JPH0364038A - 半導体試験装置 - Google Patents
半導体試験装置Info
- Publication number
- JPH0364038A JPH0364038A JP20065389A JP20065389A JPH0364038A JP H0364038 A JPH0364038 A JP H0364038A JP 20065389 A JP20065389 A JP 20065389A JP 20065389 A JP20065389 A JP 20065389A JP H0364038 A JPH0364038 A JP H0364038A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- testing device
- semiconductor testing
- semiconductor
- power
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体試験装置内の温度上昇を自動的に検
出できるようにした半導体試験装置に関するものである
。
出できるようにした半導体試験装置に関するものである
。
従来の半導体試験装置は、半導体試験装置内の温度上昇
の検出が出来なかった。
の検出が出来なかった。
上記のような構成においては、半導体試験装置内の温度
が何らかの原因で上昇したときに何ら温度上昇を検出で
きないため、回路の故障につながったり、温度上昇の発
見がおくれると火災になるおそれもあった。この発明は
、上記のような問題点を解決するためになされたもので
、半導体試験装置内の温度上昇が生じた場合に自動的に
検出し、半導体試験装置の電源を切ると伴に警音を発し
、作業者に知らしめるようにした半導体試験装置を得る
ことを目的とする。
が何らかの原因で上昇したときに何ら温度上昇を検出で
きないため、回路の故障につながったり、温度上昇の発
見がおくれると火災になるおそれもあった。この発明は
、上記のような問題点を解決するためになされたもので
、半導体試験装置内の温度上昇が生じた場合に自動的に
検出し、半導体試験装置の電源を切ると伴に警音を発し
、作業者に知らしめるようにした半導体試験装置を得る
ことを目的とする。
この発明に係る半導体試験装置は、半導体試験装置内に
ツェナダイオードを用いることにより温度変化を検出で
きる温度変化検出用回路を形成し、温度上昇時に警音を
発生するとともに、上記半導体試験装置内の電源を自動
的に切るようにしたものである。
ツェナダイオードを用いることにより温度変化を検出で
きる温度変化検出用回路を形成し、温度上昇時に警音を
発生するとともに、上記半導体試験装置内の電源を自動
的に切るようにしたものである。
この発明における半導体試験装置は、半導体試験装置内
の温度がある規定温度以上の場合は、警音を発生し、電
源を遮断する。
の温度がある規定温度以上の場合は、警音を発生し、電
源を遮断する。
第１図は、この発明の一実施例による半導体試験装置の
要部を示すブロック図である。図において、（１）は温
度検出用のツェナーダイオード、（２）は電圧比較回路
、（３）は記憶回路、（４〉は警音発生器、（５）は電
源ＯＮ％ＯＦＦ制御回路、（６）は電源、（７）はリセ
ットスイッチ、（８）は温度変化検出用回路である。
要部を示すブロック図である。図において、（１）は温
度検出用のツェナーダイオード、（２）は電圧比較回路
、（３）は記憶回路、（４〉は警音発生器、（５）は電
源ＯＮ％ＯＦＦ制御回路、（６）は電源、（７）はリセ
ットスイッチ、（８）は温度変化検出用回路である。
第２図及び第３図は第１図に示すＡ、Ｂ、Ｃ各点におけ
る信号を示す波形図で、第２図は規定温度時、第３図は
規定温度を超えた場合を示す。
る信号を示す波形図で、第２図は規定温度時、第３図は
規定温度を超えた場合を示す。
次に動作について第２図及び第３図により説明する。通
常の温度（２５℃±３℃）における、ある定電流値での
ツェナーダイオード（１）のツェナー電圧をｖｚとし、
ある規定温度（上記通常温度よりも高くなるように規定
する）時におけるツェナー電圧をＶＺＴとすると、ＶＺ
Ｔ＝ＶＺ＋（ＶＺＸ１２Ｘ△Ｔ）となる（α＝温度係数
ｍＶ’／Ｃ△Ｔ＝規定温度−通常温度）。基準電圧をｖ
ｓとし、ｖｓとツェナー電圧がＶｚからｖｚ’ｒまでの
間であれば、図中、Ａ点の電圧は”Ｈ”であり、０点は
“Ｈ″となるようにすると、ある規定温度以上になった
とき、ツェナーダイオード（１〉の電圧はＶＺＴを超え
るため、Ａ点は“Ｌ”となり０点も”Ｌ”となるため、
警音発生器（４）を動作させるとともに、ｗｔ源ＯＮ、
ＯＦＦ制御回路（５）が動作し、電源（６）を切るよ
うに構成されている。
常の温度（２５℃±３℃）における、ある定電流値での
ツェナーダイオード（１）のツェナー電圧をｖｚとし、
ある規定温度（上記通常温度よりも高くなるように規定
する）時におけるツェナー電圧をＶＺＴとすると、ＶＺ
Ｔ＝ＶＺ＋（ＶＺＸ１２Ｘ△Ｔ）となる（α＝温度係数
ｍＶ’／Ｃ△Ｔ＝規定温度−通常温度）。基準電圧をｖ
ｓとし、ｖｓとツェナー電圧がＶｚからｖｚ’ｒまでの
間であれば、図中、Ａ点の電圧は”Ｈ”であり、０点は
“Ｈ″となるようにすると、ある規定温度以上になった
とき、ツェナーダイオード（１〉の電圧はＶＺＴを超え
るため、Ａ点は“Ｌ”となり０点も”Ｌ”となるため、
警音発生器（４）を動作させるとともに、ｗｔ源ＯＮ、
ＯＦＦ制御回路（５）が動作し、電源（６）を切るよ
うに構成されている。
以上説明したように、この発明は半導体試験装置の温度
が異常に上昇したときに自動的に電源を切るため１回路
故障を防ぐとともに、温度上昇による火災を未然に防ぐ
とともに警音を発し、異常を早く作業者に知らしめると
いうすぐれた効果がある。
が異常に上昇したときに自動的に電源を切るため１回路
故障を防ぐとともに、温度上昇による火災を未然に防ぐ
とともに警音を発し、異常を早く作業者に知らしめると
いうすぐれた効果がある。
第１図は、この発明の一実施例を示す半導体試験装置の
要部を示すブロック図、第２図及び第３図は第１図に示
すＡ、Ｂ、Ｃ各点における信号を示す波形図で、第２図
は規定温度時、第３図は規定温度を超えた場合を示す。 図において（１）はツェナーダイオード、（２）は電圧
比較回路、（３）は記憶回路、（４）は警音発生器、（
５）は電源ＯＮ、ＯＦＦ制御回路、（６）は電源、（７
）はリセットスイッチ、（８）は温度変化検出用回路で
ある。 なお１図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
要部を示すブロック図、第２図及び第３図は第１図に示
すＡ、Ｂ、Ｃ各点における信号を示す波形図で、第２図
は規定温度時、第３図は規定温度を超えた場合を示す。 図において（１）はツェナーダイオード、（２）は電圧
比較回路、（３）は記憶回路、（４）は警音発生器、（
５）は電源ＯＮ、ＯＦＦ制御回路、（６）は電源、（７
）はリセットスイッチ、（８）は温度変化検出用回路で
ある。 なお１図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体試験装置内にツェナーダイオードを用いた温度変
化検出用回路をそなえ、半導体試験装置内の温度が規定
温度を超えたときに警音を発生させるとともに、半導体
試験装置内の電源を自動的に遮断することを特徴とする
半導体試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20065389A JPH0364038A (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 半導体試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20065389A JPH0364038A (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 半導体試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0364038A true JPH0364038A (ja) | 1991-03-19 |
Family
ID=16427985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20065389A Pending JPH0364038A (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 半導体試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0364038A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04264747A (ja) * | 1991-02-20 | 1992-09-21 | Nec Corp | 半導体集積回路試験装置 |
-
1989
- 1989-08-02 JP JP20065389A patent/JPH0364038A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04264747A (ja) * | 1991-02-20 | 1992-09-21 | Nec Corp | 半導体集積回路試験装置 |
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