JPH0355162A - 研摩方法 - Google Patents
研摩方法Info
- Publication number
- JPH0355162A JPH0355162A JP1189135A JP18913589A JPH0355162A JP H0355162 A JPH0355162 A JP H0355162A JP 1189135 A JP1189135 A JP 1189135A JP 18913589 A JP18913589 A JP 18913589A JP H0355162 A JPH0355162 A JP H0355162A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- workpiece
- grinding
- truing
- grindstone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 46
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 18
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、金属部品やセラミックス部品等の平面の研摩
方法に関するものである。
方法に関するものである。
(従来の技術)
一般に、研摩砥石の研摩面はワーク研摩により目潰れや
目詰まりを起こして切れ味が低下したり、偏摩耗や形状
変化を生じ、研摩されたワーク仕上面に研摩ムラや疵等
を生したり、平坦度が低下したりするから、このような
状態となったときば研摩工程を中断し、ツルーイングド
レッシング用砥石を研摩面に押し付けて修正を行ってい
る。
目詰まりを起こして切れ味が低下したり、偏摩耗や形状
変化を生じ、研摩されたワーク仕上面に研摩ムラや疵等
を生したり、平坦度が低下したりするから、このような
状態となったときば研摩工程を中断し、ツルーイングド
レッシング用砥石を研摩面に押し付けて修正を行ってい
る。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、一度ワーク研摩をした研摩砥石の研摩面
はその砥粒切刃の状態、研摩面の形状等が最初の場合と
は若干異なっており、従って、この研摩面により研摩さ
れた2個目のワークの研摩面形状や面粗さ、平坦度等は
最初のワークのそれらとは微妙に異なったものとなり、
続く3個目のワークは更に変化した研摩面により加工さ
れるため、前二者とはまた異なった仕上面となり、形状
、寸度、面粗さ、平坦度等の再現性及び高度の精度を強
く要求される各種精密部品の連続多量生産に不都合であ
るという問題点がある。
はその砥粒切刃の状態、研摩面の形状等が最初の場合と
は若干異なっており、従って、この研摩面により研摩さ
れた2個目のワークの研摩面形状や面粗さ、平坦度等は
最初のワークのそれらとは微妙に異なったものとなり、
続く3個目のワークは更に変化した研摩面により加工さ
れるため、前二者とはまた異なった仕上面となり、形状
、寸度、面粗さ、平坦度等の再現性及び高度の精度を強
く要求される各種精密部品の連続多量生産に不都合であ
るという問題点がある。
(課題を解決するための手段)
本発明は前記のような問題点を解決した研摩方法に関す
るもので、回転する研摩砥石の研摩面にワークを押し付
けて研摩を行うとともに該研摩面にツルーイングドレッ
シング用の修正砥石を押し付けてワーク研摩により変化
した研摩面の修正を行う研摩方法において、ワーク1個
の研摩終了毎に前記修正砥石を研摩面へ押し付けて該研
摩面の修正を行うようにしたことを特徴とするものであ
る。
るもので、回転する研摩砥石の研摩面にワークを押し付
けて研摩を行うとともに該研摩面にツルーイングドレッ
シング用の修正砥石を押し付けてワーク研摩により変化
した研摩面の修正を行う研摩方法において、ワーク1個
の研摩終了毎に前記修正砥石を研摩面へ押し付けて該研
摩面の修正を行うようにしたことを特徴とするものであ
る。
(実施例)
次に、本発明を図示の研摩装置を実施例として詳細に説
明する。
明する。
(1)は箱状の機台で、その上面板(2)には立方品窒
化ホウ素やダイヤモンドのような超砥粒を用いたメタル
ポンド砥石などの研摩砥石(3)が上面を研摩面(4)
として水平状に軸支されており、機台(1)に取付けた
モータ(5)によりVヘルト等を介して回転駆動される
ようになっている。上面板(2)には支柱(6)が立設
してあり、該支柱(6)にはワーク(W)を受け取る供
給位置から加工位置である研摩砥石(3)のL方を経て
ワーク(W)を送り出す搬出位置へ揺動可能とされる揺
動アーム(7)が軸支さセてあり、その一側下部にはワ
ーク(W)を着肌可能とずる保持装置(8)が上部側の
モータ(9)により駆動可能に位置させてある。そして
、保持装置(8)とモータ(9)との間には加圧力調整
機00)が介装してある。圧力調整機00)は研摩初期
と研摩終期とでワーク(W)の研摩砥石(3)に対する
加圧力が変化するよう保持装置(8)を昇降動さーQる
もので、ワーク(W)には研摩初期に研摩終期より高め
の加工圧が加えられて短時間で所定寸法近くまでの荒研
摩が行われ、研摩終期には加工圧が減圧されて仕上精度
の高い精密仕上げが可能とされている。(11)は研摩
砥石(3)の一側に下端のツルーイングドレッシング用
の修正砥石02)が臨むように、機台(1)の側壁03
)に昇降動自在に設けたツルーイングドレッシング装置
で、該ツルーイングドレッシング装置(II)は、第3
図、第4図に示すように、側壁03)に固定したブラケ
ソト(+4)に取付けられた昇降装置05)を備えてい
る。昇降装置05)はブラケッ+− 04)上に設けた
モータ00と、これにより回転可能とされて軸支された
縦方向の送りねし0′7)とよりなり、該送りねじ07
1にはナットα8)を螺着してこれに筒状の昇降ブラケ
ッl− 09)が一体状として取付けられ、その上端面
は球面受座G![11に形威してある。そして、球面受
座C2@には昇降ブラケット09)に細隙(2l)を残
して遊嵌される砥石保持筒(22)を、その上部フラン
ジ(23)に対応形成された球面座(24)をもって当
接支持させてあり、砥石保持筒(22)には下端に修正
砥石02)を取イ1けた修正砥石軸(27)が縦方向と
して軸受(25)、(26)を介して軸支され、該修正
砥石軸(27)の上端は上部フランジ(23)上に設け
たモータ(28)の駆動軸と連結されている。また、砥
石保持筒(22)に設けた下部フランジ(29)の下端
面には3個の調節ポル} (30)が螺挿してあり、そ
れぞれの上端は昇降ブラケツl− 09)の下端面に当
接させて砥石保持筒(22)を該昇降ブラケット09)
に対し固定保持させている。そして、この調節ボルト(
30)のそれぞれの突出長さをiff Iffすると、
砥石保持筒(22)は細隙(21)の存在によりその球
面座(24)の球面受座12lに対する保合部を中心と
して昇降ブラケット09)内で揺動し、修正砥石軸(2
7)の垂直方向に対する傾きが変化して下端の修正砥石
02)の水平度調整が行われる。
化ホウ素やダイヤモンドのような超砥粒を用いたメタル
ポンド砥石などの研摩砥石(3)が上面を研摩面(4)
として水平状に軸支されており、機台(1)に取付けた
モータ(5)によりVヘルト等を介して回転駆動される
ようになっている。上面板(2)には支柱(6)が立設
してあり、該支柱(6)にはワーク(W)を受け取る供
給位置から加工位置である研摩砥石(3)のL方を経て
ワーク(W)を送り出す搬出位置へ揺動可能とされる揺
動アーム(7)が軸支さセてあり、その一側下部にはワ
ーク(W)を着肌可能とずる保持装置(8)が上部側の
モータ(9)により駆動可能に位置させてある。そして
、保持装置(8)とモータ(9)との間には加圧力調整
機00)が介装してある。圧力調整機00)は研摩初期
と研摩終期とでワーク(W)の研摩砥石(3)に対する
加圧力が変化するよう保持装置(8)を昇降動さーQる
もので、ワーク(W)には研摩初期に研摩終期より高め
の加工圧が加えられて短時間で所定寸法近くまでの荒研
摩が行われ、研摩終期には加工圧が減圧されて仕上精度
の高い精密仕上げが可能とされている。(11)は研摩
砥石(3)の一側に下端のツルーイングドレッシング用
の修正砥石02)が臨むように、機台(1)の側壁03
)に昇降動自在に設けたツルーイングドレッシング装置
で、該ツルーイングドレッシング装置(II)は、第3
図、第4図に示すように、側壁03)に固定したブラケ
ソト(+4)に取付けられた昇降装置05)を備えてい
る。昇降装置05)はブラケッ+− 04)上に設けた
モータ00と、これにより回転可能とされて軸支された
縦方向の送りねし0′7)とよりなり、該送りねじ07
1にはナットα8)を螺着してこれに筒状の昇降ブラケ
ッl− 09)が一体状として取付けられ、その上端面
は球面受座G![11に形威してある。そして、球面受
座C2@には昇降ブラケット09)に細隙(2l)を残
して遊嵌される砥石保持筒(22)を、その上部フラン
ジ(23)に対応形成された球面座(24)をもって当
接支持させてあり、砥石保持筒(22)には下端に修正
砥石02)を取イ1けた修正砥石軸(27)が縦方向と
して軸受(25)、(26)を介して軸支され、該修正
砥石軸(27)の上端は上部フランジ(23)上に設け
たモータ(28)の駆動軸と連結されている。また、砥
石保持筒(22)に設けた下部フランジ(29)の下端
面には3個の調節ポル} (30)が螺挿してあり、そ
れぞれの上端は昇降ブラケツl− 09)の下端面に当
接させて砥石保持筒(22)を該昇降ブラケット09)
に対し固定保持させている。そして、この調節ボルト(
30)のそれぞれの突出長さをiff Iffすると、
砥石保持筒(22)は細隙(21)の存在によりその球
面座(24)の球面受座12lに対する保合部を中心と
して昇降ブラケット09)内で揺動し、修正砥石軸(2
7)の垂直方向に対する傾きが変化して下端の修正砥石
02)の水平度調整が行われる。
(作用)
このような研摩装置において、各調節ボル1・(30)
の調整により修正砥石02)の水平度を所定の状態に保
持させておき、まず、モータ(5)により研摩砥石(3
)を回転駆動したのち、機台(1)における揺動アーム
(7)の保持装N(8)を該揺動アーム(7)の揺動に
よりワーク(W)の・供給位置に停止させてこれにワー
ク(旧を装着し、次いで、保持装置(8)を揺動アーム
(7)の作動により研摩砥石(3)の上方まで回動させ
る。次に、加圧力調整機00)を作動させてモータ(9
)により回転しているワーク(旧を所定の圧力で研摩面
(4)へ圧接し、多段階に加圧力を調整して図示されな
い導管からの研削液の供給の下に研摩作業を行う。この
ようにしてワーク(W)の研摩が終了したら、加圧力調
整機0(I)の作動を停止するとともにモータ(9)も
停止し、次いで、揺動アーム(7)により保持装置(8
)をワーク(W)の搬出位置八回動停止させて処理され
たワーク(W)を取り外す。その後、再び揺動アーム(
7)により保持装W(8)をワーク(−)の供給位置へ
回動停止させ、あらかじめ待機させてある次のワーク(
W)を保持装置(8)へ装着する。以上のワーク(W)
の着脱の間にツルーイングドレッシング装置(11)に
おける昇降装置05)のモータ0ωを駆動して送りねし
07)を回転させ、ナッl− 08)を介して砥石保持
筒(22)を下降させるとともに、士−夕(28)を駆
動して修正砥石軸(27)の下端の修正砥石02)を回
転させる。そして、修正砥石02)を昇降装置05)の
調整により研摩面(4)へ所定の加圧力で即し付ければ
、この研摩面(4)はワーク(W)の研摩により生した
目詰まりや偏摩耗等が修正されて最初の状態に復元され
る。そして、所定の修正が絆了したら、昇降装置09の
モータ06)を逆回転させて砥石保持筒(22)を元の
位置へ上昇させることにより修正砥石02)を研摩面(
4)上より離肌さ・已て待機させる。修正砥石02)の
上昇と共にワーク(旧を保持して待機している揺動アー
ム(7)が回動して次のワーク(W)を研摩砥石(3)
上へ移動させ、前記の作動が繰り返される。なお、ワー
ク加工において、ワーク(旧の仕上面精度を高めるとと
もに寸法精度を高めて研摩砥石(3)を代えることなく
最終的な仕−1二げも行えるようになっており、また、
研摩砥石(3)としてダイヤモンド等の超砥粒を使用し
た場合は、修正砥石02)は下降させたまま上昇させず
にそのままの位置で待機させ、逐次下降のみを繰り返せ
ばよい。
の調整により修正砥石02)の水平度を所定の状態に保
持させておき、まず、モータ(5)により研摩砥石(3
)を回転駆動したのち、機台(1)における揺動アーム
(7)の保持装N(8)を該揺動アーム(7)の揺動に
よりワーク(W)の・供給位置に停止させてこれにワー
ク(旧を装着し、次いで、保持装置(8)を揺動アーム
(7)の作動により研摩砥石(3)の上方まで回動させ
る。次に、加圧力調整機00)を作動させてモータ(9
)により回転しているワーク(旧を所定の圧力で研摩面
(4)へ圧接し、多段階に加圧力を調整して図示されな
い導管からの研削液の供給の下に研摩作業を行う。この
ようにしてワーク(W)の研摩が終了したら、加圧力調
整機0(I)の作動を停止するとともにモータ(9)も
停止し、次いで、揺動アーム(7)により保持装置(8
)をワーク(W)の搬出位置八回動停止させて処理され
たワーク(W)を取り外す。その後、再び揺動アーム(
7)により保持装W(8)をワーク(−)の供給位置へ
回動停止させ、あらかじめ待機させてある次のワーク(
W)を保持装置(8)へ装着する。以上のワーク(W)
の着脱の間にツルーイングドレッシング装置(11)に
おける昇降装置05)のモータ0ωを駆動して送りねし
07)を回転させ、ナッl− 08)を介して砥石保持
筒(22)を下降させるとともに、士−夕(28)を駆
動して修正砥石軸(27)の下端の修正砥石02)を回
転させる。そして、修正砥石02)を昇降装置05)の
調整により研摩面(4)へ所定の加圧力で即し付ければ
、この研摩面(4)はワーク(W)の研摩により生した
目詰まりや偏摩耗等が修正されて最初の状態に復元され
る。そして、所定の修正が絆了したら、昇降装置09の
モータ06)を逆回転させて砥石保持筒(22)を元の
位置へ上昇させることにより修正砥石02)を研摩面(
4)上より離肌さ・已て待機させる。修正砥石02)の
上昇と共にワーク(旧を保持して待機している揺動アー
ム(7)が回動して次のワーク(W)を研摩砥石(3)
上へ移動させ、前記の作動が繰り返される。なお、ワー
ク加工において、ワーク(旧の仕上面精度を高めるとと
もに寸法精度を高めて研摩砥石(3)を代えることなく
最終的な仕−1二げも行えるようになっており、また、
研摩砥石(3)としてダイヤモンド等の超砥粒を使用し
た場合は、修正砥石02)は下降させたまま上昇させず
にそのままの位置で待機させ、逐次下降のみを繰り返せ
ばよい。
(発明の効果)
本発明は前記説明によって明らかなように、研摩砥石の
研摩面がワーク1個の研摩毎にツルーイングドレッシン
グ用の修正砥石により修正されるので、研摩面の目潰れ
や目詰まり等の切れ味低下を起こす原因及び偏摩耗の発
生等により生ずる研摩面形状の変形等がその都度修正除
去され、何万個加工しても各ワークは常時同条件の最良
状態で研摩されることとなってその仕上面はいずれも同
一の精度の高い面粗さ、平坦度が得られ、極めて高い再
現性と加工性が維持されて精密部品の連続加工及び完全
自動化が可能となる。
研摩面がワーク1個の研摩毎にツルーイングドレッシン
グ用の修正砥石により修正されるので、研摩面の目潰れ
や目詰まり等の切れ味低下を起こす原因及び偏摩耗の発
生等により生ずる研摩面形状の変形等がその都度修正除
去され、何万個加工しても各ワークは常時同条件の最良
状態で研摩されることとなってその仕上面はいずれも同
一の精度の高い面粗さ、平坦度が得られ、極めて高い再
現性と加工性が維持されて精密部品の連続加工及び完全
自動化が可能となる。
従って、本発明は回転する研摩砥石の研摩面にワークを
押し付けて研摩を行うとともに該研摩面にツルーイング
ドレッシング用の修正砥石を押し付けてワーク研摩によ
り変化した研摩面の修正を行う従来の研摩方法における
問題点を解決できるものとして業界の発展に寄与すると
ころ極めて大きいものがある。
押し付けて研摩を行うとともに該研摩面にツルーイング
ドレッシング用の修正砥石を押し付けてワーク研摩によ
り変化した研摩面の修正を行う従来の研摩方法における
問題点を解決できるものとして業界の発展に寄与すると
ころ極めて大きいものがある。
第1図は本発明を実施する装置の一例を示す正面図、第
2図は同しく一部切欠側面図、第3図は同じく一部切欠
平面図、第4図は同じくツルーイングドレッシング装置
部分の一部切欠側面図である。 (3):研摩砥石、(4):研摩面、Q2)修正砥石。
2図は同しく一部切欠側面図、第3図は同じく一部切欠
平面図、第4図は同じくツルーイングドレッシング装置
部分の一部切欠側面図である。 (3):研摩砥石、(4):研摩面、Q2)修正砥石。
Claims (1)
- 回転する研摩砥石の研摩面にワークを押し付けて研摩を
行うとともに該研摩面にツルーイングドレッシング用の
修正砥石を押し付けてワーク研摩により変化した研摩面
の修正を行う研摩方法において、ワーク1個の研摩終了
毎に前記修正砥石を研摩面へ押し付けて該研摩面の修正
を行うようにしたことを特徴とする研摩方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1189135A JPH0355162A (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 研摩方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1189135A JPH0355162A (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 研摩方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0355162A true JPH0355162A (ja) | 1991-03-08 |
Family
ID=16235996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1189135A Pending JPH0355162A (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 研摩方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0355162A (ja) |
-
1989
- 1989-07-21 JP JP1189135A patent/JPH0355162A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6419443B2 (en) | Glass product machining apparatus | |
| US5295331A (en) | Method of chamfering semiconductor wafer | |
| JPH09103954A (ja) | ポリシング装置 | |
| JPWO2000067950A1 (ja) | 両面同時研削方法および両面同時研削盤並びに両面同時ラップ方法および両面同時ラップ盤 | |
| KR100831148B1 (ko) | 대구경 공작물의 이엘아이디 경면 연삭장치 및 그 방법 | |
| JP3290235B2 (ja) | 研摩方法及び研摩装置 | |
| US5010692A (en) | Polishing device | |
| JP2019217611A (ja) | 研削砥石の目立て方法及び目立て用ウェーハ | |
| JPH09168953A (ja) | 半導体ウェーハのエッジ研摩方法及び装置 | |
| JPH0355162A (ja) | 研摩方法 | |
| JP3630950B2 (ja) | 球面レンズの製造方法 | |
| JPH0335066B2 (ja) | ||
| US4839992A (en) | Polishing device | |
| JPH0511959Y2 (ja) | ||
| JPH06246608A (ja) | 心なし研削方法およびその装置 | |
| JP2901875B2 (ja) | 超砥粒研削ホイールのツルーイング方法 | |
| JPH06262505A (ja) | 面取り砥石車及びそれを用いた面取り加工装置 | |
| JPH0425365A (ja) | 電解ドレッシング研削装置 | |
| JPH0675822B2 (ja) | 研磨方法及びその装置 | |
| JP2000218530A (ja) | 平面研削盤 | |
| JPH0650131Y2 (ja) | 研摩装置 | |
| JPS62213954A (ja) | 硬脆材の外周面研削方法およびその装置 | |
| JPH01164557A (ja) | 研摩装置 | |
| JP3322127B2 (ja) | 縦型nc研削盤 | |
| JPH04787B2 (ja) |