JPH0360453A - 誘電体磁器組成物 - Google Patents
誘電体磁器組成物Info
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- JPH0360453A JPH0360453A JP1193930A JP19393089A JPH0360453A JP H0360453 A JPH0360453 A JP H0360453A JP 1193930 A JP1193930 A JP 1193930A JP 19393089 A JP19393089 A JP 19393089A JP H0360453 A JPH0360453 A JP H0360453A
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- JP
- Japan
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- main component
- ceramic composition
- dielectric ceramic
- sample
- mgo
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- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、高誘電率を有する鉛系誘電体磁器組成物に関
する。
する。
[従来の技術と発明が解決しようとする課題ゴ釦系誘電
体磁器組成物として、 Pb(Mg Nb ) (Zn1/2Nb2/1/
3 2/3 x 3)、(Fe2/3Wl/3 ) 203 (f!!L
、x+y+z=1) が特開昭59−54666号公報に開示されている。こ
こに開示されている誘電体磁器組成物は比較的低温の7
80℃〜960℃で焼成できる。しかし、この誘電体磁
器組成物の比誘電率は6380〜11820であってさ
ほど高くなく、また絶縁抵抗値及びバイアス特性もよく
ない。
体磁器組成物として、 Pb(Mg Nb ) (Zn1/2Nb2/1/
3 2/3 x 3)、(Fe2/3Wl/3 ) 203 (f!!L
、x+y+z=1) が特開昭59−54666号公報に開示されている。こ
こに開示されている誘電体磁器組成物は比較的低温の7
80℃〜960℃で焼成できる。しかし、この誘電体磁
器組成物の比誘電率は6380〜11820であってさ
ほど高くなく、また絶縁抵抗値及びバイアス特性もよく
ない。
特開昭61−191559号公報には、前述の特開昭5
’)−54666号に開示されている誘電体磁器組成物
に、0.01〜0.35重量%の範囲でMgOを添加す
ることが開示されている。このMgOを添加した誘電体
磁器組成物の焼成温度は870°C〜1000℃であり
、比誘電率は6500〜9010である。
’)−54666号に開示されている誘電体磁器組成物
に、0.01〜0.35重量%の範囲でMgOを添加す
ることが開示されている。このMgOを添加した誘電体
磁器組成物の焼成温度は870°C〜1000℃であり
、比誘電率は6500〜9010である。
特開昭62−31907号公報には、
)O
P b(M g 1/3 N b 2/3 3)O
P b (Z n 11s N b 2/3 3bT
103 から成る100f!量部の主成分と、1.OJ!量部以
下のMgOから戒る副成分とを含む誘電体磁器組成物が
開示されている。この誘電体磁器組成物の焼成温度は1
000°C以上であり、比誘電率は10000〜240
00である。
103 から成る100f!量部の主成分と、1.OJ!量部以
下のMgOから戒る副成分とを含む誘電体磁器組成物が
開示されている。この誘電体磁器組成物の焼成温度は1
000°C以上であり、比誘電率は10000〜240
00である。
ところで、コンデンサの小型化を達成するためには、誘
電体磁器組成物の比誘電率は大きいことが必要であり、
誘電体磁器組成物の絶縁抵抗が高いことが望ましい。ま
た、焼成温度が高くなると、PbOの蒸発量が多くなり
、特性値にバラツキが生じたり、過大設備を必要とした
り、高価なPdを固溶させた電極を用いる必要が生じる
ため、焼成温度はできるだけ低い方が望ましい。
電体磁器組成物の比誘電率は大きいことが必要であり、
誘電体磁器組成物の絶縁抵抗が高いことが望ましい。ま
た、焼成温度が高くなると、PbOの蒸発量が多くなり
、特性値にバラツキが生じたり、過大設備を必要とした
り、高価なPdを固溶させた電極を用いる必要が生じる
ため、焼成温度はできるだけ低い方が望ましい。
そこで、本発明の目的は、850℃以下の温度で焼成す
ることが可能であり、且つ10000以上の比誘電率を
有し、且つ25℃における抵抗率が1011Ω・cm以
上、150℃の抵抗率が1゜10Ω・cm以上であり、
且つtanδが3%以下である誘tt4c磁器組成物を
提供することにある。
ることが可能であり、且つ10000以上の比誘電率を
有し、且つ25℃における抵抗率が1011Ω・cm以
上、150℃の抵抗率が1゜10Ω・cm以上であり、
且つtanδが3%以下である誘tt4c磁器組成物を
提供することにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するための本発明は、l00重量部の主
成分と、0.25〜0,60重量部の副成分としてのM
gOとから成り、前記主成分は、[Pb(Mg N
b )O] 1/3 2/3 3 a [Pb(Zn Nb )O] 1/3 2/3 3 b [p b (F e 2/3 W1/3 ) 03 ]
C[P b T 10 s ] d (但し、aは0.5〜0.8、bは0.14〜0゜35
、Cは0.05〜0.20.dはo、oi〜0.10を
満足する数値)から成ることを特徴とする誘電体磁器組
成物に係わるものである。
成分と、0.25〜0,60重量部の副成分としてのM
gOとから成り、前記主成分は、[Pb(Mg N
b )O] 1/3 2/3 3 a [Pb(Zn Nb )O] 1/3 2/3 3 b [p b (F e 2/3 W1/3 ) 03 ]
C[P b T 10 s ] d (但し、aは0.5〜0.8、bは0.14〜0゜35
、Cは0.05〜0.20.dはo、oi〜0.10を
満足する数値)から成ることを特徴とする誘電体磁器組
成物に係わるものである。
上記組成式において、pbは鉛、Mgはマグネシウム、
Nbはニオブ、Znは亜鉛、Feは鉄、Wはタングステ
ン、]゛1はチタン、0は酸素、a、b、c、dはモル
比を示す数値である。
Nbはニオブ、Znは亜鉛、Feは鉄、Wはタングステ
ン、]゛1はチタン、0は酸素、a、b、c、dはモル
比を示す数値である。
なお、前記主成分におけるNbの一部を30モル%以下
のTa(タンタル)でttnすることが望ましい。
のTa(タンタル)でttnすることが望ましい。
また、前記主成分に対して0.3モル%以下の範囲でM
n O2(酸化マンガン)を添加することが望ましい
。
n O2(酸化マンガン)を添加することが望ましい
。
[作 用]
本発明の誘電体磁器組成物は、
Pb(Mg1/3Nb2/3)03・と、1/3 2
/3 )03と゛ Pb (Zn Nb Pb (Fe2/3 W1/3 ) 03と、P b
T 103と の4成分を含み、更にMgOを含むので、低温焼成か可
能になると共に、高い誘電率と更に高い抵抗率とをるこ
とか可能になる。
/3 )03と゛ Pb (Zn Nb Pb (Fe2/3 W1/3 ) 03と、P b
T 103と の4成分を含み、更にMgOを含むので、低温焼成か可
能になると共に、高い誘電率と更に高い抵抗率とをるこ
とか可能になる。
Nbの一部をTaで置換すると、比誘電率の温度特性を
シフトさせることが可能になる。
シフトさせることが可能になる。
M n O2を添加すると、絶縁抵抗(抵抗率)が高く
なる。
なる。
[実施例]
次に、本発明の実施例(比較例も含む)を説明する。
実施例及び比較例の誘電体磁器組成物は第1表に示す組
成を有する。第1表において、主成分組成比のa、b、
c、dの欄には、 Nb)O] [Pb(M”’1/3 2/3 3 a[Pb(
Zn Nb )O]1/3 2/3
3 b[p b (Fe2/3 W1/3
) 031 C[PbTiO31d で示される主成分の組成式におけるa、b、c、dの値
が示され、MgO過剰添加量の欄には100重量部の主
成分に対する副成分としてのMg。
成を有する。第1表において、主成分組成比のa、b、
c、dの欄には、 Nb)O] [Pb(M”’1/3 2/3 3 a[Pb(
Zn Nb )O]1/3 2/3
3 b[p b (Fe2/3 W1/3
) 031 C[PbTiO31d で示される主成分の組成式におけるa、b、c、dの値
が示され、MgO過剰添加量の欄には100重量部の主
成分に対する副成分としてのMg。
の量が重量部で示され、NbのTa置換量の欄にはNb
の代りに添加するTaの量がモル%で示され、M n
O2添加量の欄には主成分に対するMnO2の添加量が
モル%で示され、Aサイト/Bサイトの捕には主成分を
ABO3のペロブスカイト構造式で示し、AサイトをP
b、BサイトをMg、Nb、Zn、Fe、W、Tiとし
た時のA/Bがモル%で示されている。
の代りに添加するTaの量がモル%で示され、M n
O2添加量の欄には主成分に対するMnO2の添加量が
モル%で示され、Aサイト/Bサイトの捕には主成分を
ABO3のペロブスカイト構造式で示し、AサイトをP
b、BサイトをMg、Nb、Zn、Fe、W、Tiとし
た時のA/Bがモル%で示されている。
試料1llQ1に従う誘電体磁器組成物即ち、[Pb(
Mg Nb )O] 1/3 2/3 3 0.595 [Pb(Zn Nb )0 ]1/3 2
/3 3 0.255 [P b (F e 2/3 W 173 ) 03]
o、 1゜[PbT103] o、os の100重量部の主成分と0.50%重量部のMgo(
副成分)とから成る組成物を得る時には、まず、 Mgoを9.67g、 ZnOを6゜92g、 Nb2O5を75.31g、 Fe2O3を5.32g、 WO3を7.73g それぞれ秤量し、これ等の原料をポリエチレン製ポット
に入れ、ここにエタノールを添加し、ZrO2のボール
を用いて湿式混合し、これを1000℃の温度で2時間
仮焼した。
Mg Nb )O] 1/3 2/3 3 0.595 [Pb(Zn Nb )0 ]1/3 2
/3 3 0.255 [P b (F e 2/3 W 173 ) 03]
o、 1゜[PbT103] o、os の100重量部の主成分と0.50%重量部のMgo(
副成分)とから成る組成物を得る時には、まず、 Mgoを9.67g、 ZnOを6゜92g、 Nb2O5を75.31g、 Fe2O3を5.32g、 WO3を7.73g それぞれ秤量し、これ等の原料をポリエチレン製ポット
に入れ、ここにエタノールを添加し、ZrO2のボール
を用いて湿式混合し、これを1000℃の温度で2時間
仮焼した。
次に、この仮焼物をボールミルで粉砕し、平均粒径を約
0.7μmとし、これにTiO2の粉末を4.00gP
b3O4の粉末を233.09g配合し、この配合物を
ボールミルによって湿式混合した後、740℃の温度で
3時間仮焼して仮焼原料を得た。
0.7μmとし、これにTiO2の粉末を4.00gP
b3O4の粉末を233.09g配合し、この配合物を
ボールミルによって湿式混合した後、740℃の温度で
3時間仮焼して仮焼原料を得た。
次に、この仮焼原料をボールミルによって湿式粉砕し、
乾燥した後、有機バインダーを加えて造粒し、この造粒
物を直径9.8mm、厚さ0.6mmの円板状に500
kg/cm2の圧力で加圧成形して成形物を得た。
乾燥した後、有機バインダーを加えて造粒し、この造粒
物を直径9.8mm、厚さ0.6mmの円板状に500
kg/cm2の圧力で加圧成形して成形物を得た。
次に、この成形物をジルコニアセッター圭に載せて空気
中で850℃の温度で焼成した。
中で850℃の温度で焼成した。
次に、焼成後の磁器素体の両型面に銀ペーストを塗布し
て焼付けることによって一対のコンデンサ電極を作り、
25℃における比誘電率ε 、25°Cにおけるtan
δ、25℃における抵抗率ρ25.150℃における抵
抗率ρ を測定したところ、50 ε、は16550、tanδは2.9、ρ25はl。
て焼付けることによって一対のコンデンサ電極を作り、
25℃における比誘電率ε 、25°Cにおけるtan
δ、25℃における抵抗率ρ25.150℃における抵
抗率ρ を測定したところ、50 ε、は16550、tanδは2.9、ρ25はl。
210
2×10 Ω−cm、ρ150は1.3X10 Ω−
cmであった。
cmであった。
なお、比誘電率ε 、tanδは、周波数1に!Iz、
「 電圧IV(実効値〉、温度25℃の条件で測定した。
「 電圧IV(実効値〉、温度25℃の条件で測定した。
また、抵抗率は、コンデンサに100Vの電圧を20秒
間印加した後に抵抗値を求め、この抵抗値から算出した
。
間印加した後に抵抗値を求め、この抵抗値から算出した
。
試料11Q2.3.6〜9.11.12.16〜26.
32.36.37.45〜47においても、主成分の組
成式におけるa、b、c、d又は副成分のMgOを変え
た他は、試料NO,1と同一の方法で磁器コンデンサを
作り、同一の方法で特性を測定したところ、第2表に示
す結果が得られた。
32.36.37.45〜47においても、主成分の組
成式におけるa、b、c、d又は副成分のMgOを変え
た他は、試料NO,1と同一の方法で磁器コンデンサを
作り、同一の方法で特性を測定したところ、第2表に示
す結果が得られた。
また、請求項2に従う誘電体磁器組成物を得るために、
試料NQ4.5.10.13.14.15.27〜31
.38〜42に示すようにTaを添加した。即ち、Mg
O,ZnO1Nb205、Fe2O3、WO3、′Fa
205の原料混合物の仮焼物を試料Nα1の場合と同一
の方法で作り、この仮焼物にT 102とPb3O4を
加えて試料Nα1と同一方法で仮焼し、しかる後、これ
を使用して試料騎1と同様な成形物を作り、これを焼成
する。
試料NQ4.5.10.13.14.15.27〜31
.38〜42に示すようにTaを添加した。即ち、Mg
O,ZnO1Nb205、Fe2O3、WO3、′Fa
205の原料混合物の仮焼物を試料Nα1の場合と同一
の方法で作り、この仮焼物にT 102とPb3O4を
加えて試料Nα1と同一方法で仮焼し、しかる後、これ
を使用して試料騎1と同様な成形物を作り、これを焼成
する。
なお、NbをTaで置換した場合における主成分の組成
比の欄のa、bはTaを含む組成比で示されている また、請求項3に従う誘電体磁器組成物を得るために、
試料Nα33.34.35.39〜43に示すようにM
n O2を添加し、試料No、 1と同一の方法で磁
器コンデンサを作り、同一の方法で電気的特性を測定し
た。なお、M n O2はMgO,ZnO,Nb O、
Fe2O3、WO3と同時に5 仮焼した。
比の欄のa、bはTaを含む組成比で示されている また、請求項3に従う誘電体磁器組成物を得るために、
試料Nα33.34.35.39〜43に示すようにM
n O2を添加し、試料No、 1と同一の方法で磁
器コンデンサを作り、同一の方法で電気的特性を測定し
た。なお、M n O2はMgO,ZnO,Nb O、
Fe2O3、WO3と同時に5 仮焼した。
第1表及び第2表から明らかなように、本発明に従う誘
電体磁器組成物によれば、比誘電率εrが1oooo以
上、tanδが3%以下、25℃の0 抗率ρ150が10 Ω・cm以上の電気的特性を得る
ことができる。また、1000°C以下での焼成が可能
になる。
電体磁器組成物によれば、比誘電率εrが1oooo以
上、tanδが3%以下、25℃の0 抗率ρ150が10 Ω・cm以上の電気的特性を得る
ことができる。また、1000°C以下での焼成が可能
になる。
一方、本発明の組成範囲に属さない試料Nα2.3.7
.8.19.20.23.24.25.26.32.4
3.45は上記の所望特性を得ることができない、従っ
て、これ等は本発明の比較例である。
.8.19.20.23.24.25.26.32.4
3.45は上記の所望特性を得ることができない、従っ
て、これ等は本発明の比較例である。
次に各成分の限定理由を説明する。
aが0.5よりも小さいと、試料に8.19.20.2
4.25に示すように、比誘電率が10000よりも小
さくなるか又は焼結しない、一方、aが0.8よりも大
きいと、試f48Q46に示すように比誘電率が1oo
ooよりも小さくなる。従って、aの好ましい範囲はO
15〜0,8である。
4.25に示すように、比誘電率が10000よりも小
さくなるか又は焼結しない、一方、aが0.8よりも大
きいと、試f48Q46に示すように比誘電率が1oo
ooよりも小さくなる。従って、aの好ましい範囲はO
15〜0,8である。
bの値が0.14の場合には試料馳45に示すように所
望の特性を得ることができるが、bの値が0.14末溝
の場合には試料NQ45に示すように比誘電率がtoo
oo未溝になる。また、bの値が0,35の場合には試
料11Q13.38に示すように所望の特性を得ること
ができるが、bの値がこれよりも大きくなると所望の特
性を得ることができなくなる。従って、bの好ましい範
囲は0゜14〜0.35である。
望の特性を得ることができるが、bの値が0.14末溝
の場合には試料NQ45に示すように比誘電率がtoo
oo未溝になる。また、bの値が0,35の場合には試
料11Q13.38に示すように所望の特性を得ること
ができるが、bの値がこれよりも大きくなると所望の特
性を得ることができなくなる。従って、bの好ましい範
囲は0゜14〜0.35である。
Cの値が0.05及び0.20の場合には試料l4Q1
7.18.21に示すように所望の特性を得ることがで
きるが、試料間25に示すようにCが0.3になると、
比誘電率及び150℃の抵抗率が所望特性よりも悪くな
る。またCが0.05よりも小さくなると、低温焼成が
不可能になる。従って、Cの好ましい範囲は0.05〜
0,20である。
7.18.21に示すように所望の特性を得ることがで
きるが、試料間25に示すようにCが0.3になると、
比誘電率及び150℃の抵抗率が所望特性よりも悪くな
る。またCが0.05よりも小さくなると、低温焼成が
不可能になる。従って、Cの好ましい範囲は0.05〜
0,20である。
dの値がOの場合は試料NQ32に示すように比誘電率
がt oooo未満となるが、dの値が0゜Olの場合
は試料NQ16.18に示すように所望特性を得ること
ができる。またdの値が0.1の場合には試料No、
38に示すように所望特性を得ることができるが、dの
値が0,2の場合には試料恥7に示すように比誘電率が
目標値よりも大幅に小さくなる。従って、dの好ましい
範囲は0,01〜0.10である。
がt oooo未満となるが、dの値が0゜Olの場合
は試料NQ16.18に示すように所望特性を得ること
ができる。またdの値が0.1の場合には試料No、
38に示すように所望特性を得ることができるが、dの
値が0,2の場合には試料恥7に示すように比誘電率が
目標値よりも大幅に小さくなる。従って、dの好ましい
範囲は0,01〜0.10である。
Mgoの過剰添加量が0.15重量部の場合には試料N
Q3に示すように焼結しないが、0.25重量部になる
と試料ぬ4に示すように所望の特性を得ることができる
。また、MgOの量が0.75重量部の場合は試料Nα
6.43に示すように所望特性が得られるが、1.00
重量部になると試料NQ44に示すように比誘電率、t
anδ、150°Cの抵抗率が所望特性よりも悪くなる
。従って、Mgoの好ましい範囲は0.25〜0.75
重量部である。
Q3に示すように焼結しないが、0.25重量部になる
と試料ぬ4に示すように所望の特性を得ることができる
。また、MgOの量が0.75重量部の場合は試料Nα
6.43に示すように所望特性が得られるが、1.00
重量部になると試料NQ44に示すように比誘電率、t
anδ、150°Cの抵抗率が所望特性よりも悪くなる
。従って、Mgoの好ましい範囲は0.25〜0.75
重量部である。
Taの量が試料恥4.5.10.13.14.15.2
7.28.30.31.37.38.39.40.41
に示すように30モル%以下の場合には所望の特性を得
ることができる。このTaはコンデンサの温度特性のシ
フタとして使用される。図面の特性線A、B、Cは試料
NG12.31.32.27の誘電率の温度特性を示す
、これから明らかなようにTaの量を増やすに従って特
性線が左開にシフトする。このTaの量を30モル%よ
りも多くすると、比誘電率が低下するので、30モル%
以下にすることが望ましい。
7.28.30.31.37.38.39.40.41
に示すように30モル%以下の場合には所望の特性を得
ることができる。このTaはコンデンサの温度特性のシ
フタとして使用される。図面の特性線A、B、Cは試料
NG12.31.32.27の誘電率の温度特性を示す
、これから明らかなようにTaの量を増やすに従って特
性線が左開にシフトする。このTaの量を30モル%よ
りも多くすると、比誘電率が低下するので、30モル%
以下にすることが望ましい。
M n O2の添加量が零の場合であっても所望の特性
が得られる。しかし、試料恥33.34.35に示すよ
うに0.3モル%以下の範囲で添加すると、抵抗率が高
くなる。なお、MnO□が0゜3モル%よりも多くなる
と比誘電率がi ooo。
が得られる。しかし、試料恥33.34.35に示すよ
うに0.3モル%以下の範囲で添加すると、抵抗率が高
くなる。なお、MnO□が0゜3モル%よりも多くなる
と比誘電率がi ooo。
よりも小さくなる。従って、M n O2の好ましい添
加量は0゜3モル%以下である。
加量は0゜3モル%以下である。
Aサイト/Bサイトの比は抵抗率の低下及び絶縁破壊電
圧の低下を防止する観点から1.01〜1.04の範囲
にすることが望ましい。
圧の低下を防止する観点から1.01〜1.04の範囲
にすることが望ましい。
[変形例]
本発明は上述の実施例に限定されるものでなく、例えば
次の変形が可能なものである。
次の変形が可能なものである。
(1) 実施例では焼成温度が850°Cであるが、約
700°C〜1000℃の範囲の種々の温度にすること
ができる。
700°C〜1000℃の範囲の種々の温度にすること
ができる。
(2) 主成分の原料を酸化物以外の炭酸化物、水酸化
物等にすることができる。
物等にすることができる。
(3) 積層コンデンサにも適用可能である。
[発明の効果コ
各請求項の発明によって850°C以下で焼成可能であ
り、比誘電率が10000以上、tanδが3%以下、
25℃の抵抗率が1011Ω・cm以上、150°Cの
抵抗率が1010Ω・cm以上の誘電体磁器組成物を提
供することができる。
り、比誘電率が10000以上、tanδが3%以下、
25℃の抵抗率が1011Ω・cm以上、150°Cの
抵抗率が1010Ω・cm以上の誘電体磁器組成物を提
供することができる。
図面はT aによって比誘電率の温度特性が変化するこ
とを示ず図である。
とを示ず図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 [1]100重量部の主成分と、0.25〜0.60重
量部の副成分としてのMgOとから成り、 前記主成分は、 [Pb(Mg_1_/_3Nb_2_/_3)O_3]
_a−[Pb(Zn_1_/_3Nb_2_/_3)O
_3]_b−[Pb(Fe_2_/_3W_1_/_3
)O_3]_c−[PbTiO_3]_d (但し、aは0.5〜0.8、bは0.14〜0.35
、cは0.05〜0.20、dは0.01〜0.10を
満足する数値) から成ることを特徴とする誘電体磁器組成物。 [2]100重量部の主成分と、0.25〜0.75重
量部の副成分としてのMgOとから成り、 前記主成分は、 [Pb(Mg_1_/_3Nb_2_/_3)O_3]
_a−[Pb(Zn_1_/_3Nb_2_/_3)O
_3]_b−[Pb(Fe_2_/_3W_1_/_3
)O_3]_c−[PbTiO_3]_d (但し、aは0.5〜0.8、bは0.14〜0.35
、cは0.05〜0.20、dは0.01〜0.10を
満足する数値)から成り、 且つ前記主成分におけるNbの一部が30モル%以下の
Taで置換されていることを特徴とする誘電体磁器組成
物。 [3]更に、前記主成分に対して0.3モル%以下のM
nO_2を添付したことを特徴とする請求項1又は2記
載の誘電体磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1193930A JPH07100622B2 (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1193930A JPH07100622B2 (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0360453A true JPH0360453A (ja) | 1991-03-15 |
| JPH07100622B2 JPH07100622B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=16316110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1193930A Expired - Lifetime JPH07100622B2 (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07100622B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007084424A (ja) * | 2005-08-23 | 2007-04-05 | Canon Inc | ペブロスカイト型酸化物、これを用いた圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及びペブロスカイト型酸化物の製造方法 |
-
1989
- 1989-07-28 JP JP1193930A patent/JPH07100622B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007084424A (ja) * | 2005-08-23 | 2007-04-05 | Canon Inc | ペブロスカイト型酸化物、これを用いた圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及びペブロスカイト型酸化物の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07100622B2 (ja) | 1995-11-01 |
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