JPH0428442U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0428442U
JPH0428442U JP6869890U JP6869890U JPH0428442U JP H0428442 U JPH0428442 U JP H0428442U JP 6869890 U JP6869890 U JP 6869890U JP 6869890 U JP6869890 U JP 6869890U JP H0428442 U JPH0428442 U JP H0428442U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
support substrate
probes
wiring
insulating ring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6869890U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP6869890U priority Critical patent/JPH0428442U/ja
Publication of JPH0428442U publication Critical patent/JPH0428442U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の構造説明図、第２図は本考案
の一実施例を説明する断面図、第３図は本考案の
同時測定型の実施例を説明する平面図、第４図は
従来例のプローブカードの平面図、第５図ａ〜ｄ
は従来例のプローブカードの断面図である。 図において、１はプローブ、２は支持基板、２
Ｒは支持基板の内周に設けられた絶縁リング、２
Ｅはプローブを固定するエポキシ樹脂層、２Ｂは
プローブを固定するブレード、２Ｗはプリント配
線、３はチツプ、４はパツド、である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 プローブ１と、支持基板２とを有し、 該プローブ１は該支持基板２に支持され、測定
    しようとするパツドに接触できるように先端が自
    由端となり、 該支持基板２は中空部を有し、両面に該プロー
    ブ１及び測定器に接続する配線２Ｗと、該中空部
    内周に絶縁リング２Ｒが設けられ、 該絶縁リング２Ｒは上部および下部に内側下方
    向に向かつて傾斜する斜面を有し、該両斜面にそ
    れぞれ該プローブ１が固定され、該プローブはそ
    れぞれ該支持基板２の表面および裏面の該配線２
    Ｗに接続されていることを特徴とするウエハ試験
    用プローブカード。
JP6869890U 1990-06-28 1990-06-28 Pending JPH0428442U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6869890U JPH0428442U (ja) 1990-06-28 1990-06-28

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6869890U JPH0428442U (ja) 1990-06-28 1990-06-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0428442U true JPH0428442U (ja) 1992-03-06

Family

ID=31603357

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6869890U Pending JPH0428442U (ja) 1990-06-28 1990-06-28

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0428442U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008093465A1 (ja) * 2007-01-29 2008-08-07 Advantest Corporation 試験装置およびプローブカード

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008093465A1 (ja) * 2007-01-29 2008-08-07 Advantest Corporation 試験装置およびプローブカード
US7960991B2 (en) 2007-01-29 2011-06-14 Advantest Corporation Test apparatus and probe card

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0323368U (ja)
JPS62170543U (ja)
JPS5868036U (ja) 半導体集積回路測定装置
JPS60183442U (ja) 集積回路測定治具
JPS62131438U (ja)
JPS6336042U (ja)
JPH0361338U (ja)
JPS6457644U (ja)
JPS58148933U (ja) 集積回路測定装置
JPH0390081U (ja)
JPH01180675U (ja)
JPS63276U (ja)
JPS5915907U (ja) 三次元測定器用複数測定子交換装置
JPS63180931U (ja)
JPS6348165U (ja)
JPS62134244U (ja)
JPH0430734U (ja)
JPS63178326U (ja)
JPS61136542U (ja)
JPH0363935U (ja)
JPH0470746U (ja)
JPS6393576U (ja)
JPS645174U (ja)
JPS61207031U (ja)
JPS61102042U (ja)