JPH0367061U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0367061U JPH0367061U JP12835289U JP12835289U JPH0367061U JP H0367061 U JPH0367061 U JP H0367061U JP 12835289 U JP12835289 U JP 12835289U JP 12835289 U JP12835289 U JP 12835289U JP H0367061 U JPH0367061 U JP H0367061U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- cooling plate
- electromagnet
- power supply
- transported
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
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- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案のマグネトロンスパツタ装置構
成図、第２図は本考案の装置に使用するターゲツ
ト、第３図は本考案の一実施例のターゲツト装着
機構、である。 図において、１……ターゲツト、２……冷却板
、３……電磁石、３′……電磁石の直流電源、４
……スパツター用の直流電源、５……ターゲツト
搬送機構、６……基板、７……基板搬送機構、８
……スパツター室、９……排気系、１０……磁性
体、１１……使用前ターゲツト、１２……使用後
ターゲツト、１３……ストツパー、１４……冷却
管、である。
成図、第２図は本考案の装置に使用するターゲツ
ト、第３図は本考案の一実施例のターゲツト装着
機構、である。 図において、１……ターゲツト、２……冷却板
、３……電磁石、３′……電磁石の直流電源、４
……スパツター用の直流電源、５……ターゲツト
搬送機構、６……基板、７……基板搬送機構、８
……スパツター室、９……排気系、１０……磁性
体、１１……使用前ターゲツト、１２……使用後
ターゲツト、１３……ストツパー、１４……冷却
管、である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ターゲツト１と冷却板２と電磁石３とターゲツ
ト搬送機構５とを有し、 該冷却板２は内部に水冷管１４を有して、該タ
ーゲツト１を冷却するものであり、 該電磁石３はマグネトロンスパツターに必要な
磁場を形成するもので、直流電源４をオン・オフ
することにより、スパツターガンとして作用する
ものであり、 該ターゲツト搬送機構５は使用前のターゲツト
１を使用前格納部より該冷却板３に、また使用後
のターゲツトを該冷却板より使用後格納部に搬送
するものであり、 該ダーゲツト１はその裏面に磁性体１０を埋め
込んで、該電磁石３の電源３′のオン・オフと共
に、該冷却板２に密着・脱着をすることにより、
真空中で該ターゲツト１の交換を可能とすること
を特徴とするスパツター装置のターゲツト装着機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12835289U JPH0367061U (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12835289U JPH0367061U (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367061U true JPH0367061U (ja) | 1991-06-28 |
Family
ID=31676064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12835289U Pending JPH0367061U (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0367061U (ja) |
-
1989
- 1989-11-01 JP JP12835289U patent/JPH0367061U/ja active Pending
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