JPH0367509B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0367509B2 JPH0367509B2 JP58181410A JP18141083A JPH0367509B2 JP H0367509 B2 JPH0367509 B2 JP H0367509B2 JP 58181410 A JP58181410 A JP 58181410A JP 18141083 A JP18141083 A JP 18141083A JP H0367509 B2 JPH0367509 B2 JP H0367509B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- scanning
- laser
- concave
- concave mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 1
Landscapes
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Fax Reproducing Arrangements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光変調されたレーザビームを走査して
感光体表面に潜像を形成し、その潜像をを現像し
てハードコピーとして出力するレーザ記録装置に
関する。
感光体表面に潜像を形成し、その潜像をを現像し
てハードコピーとして出力するレーザ記録装置に
関する。
従来、この種のレーザ記録装置として第1図に
示すものがあつた。図において、1はレーザ光
源、2はハーフミラー3を介して前記レーザ光源
1よりのビームに光変調を与えるための例えば
AOM(音響光学変調器)、4はミラーでハーフミ
ラー3の透過光をそのまま反射させる。5はレー
ザ光源1が出力するレーザビームを反射するため
の回転多面鏡(以下ポリゴンミラーと略す)で、
走査レンズ6を通して1方は記録材料7上を走査
し、他方はミラー8及び9を介してスリツト10
上にレーザビームをを投射する。11は凹面鏡で
前記スリツト10を通過したレーザビームを反射
し受光器12に集光する。13は増幅器、14は
増幅器13の出力信号を波形整形する波形整形
器、15は情報源でAOMドライバ2aに入力さ
れる。
示すものがあつた。図において、1はレーザ光
源、2はハーフミラー3を介して前記レーザ光源
1よりのビームに光変調を与えるための例えば
AOM(音響光学変調器)、4はミラーでハーフミ
ラー3の透過光をそのまま反射させる。5はレー
ザ光源1が出力するレーザビームを反射するため
の回転多面鏡(以下ポリゴンミラーと略す)で、
走査レンズ6を通して1方は記録材料7上を走査
し、他方はミラー8及び9を介してスリツト10
上にレーザビームをを投射する。11は凹面鏡で
前記スリツト10を通過したレーザビームを反射
し受光器12に集光する。13は増幅器、14は
増幅器13の出力信号を波形整形する波形整形
器、15は情報源でAOMドライバ2aに入力さ
れる。
次に動作について説明する。レーザ光源1より
出力さたレーザビームはハーフミラー3を介して
1つはAOM2に入射され、ここで記録材料7へ
の画像データとしての光変調が加えられる。一
方、前記ハーフミラー3を透過したレーザスポツ
トはミラー4にて反射されると前記のようにポリ
ゴンミラー5によつて所定幅の走査光に変えられ
記録用タイミングクロツクを形成するためのスリ
ツト10に導かれる。スリツト10を通過した走
査光は凹面鏡11上に一定の周期でレーザスポツ
トを走らせるが、前記レーザスポツトが受光器1
2に集光されると電気信号としてのタイミングク
ロツクが受光器12より光電変換されて出力さ
れ、後段の増幅器13、波形整形器14を介して
AOMドライバ2aに供給される。AOMドライ
バ2aは、タイミングクロツク信号に同期して情
報源15から入力されるデータをAOM2に与え
るように構成されている。
出力さたレーザビームはハーフミラー3を介して
1つはAOM2に入射され、ここで記録材料7へ
の画像データとしての光変調が加えられる。一
方、前記ハーフミラー3を透過したレーザスポツ
トはミラー4にて反射されると前記のようにポリ
ゴンミラー5によつて所定幅の走査光に変えられ
記録用タイミングクロツクを形成するためのスリ
ツト10に導かれる。スリツト10を通過した走
査光は凹面鏡11上に一定の周期でレーザスポツ
トを走らせるが、前記レーザスポツトが受光器1
2に集光されると電気信号としてのタイミングク
ロツクが受光器12より光電変換されて出力さ
れ、後段の増幅器13、波形整形器14を介して
AOMドライバ2aに供給される。AOMドライ
バ2aは、タイミングクロツク信号に同期して情
報源15から入力されるデータをAOM2に与え
るように構成されている。
従来のレーザ記録装置は以上のようにスリツト
10でのレーザ透過ビームを走査線長分の幅の1
つの凹面鏡で集光し、かつ、1つの受光器で受光
してタイミングクロツクを発生させるようにして
いたので、例えば高解像度の記録を行う場合や、
大サイズの記録材料を使用する場合には、凹面鏡
の収差や製作上の誤差に基因する受光器のビーム
のずれ等からタイミングクロツクの高精度化がむ
ずかしく、それによつて良質の記録は困難である
等の欠点があつた。
10でのレーザ透過ビームを走査線長分の幅の1
つの凹面鏡で集光し、かつ、1つの受光器で受光
してタイミングクロツクを発生させるようにして
いたので、例えば高解像度の記録を行う場合や、
大サイズの記録材料を使用する場合には、凹面鏡
の収差や製作上の誤差に基因する受光器のビーム
のずれ等からタイミングクロツクの高精度化がむ
ずかしく、それによつて良質の記録は困難である
等の欠点があつた。
本発明は上記のような従来のレーザ記録装置の
欠点を除去するためになされたもので、凹面鏡を
複数個設け、かつ前記夫々の凹面鏡で反射された
走査光は夫々の凹面鏡に対設して設けた複数個の
受光器によつて検出し、前記受光器の出力信号を
夫々適宜増幅することによつて、良質のスリツト
透過光を受光器に与え、高精度のタイミングクロ
ツクを発生させ、もつて大型記録材料を使用した
としても従来以上の高い解像力をもつた画像記録
を行うことのできるレーザ記録装置を提供するこ
とを目的とする。
欠点を除去するためになされたもので、凹面鏡を
複数個設け、かつ前記夫々の凹面鏡で反射された
走査光は夫々の凹面鏡に対設して設けた複数個の
受光器によつて検出し、前記受光器の出力信号を
夫々適宜増幅することによつて、良質のスリツト
透過光を受光器に与え、高精度のタイミングクロ
ツクを発生させ、もつて大型記録材料を使用した
としても従来以上の高い解像力をもつた画像記録
を行うことのできるレーザ記録装置を提供するこ
とを目的とする。
以下、本発明の一実施例を図について説明す
る。図中第1図と同一の部分は同一の符号をもつ
て図示した第2図において、16はスリツト10
の透過出力側に設けた散光板、17a………17
eは夫々の凹面鏡18a………18eに対設して
設けた受光器、19a………19eは前記複数の
受光器17a………17eの出力信号を増幅し後
段の加算器20に信号を与える増幅器である。
る。図中第1図と同一の部分は同一の符号をもつ
て図示した第2図において、16はスリツト10
の透過出力側に設けた散光板、17a………17
eは夫々の凹面鏡18a………18eに対設して
設けた受光器、19a………19eは前記複数の
受光器17a………17eの出力信号を増幅し後
段の加算器20に信号を与える増幅器である。
次に本発明の動作について以下に説明する。ま
ず、ポリゴンミラー5によつて走査光に変換され
たレーザ光は第2図に示す如く走査レンズ6を経
た後スリツト10に導かれ、その背後に密接して
設けた散光板16を透過して凹面鏡18に投射さ
れる。その投射された走査光は第3図に示す如く
夫々の凹面鏡18a………18eに対してある角
度を有し、例えば走査角θ1においては凹面鏡18
aで集光し、対設する受光器17aにて受光され
る。隣接し連続的に投射されるレーザビームの走
査角θ2,θ3………も上記と同様の原理で夫々の凹
面鏡18b,18c………にて集光され受光器1
7b,17c………で受光される。上述の如く1
回の走査におけるレーザビームはn個(n=2,
3,4………)の凹面鏡で分割して集光され、
各々の受光器17a,17b………にて反射光を
検出し夫々個別の増幅器19a,19b,………
にて増幅された後、加算器20に入力される。そ
して前記の加算器出力信号は波形整形器14に与
えられ記録用タイミングパルスを発生させる。
尚、第3図に示す如く凹面鏡で集光された走査光
は受光器の受光範囲内に収まるものするが受光範
囲外になる様な場合には第4図にすように受光器
の前に凸レンズ26a,26b………を配置させ
ることにより受光効率を向上させることができ
る。
ず、ポリゴンミラー5によつて走査光に変換され
たレーザ光は第2図に示す如く走査レンズ6を経
た後スリツト10に導かれ、その背後に密接して
設けた散光板16を透過して凹面鏡18に投射さ
れる。その投射された走査光は第3図に示す如く
夫々の凹面鏡18a………18eに対してある角
度を有し、例えば走査角θ1においては凹面鏡18
aで集光し、対設する受光器17aにて受光され
る。隣接し連続的に投射されるレーザビームの走
査角θ2,θ3………も上記と同様の原理で夫々の凹
面鏡18b,18c………にて集光され受光器1
7b,17c………で受光される。上述の如く1
回の走査におけるレーザビームはn個(n=2,
3,4………)の凹面鏡で分割して集光され、
各々の受光器17a,17b………にて反射光を
検出し夫々個別の増幅器19a,19b,………
にて増幅された後、加算器20に入力される。そ
して前記の加算器出力信号は波形整形器14に与
えられ記録用タイミングパルスを発生させる。
尚、第3図に示す如く凹面鏡で集光された走査光
は受光器の受光範囲内に収まるものするが受光範
囲外になる様な場合には第4図にすように受光器
の前に凸レンズ26a,26b………を配置させ
ることにより受光効率を向上させることができ
る。
また、第5図は他の実施例を示たもので各凹面
鏡で集光された走査光を各凹面鏡と1対1に対応
したオプチカルフアイバ22で集光し、そのオプ
チカルフアイバの出射端から出射光を集光レンズ
23を介して受光器24で受光するようにしたも
のである。その場合走査光をオプチカルフアイバ
22内に垂直に入射させるため凹レンズまたは凸
レンズ21a,21b………をオプチカルフアイ
バ22の入射端に取付ければ光量劣化を防止する
ことができる。この方式の場合には第2図の如く
各凹面鏡に対応した数だけの受光器と増幅器とを
設ける必要がなくなりオプチカルフアイバを用い
ることによつて受光器と増幅器は夫々1組で良く
なる。
鏡で集光された走査光を各凹面鏡と1対1に対応
したオプチカルフアイバ22で集光し、そのオプ
チカルフアイバの出射端から出射光を集光レンズ
23を介して受光器24で受光するようにしたも
のである。その場合走査光をオプチカルフアイバ
22内に垂直に入射させるため凹レンズまたは凸
レンズ21a,21b………をオプチカルフアイ
バ22の入射端に取付ければ光量劣化を防止する
ことができる。この方式の場合には第2図の如く
各凹面鏡に対応した数だけの受光器と増幅器とを
設ける必要がなくなりオプチカルフアイバを用い
ることによつて受光器と増幅器は夫々1組で良く
なる。
〔本発明の効果〕
以上のようにこの発明によれば、スリツトを透
過したレーザ走査光に夫々所定の角度をもつて配
設した複数の凹面鏡を設け、前記走査光を反射さ
せて対向する受光器、あるいはオプチカルフアイ
バによつて集光する様したので凹面鏡、受光器、
増幅器を夫々ユニツトとしてまとめ一体構成でき
るので、実機の設計に当つては前記ユニツトを必
要走査線長だけ連結させることができ、かつ、記
録材料の増に応じてユニツトの長さを選択的に使
用することができる。また、故障時の対応として
ユニツト交換の容易さ及び凹面鏡と受光器との光
学的位置調整も簡便となる効果がある。更に、凹
面鏡をn個(n=2,3,4…)に分割すること
によつて加工がしやすくなり各凹面鏡の加工精度
が向上するので集光効率が上がり価格も安価とな
る。その結果として正確な記録用タイミングクロ
ツクが得られ高品質のレーザ記録を行うことが可
能となる。
過したレーザ走査光に夫々所定の角度をもつて配
設した複数の凹面鏡を設け、前記走査光を反射さ
せて対向する受光器、あるいはオプチカルフアイ
バによつて集光する様したので凹面鏡、受光器、
増幅器を夫々ユニツトとしてまとめ一体構成でき
るので、実機の設計に当つては前記ユニツトを必
要走査線長だけ連結させることができ、かつ、記
録材料の増に応じてユニツトの長さを選択的に使
用することができる。また、故障時の対応として
ユニツト交換の容易さ及び凹面鏡と受光器との光
学的位置調整も簡便となる効果がある。更に、凹
面鏡をn個(n=2,3,4…)に分割すること
によつて加工がしやすくなり各凹面鏡の加工精度
が向上するので集光効率が上がり価格も安価とな
る。その結果として正確な記録用タイミングクロ
ツクが得られ高品質のレーザ記録を行うことが可
能となる。
第1図は従来のレーザ記録装置の光学系、及び
電気系を示す要部のブロツク構成図、第2図は本
発明の一実施例を示すレーザ走査光によるタイミ
ングクロツク発生の光学系構成図、第3図及び第
4図は本発明における集光及び受光の光学系統
図、第5図は本発明の他の実施例を示す光学系構
成図である。 1…レーザ光源、2…AOM、2a…AOMド
ライバ、3…ハーフミラー、4,8,9…ミラ
ー、5…ポリゴンミラー、6…走査レンズ、7…
記録材料、10…スリツト、11,18…凹面
鏡、12,17,24…受光器、13,19,2
5…増幅器、14…波形整形器、15…情報源、
16…散光板、20…加算器、21…凹レンズ、
22…オプチカルフアイバ、23…集光レンズ、
26…凸レンズ。
電気系を示す要部のブロツク構成図、第2図は本
発明の一実施例を示すレーザ走査光によるタイミ
ングクロツク発生の光学系構成図、第3図及び第
4図は本発明における集光及び受光の光学系統
図、第5図は本発明の他の実施例を示す光学系構
成図である。 1…レーザ光源、2…AOM、2a…AOMド
ライバ、3…ハーフミラー、4,8,9…ミラ
ー、5…ポリゴンミラー、6…走査レンズ、7…
記録材料、10…スリツト、11,18…凹面
鏡、12,17,24…受光器、13,19,2
5…増幅器、14…波形整形器、15…情報源、
16…散光板、20…加算器、21…凹レンズ、
22…オプチカルフアイバ、23…集光レンズ、
26…凸レンズ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 クロツク発生用光ビームの走査光路上にスリ
ツトを配置し、該スリツトを透過するレーザビー
ムを凹面鏡よりなる集光部で反射して、受光部に
向わせ、記録用タイミングクロツクを発生させる
ようにしたレーザ記録装置において、n個(n=
2,3,4………)の凹面鏡を前記レーザビーム
の走査線長に対応する幅だけ並列に配置した集光
部と、前記凹面鏡により集光された走査光を各凹
面鏡と対設したn個(n=2,3,4………)の
受光器によつて受光する受光部とを設け、前記反
射された走査光を受光することにより記録用タイ
ミングクロツクを発生するようにしたことを特徴
とするレーザ記録装置。 2 前記対設された一対の集光部と受光部とを
夫々ユニツト化し、前記ユニツトを必要走査線長
に対応する数だけ走査光の幅分連結してなること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレーザ
記録装置。 3 n個(n=2,3,4………)の凹面鏡で集
光した走査光を各凹面鏡と1対1に対応するよう
配置したオプリカル・フアイバに入射し、前記オ
プチカル・フアイバの出力端より出射した走査光
を集光レンズを介し1組の受光器にて受光するよ
うにしたことを特徴とする特許請求の範囲第1項
記載のレーザ記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181410A JPS6072473A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | レ−ザ記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181410A JPS6072473A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | レ−ザ記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6072473A JPS6072473A (ja) | 1985-04-24 |
| JPH0367509B2 true JPH0367509B2 (ja) | 1991-10-23 |
Family
ID=16100272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58181410A Granted JPS6072473A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | レ−ザ記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6072473A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01265220A (ja) * | 1987-05-08 | 1989-10-23 | Ricoh Co Ltd | 多点同期装置 |
| US4962431A (en) * | 1987-05-08 | 1990-10-09 | Ricoh Company, Ltd. | Synchronizing signal generating system for laser scanner |
| JPH01254911A (ja) * | 1988-04-05 | 1989-10-11 | Ricoh Co Ltd | レーザ走査光学系における画素クロック発生装置 |
| DE10240949A1 (de) * | 2002-09-02 | 2004-03-04 | Hentze-Lissotschenko Patentverwaltungs Gmbh & Co.Kg | Halbleiterlaservorrichtung |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP58181410A patent/JPS6072473A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6072473A (ja) | 1985-04-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7053395B2 (en) | Wafer defect detection system with traveling lens multi-beam scanner | |
| US4655590A (en) | Method of coalescing laser beams | |
| US3729248A (en) | Optical scanning assembly with helical-shaped rotating reflector | |
| JP3990472B2 (ja) | ビーム径制御方法および装置 | |
| JPH0620223B2 (ja) | 画像情報読取記録装置 | |
| JPH0367509B2 (ja) | ||
| JP2002174786A (ja) | 光記録装置 | |
| JPH0222616A (ja) | レーザ走査装置 | |
| JPH0367510B2 (ja) | ||
| JPH11337851A (ja) | マルチビーム走査装置および2ビーム光源装置および同期検知装置 | |
| JPH0535378Y2 (ja) | ||
| JPS62246010A (ja) | 光ビ−ム走査装置 | |
| GB2184254A (en) | Optical image read-out and recordal scanning apparatus using a polarization beam splitter | |
| JPH04235520A (ja) | 光走査装置 | |
| JPS63257714A (ja) | 光ビ−ム走査装置 | |
| JPH1164751A (ja) | 光ビーム走査装置 | |
| JPH0750260B2 (ja) | 撮像装置 | |
| JP3111551B2 (ja) | ビデオクロック信号発生装置 | |
| JPH0367511B2 (ja) | ||
| JP2505331B2 (ja) | 平板状物体の寸法および欠陥計測装置 | |
| GB2158962A (en) | Combining and separating polarised light beams | |
| JPS6053853B2 (ja) | レ−ザ−記録装置 | |
| SU712794A1 (ru) | Устройство дл фокусировки | |
| SU906028A1 (ru) | Развертывающее устройство приемного фототелеграфного аппарата | |
| JPS604369A (ja) | スキヤナ/プロツタ光学系 |