni −0等の斜め蒸着膜や湿式めっき膜[特公昭41
−19389号公報、特開昭53−42010号公報]
等で、実用化の目的で最近ではもっぱら、保護潤滑層の
開究が検討の中心となっている。現状ではポリエチレン
テレフタレートフィルム等の高分子フィルム上に直接あ
るいは微粒子などの下塗りを行った後、電子ビーム蒸着
法やスパッタリング法で強磁性金属薄膜を配し、その面
に直接溶剤に脂肪酸やバーフルオロボリエーテル等の潤
滑剤を溶かした溶液を塗布乾燥する法[特開昭57−1
79948号公報、特開昭61−178718号公報コ
や、酸化膜を介して潤滑剤を配する[特開昭6工〜15
1830号公報コことや、炭素膜とフロロカーボン系の
組み合わせ[特開昭61−142525号公報]等が提
案され、磁気ディスクではまだ炭素膜が厚いとはいうも
のの一部実用化され、炭素質についても検討が進み硬度
を高めることの有用性[米国特許第4717622号明
細書〕も知られるに至っている。
るが、現実的な可能性が示されているものは少なく、C
o−Cr等の垂直磁化膜[特公昭58−91号公報、特
開昭61−120331号公報]やCo−Ni,Co−
Ni −0等の斜め蒸着膜や湿式めっき膜[特公昭41
−19389号公報、特開昭53−42010号公報]
等で、実用化の目的で最近ではもっぱら、保護潤滑層の
開究が検討の中心となっている。現状ではポリエチレン
テレフタレートフィルム等の高分子フィルム上に直接あ
るいは微粒子などの下塗りを行った後、電子ビーム蒸着
法やスパッタリング法で強磁性金属薄膜を配し、その面
に直接溶剤に脂肪酸やバーフルオロボリエーテル等の潤
滑剤を溶かした溶液を塗布乾燥する法[特開昭57−1
79948号公報、特開昭61−178718号公報コ
や、酸化膜を介して潤滑剤を配する[特開昭6工〜15
1830号公報コことや、炭素膜とフロロカーボン系の
組み合わせ[特開昭61−142525号公報]等が提
案され、磁気ディスクではまだ炭素膜が厚いとはいうも
のの一部実用化され、炭素質についても検討が進み硬度
を高めることの有用性[米国特許第4717622号明
細書〕も知られるに至っている。
発明が解決しようとする課題
しかしながらCo−Crに代表される垂直磁化膜は短波
長での自己減磁から解放される原理的優位にありながら
、良好な特性を得るには、高分子フィルムを加熱しなく
てはならないことから、ポリイミドフィルム等の耐熱フ
ィルムを必要とし、磁気ヘッドとの高速摺動でのヘノド
タンチの確保がしにくい難点や、巻取り技術的にも難点
があり、シワの発生や熱ダメージの発生でエンベローブ
不良やDoの発生といった欠点が生じ易く改善が望まれ
ていた。本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、
低温で高性能な垂直磁化膜として最近注目されているC
o−0垂直磁化膜(IEEETransactions
on Magnetics Vol. M A G
− 2 0、768 (1984))のC/Nを更に改
善することで、Co−Cr垂直磁化膜を越えてかつ、ポ
リエステルフィルム上に低温で製膜してもその記録性能
を達威できる磁気記録媒体を提供するものである。
長での自己減磁から解放される原理的優位にありながら
、良好な特性を得るには、高分子フィルムを加熱しなく
てはならないことから、ポリイミドフィルム等の耐熱フ
ィルムを必要とし、磁気ヘッドとの高速摺動でのヘノド
タンチの確保がしにくい難点や、巻取り技術的にも難点
があり、シワの発生や熱ダメージの発生でエンベローブ
不良やDoの発生といった欠点が生じ易く改善が望まれ
ていた。本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、
低温で高性能な垂直磁化膜として最近注目されているC
o−0垂直磁化膜(IEEETransactions
on Magnetics Vol. M A G
− 2 0、768 (1984))のC/Nを更に改
善することで、Co−Cr垂直磁化膜を越えてかつ、ポ
リエステルフィルム上に低温で製膜してもその記録性能
を達威できる磁気記録媒体を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記した課題を解決するため、本発明の磁気記録媒体は
、Co−0,又はCo−Ni−0に添加元素としてZn
,Cd.Ru.Reのいずれかを】〜3at%含む垂直
磁化膜を磁気記録層としたものである。
、Co−0,又はCo−Ni−0に添加元素としてZn
,Cd.Ru.Reのいずれかを】〜3at%含む垂直
磁化膜を磁気記録層としたものである。
作用
本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、(2)C
oのC軸配向性が向上し、垂直磁化膜としての配向性が
良好となり、低温でも十分な特性を実現できることにな
る。
oのC軸配向性が向上し、垂直磁化膜としての配向性が
良好となり、低温でも十分な特性を実現できることにな
る。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の実。施例について説
明する。
明する。
[実施例1コ
第1図は本発明の第1の実施例の磁気記録媒体の拡大断
面図である。第1図ではlはポリエチレンテレフタレー
ト.ポリエチレンナフタレートボリフェニレンサルファ
イド,ポリエーテルエーテルケトン,ポリイミド等の高
分子フィルムで2は、Tie2,CrzO3,ZrO2
,Ta20sSiO2, ポリアミドイミド,ポリエ
チレン等の@粒子を、直径50人から300人の範囲か
ら選び、10ケ/(μm)2から1 0 0 ケ/(μ
m) 2の密度の範囲で分散塗布固定した微粒子塗布層
である。3はCo−0又はCo−Ni−0垂直磁化嗅で
膜中にZn.Cd,Ru.Reのうちのいずれかの元素
を1〜3at%含有するようtこしたものである。1a
t%以下では室温近傍での成膜に於で、結晶性改善作用
が不十分で、3at%以上ではかえって、雑音が増加し
、結晶性改善効果があってもC/N改善につながらない
ことから好ましい範囲がある。
面図である。第1図ではlはポリエチレンテレフタレー
ト.ポリエチレンナフタレートボリフェニレンサルファ
イド,ポリエーテルエーテルケトン,ポリイミド等の高
分子フィルムで2は、Tie2,CrzO3,ZrO2
,Ta20sSiO2, ポリアミドイミド,ポリエ
チレン等の@粒子を、直径50人から300人の範囲か
ら選び、10ケ/(μm)2から1 0 0 ケ/(μ
m) 2の密度の範囲で分散塗布固定した微粒子塗布層
である。3はCo−0又はCo−Ni−0垂直磁化嗅で
膜中にZn.Cd,Ru.Reのうちのいずれかの元素
を1〜3at%含有するようtこしたものである。1a
t%以下では室温近傍での成膜に於で、結晶性改善作用
が不十分で、3at%以上ではかえって、雑音が増加し
、結晶性改善効果があってもC/N改善につながらない
ことから好ましい範囲がある。
かかる薄膜を形或するのに適しているのは、スパッタリ
ング法か電子ビーム蒸着法かのいずれかであり、一般に
ディスクを対象とする時にはスパッタリング法、テープ
を対象とする時には電子ビーム蒸着法がより望ましいと
いえる。4は保護潤滑層で、プラズマ重合膜,プラズマ
CVD膜,脂肪酸,パーフルオ口ポリエーテル類等を絹
み合わせ耐久性要求度合とスベーシング損失の兼ね合い
で最適化すればよい。
ング法か電子ビーム蒸着法かのいずれかであり、一般に
ディスクを対象とする時にはスパッタリング法、テープ
を対象とする時には電子ビーム蒸着法がより望ましいと
いえる。4は保護潤滑層で、プラズマ重合膜,プラズマ
CVD膜,脂肪酸,パーフルオ口ポリエーテル類等を絹
み合わせ耐久性要求度合とスベーシング損失の兼ね合い
で最適化すればよい。
以下更に具体的に本発明の実施例について比較例との対
比で説明する。
比で説明する。
厚み12μmのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に、直径100人のCr203微粒子を10ケ/(μm
)2配し、Co−a,Co−Ni一α(αはZn,Cd
,Ru,Re(’)いずれか)をターゲットとして、A
r+02分圧をO. O O 1〜0.01(Torr
)Ar :H2=1〜4.5の範囲で変え、13.56
(MHz) 1.15〜1.95(kw)でスパッタ
リングを行い、垂直磁化膜を0.2μm形成した。その
時直径50anの円筒キャンの媒体温度は20℃一定と
した。垂直磁化膜の上にモンテジソン社製のフォンブリ
ンz−25を1.2(■/rd)塗布し8ミリテーブと
した。
に、直径100人のCr203微粒子を10ケ/(μm
)2配し、Co−a,Co−Ni一α(αはZn,Cd
,Ru,Re(’)いずれか)をターゲットとして、A
r+02分圧をO. O O 1〜0.01(Torr
)Ar :H2=1〜4.5の範囲で変え、13.56
(MHz) 1.15〜1.95(kw)でスパッタ
リングを行い、垂直磁化膜を0.2μm形成した。その
時直径50anの円筒キャンの媒体温度は20℃一定と
した。垂直磁化膜の上にモンテジソン社製のフォンブリ
ンz−25を1.2(■/rd)塗布し8ミリテーブと
した。
比較例についても同様の手順でテープ化し、夫々、改造
した8ミリVTRを用いて評価した。使用したヘッドは
ギャップ長0.2μmの積層合金型ヘッドで、波長0.
33μmのディジタル記録を行いC/Nを15(MHz
)帯域で比較した結果とテープ条件を第1表にまとめて
示した。
した8ミリVTRを用いて評価した。使用したヘッドは
ギャップ長0.2μmの積層合金型ヘッドで、波長0.
33μmのディジタル記録を行いC/Nを15(MHz
)帯域で比較した結果とテープ条件を第1表にまとめて
示した。
(以 下 余 白)
[実施例2]
課題を解決するための別の手段は、Co又はCo−Ni
をベースとし磁性稀釈元素が主として酸素であり、添加
元素が0.3 〜1at%のGd,Tb,Hoのいずれ
かである垂直磁化膜を磁気記録層としたものである。本
発明の磁気記録媒体は上記した構威により、(2)Co
C軸配同性が向上し、垂直磁化膜としての配同性が良好
になりかつ、Gd,Tb,Hoの表面酸化膜がち密に形
成されることで磁気的分離も良好となり短波長での雑音
の改良でトータル的にC/N改善がなされることになる
。
をベースとし磁性稀釈元素が主として酸素であり、添加
元素が0.3 〜1at%のGd,Tb,Hoのいずれ
かである垂直磁化膜を磁気記録層としたものである。本
発明の磁気記録媒体は上記した構威により、(2)Co
C軸配同性が向上し、垂直磁化膜としての配同性が良好
になりかつ、Gd,Tb,Hoの表面酸化膜がち密に形
成されることで磁気的分離も良好となり短波長での雑音
の改良でトータル的にC/N改善がなされることになる
。
実施例1で説明したものと殆んどが共通した要素で構成
できる。ここでは磁気記録層について詳しく説明する。
できる。ここでは磁気記録層について詳しく説明する。
実施例1と(2)Co又はCo−Niをベースとし酸素
で磁性を稀釈するところまでは同じであるが添加元素が
Gd,Tb,Hoのいずれかでかつ添加量が0.3〜1
at%の範囲とする点が異なっている。
で磁性を稀釈するところまでは同じであるが添加元素が
Gd,Tb,Hoのいずれかでかつ添加量が0.3〜1
at%の範囲とする点が異なっている。
添加量が0.3at%以下ではC紬改善効果が小さく、
かつ表面酸化層での磁気分離が不十分で雑音も不均一で
あり、1at%以上では、酸化層の硬さが低下するため
と思われる耐久性の低下がみられることで、この範囲と
することが好ましい。
かつ表面酸化層での磁気分離が不十分で雑音も不均一で
あり、1at%以上では、酸化層の硬さが低下するため
と思われる耐久性の低下がみられることで、この範囲と
することが好ましい。
以下更に具体的に本発明の実施例について比較例との対
比で説明する。
比で説明する。
厚み10.2μmのポリエチレンナフタレートフィルム
上に直径120AのZr02微粒子を16ケ/(μm)
2配し、(2)Co又はCo−Ni蒸発源にGd,Ho
,Tbを供給しながら添加量を変化させ、酸素分圧を2
X10−3〜4X10−3(Torr)の範囲で、電子
ビーム蒸着した。
上に直径120AのZr02微粒子を16ケ/(μm)
2配し、(2)Co又はCo−Ni蒸発源にGd,Ho
,Tbを供給しながら添加量を変化させ、酸素分圧を2
X10−3〜4X10−3(Torr)の範囲で、電子
ビーム蒸着した。
フィルムは直径50cm(キャン温度30℃)の円筒キ
ャンに沿わせ入射角5°〜25°の範囲で蒸着し、0.
2μmの垂直磁化膜を形威し、その上にデュポン社製の
、KRYTOX−15 7FSMを1(■#) 塗布し
8ミリの幅でテープを得た。
ャンに沿わせ入射角5°〜25°の範囲で蒸着し、0.
2μmの垂直磁化膜を形威し、その上にデュポン社製の
、KRYTOX−15 7FSMを1(■#) 塗布し
8ミリの幅でテープを得た。
比較例は厚み8μmのポリイミドフィルム上に直径12
0AのZr02微粒子を14ケ/(μm)2配しその上
Iこ直径50CII+の円筒キャンを260℃に加熱し
、入射角5°以内でCo−Cr (Cr21at%)を
電子ビーム蒸着したものを加えた。
0AのZr02微粒子を14ケ/(μm)2配しその上
Iこ直径50CII+の円筒キャンを260℃に加熱し
、入射角5°以内でCo−Cr (Cr21at%)を
電子ビーム蒸着したものを加えた。
各テープを第1の実施例と同様にC /’ Nとスチル
特性を比較した結果を第2表に示した。
特性を比較した結果を第2表に示した。
(以 下 余 白)
[実施例3コ
課題を解決する別の手段は、(2)Co又はCo−Ni
をベースと゛し磁性稀釈元素が主として酸素であり、厚
み方向に2分割した時上層側の酸素濃度が下層側の1.
5〜2.5倍の範囲である垂直磁化膜を磁気記録層とし
たものである。本発明の磁気記録媒体は上記した構成に
より、磁気ヘッドとの摺動面が実効的に硬くなり、耐久
性が改善されるので保護膜厚みによるスペーシング損失
を改良できることと、上層側の磁気分離が良好となり雑
音も改良されるので、全体としてC/N改良と耐久性改
善が達成されることになる。
をベースと゛し磁性稀釈元素が主として酸素であり、厚
み方向に2分割した時上層側の酸素濃度が下層側の1.
5〜2.5倍の範囲である垂直磁化膜を磁気記録層とし
たものである。本発明の磁気記録媒体は上記した構成に
より、磁気ヘッドとの摺動面が実効的に硬くなり、耐久
性が改善されるので保護膜厚みによるスペーシング損失
を改良できることと、上層側の磁気分離が良好となり雑
音も改良されるので、全体としてC/N改良と耐久性改
善が達成されることになる。
第2図は本発明の実施例の磁気記録媒体の拡大断面図で
ある。第2図で5は垂直磁化可能なCo−0又はCo−
Ni−0膜を構成する柱状微粒子の1.5〜2.5倍と
なるよう構成したものである。濃度は厚み方向に勾配を
もつことの方が多いので、平均濃度で比較するものとす
る。かかる比率の濃度の構成を得るには、酸素導入ノズ
ルの配置条件を最適化するか、酸素とAr等の不活性気
体を別ノズルより導入するようにしてもよい。(2)C
o−Ni−0は(2)CoとNiの比率はNiが(2)
Coに対し10〜25a t%の範囲が結晶性.耐食性
の改善から好ましい範囲で25〜30%の範囲では製造
条件により面心立方型の結晶が混在することがあり、垂
直配向性を低下させることから25at%以下とするべ
きである。Co−0又はCo−Ni−O膜の膜厚は0.
1μmから0.3μmの範囲が好ましく、酸素は全体平
均で15at%〜35at%の範囲で上層と下層の比率
関係を満足させることで条件出ししてまとめていけばよ
い。
ある。第2図で5は垂直磁化可能なCo−0又はCo−
Ni−0膜を構成する柱状微粒子の1.5〜2.5倍と
なるよう構成したものである。濃度は厚み方向に勾配を
もつことの方が多いので、平均濃度で比較するものとす
る。かかる比率の濃度の構成を得るには、酸素導入ノズ
ルの配置条件を最適化するか、酸素とAr等の不活性気
体を別ノズルより導入するようにしてもよい。(2)C
o−Ni−0は(2)CoとNiの比率はNiが(2)
Coに対し10〜25a t%の範囲が結晶性.耐食性
の改善から好ましい範囲で25〜30%の範囲では製造
条件により面心立方型の結晶が混在することがあり、垂
直配向性を低下させることから25at%以下とするべ
きである。Co−0又はCo−Ni−O膜の膜厚は0.
1μmから0.3μmの範囲が好ましく、酸素は全体平
均で15at%〜35at%の範囲で上層と下層の比率
関係を満足させることで条件出ししてまとめていけばよ
い。
以下、更に具体的に本発明の実施例について比較例との
対比で説明する。
対比で説明する。
厚み10μmのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に直径110人のEu203微粒子を11ケ/(μm)
2配しその上に直径50cmの円筒キャンから同心状に
40離したマスクの先端にノズルを配し、蒸着の開始側
のノズルAからHeガスを導入し、蒸着の完了する側の
ノズルBより02ガスを導入し、厚み方向の酸素濃度を
調整し、Co−0,又はCo−Ni−0垂直磁化膜を形
成し、その上にデュポン社製のKRYTOX−1 43
ACを1.1(■/rrr)塗布し8ミリ幅のテープに
した。比較例は、ノズルA,B共に酸素ガスを導入して
試作したものを用いた。夫々のテープを改造した8ミリ
ビデオにより、ギャップ長0.2μmの積層合金型ヘッ
ドにより最短波長0.3μm帯域15(MHz)で記録
再生しC/Nを比較し、耐久性としてスチル特性を比較
した。
に直径110人のEu203微粒子を11ケ/(μm)
2配しその上に直径50cmの円筒キャンから同心状に
40離したマスクの先端にノズルを配し、蒸着の開始側
のノズルAからHeガスを導入し、蒸着の完了する側の
ノズルBより02ガスを導入し、厚み方向の酸素濃度を
調整し、Co−0,又はCo−Ni−0垂直磁化膜を形
成し、その上にデュポン社製のKRYTOX−1 43
ACを1.1(■/rrr)塗布し8ミリ幅のテープに
した。比較例は、ノズルA,B共に酸素ガスを導入して
試作したものを用いた。夫々のテープを改造した8ミリ
ビデオにより、ギャップ長0.2μmの積層合金型ヘッ
ドにより最短波長0.3μm帯域15(MHz)で記録
再生しC/Nを比較し、耐久性としてスチル特性を比較
した。
テープの条件と比較データを第3表にまとめて示した。
(以 下 余 白)
発明の効果
以上のように本発明によれば、優れたC/Nと耐久性を
有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体を得ることができ
る。
有する垂直磁気記録用の磁気記録媒体を得ることができ
る。
第1図,第2図は本発明の実施例の磁気記録媒体の拡大
断面図である。 1・・・・・・高分子フィルム、2・・・・・・微粒子
塗布層、3・・・・・・垂直磁化膜、5・・・・・・柱
状微粒子。
断面図である。 1・・・・・・高分子フィルム、2・・・・・・微粒子
塗布層、3・・・・・・垂直磁化膜、5・・・・・・柱
状微粒子。
Claims (3)
- (1)Co又はCo−Niをベースとし、磁性稀釈元素
が主として酸素であり、添加元素が1〜3at%のZn
、Cd、Ru、Reのいずれかである垂直磁化膜を磁気
記録層とすることを特徴とする磁気記録媒体。 - (2)Co又はCo−Niをベースとし磁性稀釈元素が
主として酸素であり添加元素が0.3〜1at%のGd
、Tb、Hoのいずれかである垂直磁化膜を磁気記録層
とすることを特徴とする磁気記録媒体。 - (3)Co又はCo−Niをベースとし磁性稀釈元素が
主として酸素であり、厚み方向に2分割した時上層側の
酸素濃度が下層側の1.5〜2.5倍の範囲である垂直
磁化膜を磁気記録層とすることを特徴とする磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1190972A JPH0354720A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1190972A JPH0354720A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0354720A true JPH0354720A (ja) | 1991-03-08 |
Family
ID=16266738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1190972A Pending JPH0354720A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0354720A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007114402A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-11 | Hoya Corporation | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP1190972A patent/JPH0354720A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007114402A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-11 | Hoya Corporation | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0354720A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2553622B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2646739B2 (ja) | 磁気記録再生方法 | |
| JP2605380B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2659016B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2558753B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0354719A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2583957B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2568643B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS61284829A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01320619A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH04143919A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS63127418A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0319124A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS62241122A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6326818A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02141922A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6267728A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS61239423A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02132623A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH04195724A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02312013A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH03259414A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02116018A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02116010A (ja) | 磁気記録媒体 |