JPH0356673A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は薄膜抵抗体等の成膜を行う蒸着装置に関する。

従来の技術 従来のこの種の蒸着装置は第４図のような運転方法をと
っていた。

すなわち真空チャンバー１内において、材料２を蒸発さ
せ、基板３に蒸着させる。このとき水晶振動子を応用し
た膜厚計５により、戒膜速度と最終膜厚を管理するよう
になっている。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような方式では合金の蒸着膜を得よ
うとする場合、合金成分の平衡蒸気圧と質量が異なるた
め、もとの材料の組成と一致しない。しかも、蒸発によ
って時間とともに合金の組成が変わるため、できる薄膜
の組成もまた時間とともに変わり、抵抗体として使用が
難しいという問題点を有していた。

本発明は蒸気問題点に鑑み、合金を蒸着して抵抗体を得
る場合にも、所定の特性を再現性良く得られるようにす
るものである。

課題を解決するための手段 そして上記問題点を解決する本発明の技術的な手段は、
真空チャンバー内に面抵抗を測定する威膜モニタ等のセ
ンサ部を備えて、蒸着を行うものである。

作　　　用 本発明は上記した構成によって、蒸着薄膜の面抵抗を測
定，監視することにより、所定の面抵抗をもった合金薄
膜抵抗の成満が可能となる。

実施例 以下、本発明の一実施例を添付図面にもとづいて説明す
る。

第１図において、真空チャンバー１内に蒸着材料２と基
板３、その間にシャッター４が配置されている。

また、チャンバー内の抵抗センサー６からの信号により
、制御回路７がシャッター駆動用電磁弁１１に接続され
ている。

以上のように構成された蒸着制御回路について、以下第
１図及び第２図を用いてその動作を説明する。蒸着材料
６を加熱蒸発を開始し、蒸着材料表面の酸化物等を除去
した後、シャッター４を開け、基板３に材料２を蒸着し
始める。抵抗センサー６には蒸発金属が指積し、第３図
のように時間とともに、その膜圧が増加するので、抵抗
値が減少する。この抵抗値を制御回路７により計測する
とともに、第２図に示す抵抗センサ６の幅と長さより面
抵抗を計量する。所望の面抵抗が得られた時点で、電磁
弁８に信号を送り、シャッター４を閉し、蒸着を終了す
る。

発明の効果 以上のように本発明は真空蒸着装置において、蒸着モニ
タとして面抵抗測定装置を設けることにより、蒸気圧の
異なる合金を蒸着して、所望の電気特性を持つ薄膜抵抗
体を作製することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における真空蒸着装置のブロ
ック図、第２図は抵抗センサーの要部斜視図、第３図は
面抵抗と時間との関係図、第４図は従来の真空蒸着装置
のブロック図である。 ６・・・・・・抵抗センサー、７・・・・・・制御回路
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空を維持した密閉室のチャンバーと、チャンバー内に
   設けられた蒸発可能な材料と、この材料と対向して設け
   られ、蒸発した材料の蒸着膜を形成可能な対象部と、こ
   の対象部と材料との間に設けられた開閉可能なシャッタ
   ー部と、このシャッター部を開閉可能に制御する制御部
   と、蒸発膜を形成可能で、かつこの蒸発膜の幅と長さよ
   り面対向を算出し、所定値の時、制御部に信号を送信可
   能なセンサ部とを有した蒸着装置。