JPH0363935U - - Google Patents

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JPH0363935U
JPH0363935U JP12635689U JP12635689U JPH0363935U JP H0363935 U JPH0363935 U JP H0363935U JP 12635689 U JP12635689 U JP 12635689U JP 12635689 U JP12635689 U JP 12635689U JP H0363935 U JPH0363935 U JP H0363935U
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socket
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attached
probe
card
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る特性測定装置の実施例を
示す要部平面図、第２図はペレツトウエーハの平
面図、第３図は従来の特性測定装置の一具体例を
示す概略側面図、第４図と第５図は第３図装置の
要部であるプローブカードの要部側断面図と平面
図である。 ６……プローブカード、７……ソケツト、８…
…情報記録部、９……記録情報取り出し部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハに形成された多数のペレツトの
    各々に配設した１又は多数の電極パツドに対応す
    る測定ピンを下方に植設したプローブカードと、
    上記プローブカードの固定用ソケツトと、上記ソ
    ケツトに接続した計測器とを有し、上記測定ピン
    を各ペレツト毎の電極パツドに一度に接触させて
    ペレツトの電気的特性を測定する装置において、 上記プローブカード及びソケツトに位置決めし
    てそれぞれ付加された情報記録部及びその取り出
    し部と、上記計測器に付加された上記情報記録部
    の読取機構とを具備したことを特徴とする特性測
    定装置。
JP12635689U 1989-10-26 1989-10-26 Pending JPH0363935U (ja)

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JP12635689U JPH0363935U (ja) 1989-10-26 1989-10-26

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JPH0363935U true JPH0363935U (ja) 1991-06-21

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JP12635689U Pending JPH0363935U (ja) 1989-10-26 1989-10-26

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