JPH0369531A - 単板の断熱ガラス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、冷暖房効果を向上させるようにするとともに
比較的高い可視光透過率を有するものであって、しかも
電波の透過が比較的よく耐摩耗性も優れた単板の断熱ガ
ラス、特に車輌用断熱ガラスとして有用であって、こと
にサイドあるいはドア用窓ガラス、リヤ用窓ガラスとし
て単板でも使用可能な単板の断熱ガラスに関する。

［従来の技術］ 従来、例えば車両用窓ガラスとして透明誘電体または透
明導電膜／銀／透明誘電体または透明導電膜の構成で高
い可視光透過率を達威し、銀の高反射性能を利用して日
射透過率の低い断熱ガラスとして、これを合せガラスに
することで使用されている。しかしながら銀膜は耐摩耗
性、耐湿性に弱く、合せガラスに加工処理せずに放置し
ておくと数日以内で膜に異変が発現し、膜の変色変質が
起り、手で触れただけで剥離する現象になるという非常
に弱いものであった。

このため最近では合せガラスでなくても単板のままで使
用しても耐候性、耐久性があるというものが種々提案さ
れている。例えば特開昭６３２０６３３３号公報には、
単板熱線反射ガラスが記載されており、ガラス板面に熱
線反射膜としてガラス板側から数えて順に第１層と第３
層が透明誘電体膜又は透明導電性酸化物膜、第２層が窒
化物膜、第３層上の最上層が酸化物の厚膜とが積層され
、最上層が露出面でなっている、例えばＳｉＯ□膜／Ｔ
ｉ０２Ｍ／ＴｉＮ膜／　Ｔ　ｉ　Ｏ，Ｌ膜／ガラス板の
構成からなるものが開示されており、また特開昭６４〜
５９３０号公報には、高透過ソーラーコントロールガラ
スが記載されており、ガラス板面に、ガラス板側から順
に第１層として酸化スズ膜、第２層として低光吸収性膜
、第３層として窒化チタン膜、第４層として低光吸収性
膜、第５層として酸化スズ膜が積層されており、場合に
よっては第６層として酸化けい素膜又は酸化アルミニウ
ム膜を主成分としたオーバコート保護膜が被覆されても
よい、例えばＳｉＯえ膜／Ｓｎ□膜／ＴｊＯ１膜／Ｔｉ
Ｎ膜／　Ｔ　Ｉ　％膜／　Ｓｎ％膜／ガラス板の構成と
するものが開示せれており、さらに特開昭６３−２４７
３５２号公報には、反応性スパッタリングによる透明コ
ーティングについて記載されており、基材、基材上のコ
ーテイング膜およびコーティング上の保護膜を含む構成
であるコートシた物品であって、この保護膜がアルミニ
ウムおよびけい素を含む合金であるターゲットを反応性
ガス中、特に０ユ％がＮ２．十吐ガス中で１０〜３０％
存在するなかでスパッタすることにより形成された反応
生成物の無定形層を含む膜であるものが開示されており
、さらにまた特開昭６０−８１０４８号公報には、ガラ
ス上にＴｉＯユ膜を形成し、次いでＴｉＯよとＴｉＮの
馴染み層を設け、その上にＴｉＮ膜を積層する窒化チタ
ン薄膜付きガラスおよびその作製方法が記載されており
、またＣｒ、Ｔｉ。

Ｚｒ、Ｔａ、Ｎｉあるいはステンレスの金属膜を用いる
ものとしては、特開昭６１−５５６０３号公報に記載の
高耐久性赤外反射鏡あるいは特開昭６３−２４２９４８
号公報に記載の熱線反射ガラス等が知られている。

さらにまた、高屈折率膜と低屈折率膜を順次積層した反
射防止膜あるいは電磁遮蔽膜を有するガラスが提案され
ており、例えば特開昭６３〜１３１１０１号公報には第
１及び第２の高屈折率膜のうちの少なくとも一方を、反
応性スパッタリングを用いて形成された高屈折率の第１
の膜状体と、この第１の膜状体よりも更に屈折率の高い
第２の膜状体とを積層することにより成る多層反射防止
膜が記載されており、また特開昭６０−８１０４７号公
報にはガラス基板の外側にＩＴＯ膜等の電磁遮蔽用透明
導電性薄膜とＴｉＯ□とＳｉＯ□を交互に積層した熱線
反射膜を積層し、内側に電磁遮蔽用透明導電性薄膜と可
視光の反射防止膜を積層することにより、外来電波によ
るノイズを防止できると共に、日射の侵入を抑制でき良
好な視界を確保できるという電波遮蔽ウィンドガラスが
記載されており、さらに実開昭６０−１８３４９７号公
報にはガラスに透明導電膜、特に好ましくは面積抵抗値
が１００Ω／口以下であるものを設けることにより、車
載電子機器の外部からの電磁波によるノイズを防くこと
ができる電波遮蔽効果を有する自動車ガラスが記載され
ている等が知られている。

いずれの場合も断熱ガラスとしての性能を確保するため
、その構成中に導電性の成分を含んでおり、この導電性
膜により、断熱性を出し残りの誘電体との組み合わせで
透過率、反射率を調節するものであった。

［発明が解決しようとする問題点〕 前述したような例えば特開昭６３−２０６３３３号公報
に記載の単板熱線反射ガラスならびに特開昭６４−５９
３０号公報に記載の高透過ソーラーコントロールガラス
についてはいずれも金属と同等の導電性を得るため、こ
れに代わる耐久性の良い導電膜をかなり厚くする必要が
あり、この場合、生産性の低下が生し、また電波に関し
てシールド効果を起こすものであった。また特開昭６３
２４７３５２号公報に記載の反応性スパッタリングによ
る透明コーティングについては表面における耐摩耗性な
らびに耐食性は向上するものの必ずしも各層での密着性
ならびに耐薬品性を充分満足するようなものにできるも
のではないものであり、場合によっては透明性が充分で
なくなることがあり得るものである。さらにまた特開昭
６０−８１０４８号公報に記載のものは、耐摩耗性に対
して必ずしも充分ではなく、また特開昭６１−５５６０
３号公報あるいは特開昭６３−２４２９４８号公報に記
載のものはガラス側から見た際の可視光反射率が大きく
なりやすくかつ密着性あるいは耐摩耗性等においても必
ずしも充分なものとはいい難いものであって、特に例え
ば自動車用窓ガラスのうち単板で用いるドアあるいはサ
イドガラスには充分採用できるとは言えないものである
。

さらにまた、前記特開昭６３−１３１１０１号公報を初
め前記各公報ならびに特開昭６０−８１０４７号公報お
よび実開昭６０−１８３４９７号公報に記載のものはい
ずれも自動車電話、ＴＶ、シャッター開閉のリモコン操
作など電波の送受信を要する場合には電磁シールド効果
を起こして、充分な機能が得られ難いものであり、また
ガラスアンテナ性能自身が非常に優れていたとしても反
射、吸収するため、結果として非常に悪いアンテナ性能
しか得られず悪影響をもたらすものである。また無反射
ガラス用に透明酸化物のみの組み合わせで、多くの提案
がなされているが、膜の数が多く、また各層の厚みがλ
／４、λ／２など厚く、生産上非常に悪いものであり、
また主にディッピング、ゾル−ゲルなどでつくられてい
るが、これらは膜の耐摩耗性が極めて悪く、単板として
は使用できないものであった。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであっ
て、特定の屈折率を有する特定の光学厚みの誘電体膜を
単層膜として設け、しかも運転者等に対し充分な視野を
確保できて単板で使用しても充分な耐摩耗性、耐久性、
耐候性をもち、電波を車内外に透過させることができ、
冷暖房に効果的な単板の断熱ガラスを提供するものであ
る。

すなわち、本発明は、可視光透過率が６５％以上ならび
に日射透過率が７５％以下である透明着色ガラス基板の
表面上に、屈折率が１．９〜２．４の透明誘電体膜をス
パッタ法またはＣＶＤ法によって２２００〜３１００人
の光学厚みで底膜したものであって、可視光透過率が６
５％以上、可視光反射率が１５％以下ならびに日射透過
率が前記透明着色ガラス基板に比し５％以上低下するも
のであり、さらにＣＳ−１０Ｆによるテーバー試験にお
いて１０００回回転後の透過率とヘーズの変化量が試験
前に比し１０％以内、ならびに表面体積抵抗が１００Ω
・ＣＭ以上であることを特徴とする単板の断熱ガラス。

さらに前記底膜において、前記屈折率が１．９〜２．４
の透明誘電体膜としてＳｎＯｘ、　ＺｒＯｘ、　ＴｉＯ
ｘ、　ＴａＯｘを用いることを特徴とする単板の断熱ガ
ラスを提供するものである。

ここで、断熱単層膜として透明誘電体膜を用いることに
したのは、電波の透過が構成する膜の電気抵抗値に関係
し、しかも１００Ω・ＣＭ以上、好ましくは１０００Ω
・ＣＭ以上の非常に高電気抵抗値のもの、例えばＴｉＯ
ｘ、　５ｎＯｘ等でなければならないことがわかり、従
来のような導電性金属等、例えばＡｇ、　ＴｉＮ、ｒＴ
Ｏ等では電気抵抗値が低く電波遮蔽性能を有し、例えば
透明着色ガラス基板に比し数ｄＢあるいは１０ｄＢ以上
のマイナスとなり、例えば１．２ｄＢのマイナスとほぼ
透明着色ガラス基板と同等とすることができないからで
あり、またこれら透明誘電体膜は耐薬品性、耐湿性、付
着性等に著しく優れたものである。また誘電体膜を屈折
率が１．９−２．４、例えば５ｎＯｘ　（０＜　ｘ≦２
）、Ｔａ０ｘ（０＜ｘ≦２．５）、ＺｒＯｘ　（０＜　
ｘ≦２）ならびにＴｉＯｘ　（０＜　ｘ≦２）であると
したのは、より強（密着させたなかで、可視光透過率な
らびに反射率を、例えば膜を底膜しない透明着色ガラス
基板とほぼ同等もしくは近ずけるために膜の干渉効果の
みを利用し、干渉効果を大きくするためには透明着色ガ
ラス基板と膜、膜と空気の屈折率差が大きいことが必要
であるためであり、しかも透明着色ガラス基板のみの０ 日射透過率よりも５％以上、好ましくは７％以上低下さ
せることができ、断熱性能を発揮させることになるため
であり、またなかでも日射透過率は６５％以下が好まし
いものであり、より好ましくは６０％前後以下である。

さらに単層の光学厚みを２２００〜３１００人としたの
は、２２００人未満では膜強度が保持し難いことも生じ
ることがあること、可視光反射率、日射透過率等におい
ても満足すべき値となりにくいものが場合によっては出
てくることがあるためであり、３１００人を越えると、
生産性の悪化が生じたり、厚いために発現する歪み、場
合によってはヒビのようなりラックが生じる等の諸問題
をかかえることになりかねないからである。さらにまた
底膜の製法としては、スパック法またはＣＶＤ法である
ことが、耐摩耗性等上必要であり、例えばディッピング
法等では耐摩耗性において非常に弱いものとなり単板で
の使用に適さないものとなるためである。

なお、例えば曲げ加工後の底膜あるいは成膜後の曲げ加
工のどちらの工程でもよいものであり、このことは全て
誘電体膜のみのため加熱による膜の変質が発現しないこ
とによるものである。

また、光学特性のうち、可視光透過率を６５％以上とし
たのは、例えば自動車における運転者の視野を十分確保
するためであり、好ましくは７０％以上であり、また可
視光反射率を１５％以下としたのは、１５％を越えると
自動車窓ガラスとして使用した際、運転者にミラー効果
で室内の像が視野内に入り運転者の安全性を妨げ、逆に
対向車の運転者にはまぶしさを与えるためで、好ましく
１３％以下、より好ましくは１０％以下であり、特に前
記可視光透過率あるいは反射率は夜間ならびに雨降り等
にその効果をよりもたらすものである。さらにまた、日
射透過率を透明着色ガラス基板のみの際より５％以上低
下させるものとしたのは、少なくとも前記差が５％以内
であれば冷暖房効果を向上させ、例えば車内の住居性を
向上させるために必ずしも役立たせ１ １ま たとは言い難く、効果が少ないものとなるためである。

さらにまた、ＣＳ−１０Ｆによるテーバー試験において
１０００回回転後の透過率とヘーズの変化量（ΔＴとΔ
■）が試験前に比し、１０％以内であるものとしたのは
、１０％を越えると長期間使用において膜の視野ならび
に透明さが悪化し、例えば運転者に目立って不快感、場
合によっては安全性を妨げる場合も発現することがある
ようになってくるためであり、好ましくは８％以内、よ
り好ましくは５％以内である。

さらに単層の表面体積抵抗が１００Ω・ＣＭ以上を有す
るとしたのは、周波数１００〜１０００１００Ｏ（７）
間で特に１００〜７００ＭＨ２前後において１０ｄＢ以
上、ガラス基板と比し数ｄＢ、電波を遮蔽しないように
するために必要であり、特に自動車ガラスとして断熱性
能を生かしつつ電波の透過、例えばＴＶ波、電話、シャ
ッター開閉のリモコン操作などの電波の透過のためには
透明着色ガラス基板とほぼ同等もしくは１〜２ｄＢの低
下におさえる必要があるためである。

つぎに、透明着色ガラス基板としては、例えばグレー、
ブロンズ、ブルー等であり、なかでも可視光透過率（Ｙ
ｇ）が６５％以上でかつ日射透過率（Ｔｇ）が７５％以
下としたのは前記透明着色ガラス基板と前記単層膜との
前記光学特性におけるマツチングが重要であり、６５％
未満であれば可視光透過率を単板の断熱ガラスとして６
５％以上確保することがかなり難しくなり、また７５％
を超えると日射透過率がかなり高くなり、例えば６５％
前後を超える単板のガラスとなって断熱性能を有するも
のとは言い難いためである。

さらに好ましくはＹｇが６８％以上、Ｔｇが７３％以下
である。

なお、単板で使用できることはもとより、複層あるいは
合せガラスとしても使用できることは言うまでもない。

［作用］ 前述したとおり、本発明の単板の断熱ガラスは、特定の
光学特性を有する透明着色ガラス基３ ４ 板表面に、特定の屈折率を有する誘電体膜をスパッタま
たはＣＶＤによって特定光学厚みで単層膜を成膜して威
り、しかも可視光透過率、可視光反射率あるいは日射透
過率等の光学特性をそれぞれ特定し、さらにテーバー試
験による透過率とヘーズの変化量を特定し、さらにまた
表面体積抵抗を特定したものとしたことにより、密着性
を高め、積層した単層膜の耐摩耗性ならびに耐食性が向
上し、耐久性に優れ、単板として充分採用できるものと
なり、しかも適度の干渉効果をもたらし、断熱機能を有
し、充分可視光反射率を低いものとして充分視野が確保
でき、例えば車内外からの旦う−効果も殆どなく、視野
を妨げるようなことにならず、高い安全性と居住性を備
え、例えばＴＶ電波等も透過するものとなって、建築用
窓ガラスではもちろん、車両用窓ガラスとしてもフロン
ト、サイドあるいはドア用ガラス、さらにリヤ用ガラス
にも充分採用できる単板の断熱ガラスを提供できるもの
である。

［実施例］ 以下、実施例により本発明を具体的に説明する。ただし
本発明は係る実施例に限定されるものではない。

実施例１ 大きさ６００×６００１１Ｏ１２、厚さ５ｍｍのグレー
ガラス（ＮＧＦＬ５）を中性洗剤、水ずすぎ、イソプロ
ピルアルコールで順次洗浄し、乾燥した後、マグネトロ
ン反応スパッタリング装置の真空槽内にセットしである
Ｓｎのターゲットに対向して上方を往復できるようセッ
トし、つぎに前記槽内ｔ を真空ポンプで約５　Ｘ　１０　Ｔｏｒｒまでに脱気し
た後、該真空槽内に０２ガスを導入して真空度を＝３ 約２Ｘ　１０Ｔｏｒｒに保持し、前記Ｓｎのターゲット
に約０．５ＫＩｔ１の電力を印加し、０２ガス（但し、
Ａｒと０２ガスの流量比は１：１から０：１の範囲にあ
ればよい。）によるＤＣマグネトロン反応スパッタの中
を、前記Ｓｎターゲット上方においてスピード約１５ｍ
／ｍｉｎで前記板ガラスを搬送することによって約１５
００人厚さのＳｎＯ□薄膜を成膜し５ ６ た。

得られた単層膜を有する単板の断熱ガラスについて、先
ず、膜厚と屈折率をエリプソメーター（島津製作所製Ｄ
　Ｂ　−１０Ａ、レーザー光波長６３２８．２Ａ　）で
測定し、次に可視光透過率（３８０〜７８０ｎｍ）、可
視光反射率（３８０〜７８０ｎｍ）ならびに日射透過率
（３４０〜１８００ｎｍ）については３４０型自記分光
光度計（日立製作新製）とＪＩＳＺ８７２２．　Ｊ１５
Ｒ３１０６によってそれぞれその光学的特性を求めた。

さらにテーバー試験による透過率の差については、テー
バ−試験機（ＭＯＤＥＬ　５０３．　ＴＹＢＥＲ社製）
に膜面を上にしたｌＱｃｍ角の試験片をセットし、膜面
に荷重５００ｇのかかった摩耗輪（ＣＳ−１０Ｆ）が２
ケ所で当たるようになっているもので、１０００回回転
した後、先ず可視光透過率を測定し、試験前の測定値と
対比し、その変化量すなわち差（ΔＴ）をもって表わし
た数値であり、次いでヘーズ（曇り具合）値については
、ヘーズメーター（日本重色工業製、ＮＤＨ−２０Ｄ）
によって測定し、ΔＴと同様にその変化量（Δ１１）を
もって表わした数値である。

次に、耐薬品性のうち耐酸試験については、常温で１規
定のＩＩｃＬ熔液中に前記試験片を約６時間浸漬した後
、膜の劣化状態を見て判断したものであり、耐アルカリ
試験については、常温で１規定のＮａＯＨ溶液に試験片
を約６時間浸漬した後、膜の劣化状態を見て判断したも
のであり、それぞれ○印はほとんど劣化が見られなかっ
たもの、×印は劣化が明らかに目立ったものである。

また耐湿性については、約５０°Ｃ１相対湿度約９５％
の部屋内において３０日間放置した後、膜の劣化状態を
みて耐薬品性同様の判断ならびに○×印で表示した。

さらに表面抵抗については、四探針抵抗測定装置ＲＴ−
８（ＮＡＰＳＯＮ社製）によって測定し、１００Ω・Ｃ
Ｍ以上を○印とし、１００Ω・ＣＭ以下を×印または測
定値で示した。これら前述の測定値は表１に示す通りで
ある。

またさらに、電波透過性については、シール７ ド効果、すなわち、透明着色ガラス基板と比して電波が
透過しにくくなる程度を知るため、アトハンチスト法の
ＴＥＮモードによってＴＲ１７３０２とＴＲ４１７２（
いずれも■アトパンテスト製）を用いて測定して求め、
図１に示した。

表１ならびに図１より明らかなように、またグレー硝子
（日射透過率７１．４％）に比べ日射透過率が５％以上
低くなり、断熱性に優れ、より優れた住居性ならびに安
全性を示し、耐摩耗性、耐食性を十分に有し、耐候性、
耐久性を向上したものであって、電波を十分透過し、単
板断熱ガラスとして有用なものとなり、所期のめざすも
のが得られた。

なお、表中の透明着色ガラス基板は、ＮＧＦＬはグレー
、ＮＦＬはブロンズ、ＨＦＬはブルーの透明着色ガラス
基板を示す。また前記５ｎ０２膜の屈折率の測定値は２
．０であった。

実施例２〜１４ 実施例１と同様の方法で、表１に示す単層膜を得て、実
施例１で示した測定法等によって測定し、同様の評価手
段で行い、その結果を表１に示す。

各実施例共、実施例１と同様のものが得られた。

なお、各実施例において、各層の屈折率の測定値はＴ　
ｉ％が２．２５、Ｚｒ％ならびにＴａ、Ｏｇが２．０で
あった。

比較例１ 大きさ６００×６００ｍｌ１１２、厚さ３．５ｍｍのブ
ルーガラス（ＨＦＬ　５）を中性洗剤、水すすぎ、イソ
プロピルアルコールで順次洗浄し、乾燥した後、マグネ
トロン反応スパッタリング装置の真空槽内にセットしで
あるＩ　ｎ　ＺＯ１３Ｉ−５ｎ　Ｏｌ　（５％）ターゲ
ットに対向して上方を往復できるようセットし、つぎに
前記槽内を真空ポンプで約５　Ｘ　１０　Ｔｏｒｒまで
に脱気した後、２００°Ｃにしてから、該真空槽内に０
２　／　（０，＋　Ａｒ）　＝　２／１００ガスを導入
して真空度を約２　Ｘ　１０　Ｔｏｒｒに保持し、前記
Ｉｎ、リー５ｎ０２（５Ｘ）のターゲットに約２．ＯＫ
Ｗの電力を印加し、前記ターゲット上方においてスピー
ド約２０９ ０ ｍｍ／ｍｉｎで前記板ガラスを搬送することによって約
４０００人厚さのＩＴＯの薄膜を成膜した。その後真空
雰囲気中で４００°Ｃで３０分熱処理をした。

得られた単層膜を有する単板の断熱ガラスについて、実
施例１で示した測定法等によってまた同様の評価手段で
行い、その結果を表２に示すとともに、図１に示した。

表２ならびに図１より明らかなように、実施例に比して
、例えば表面体積抵抗が低く、導電性膜層を有している
ことを示し、図１でも明らかなように透明着色ガラス基
板のみよりシールド効果を有しており、しかも、耐摩耗
性ならびに耐薬品性がないものとなっており、優れた特
性を有する単板の断熱ガラスとは言い難いものであった
。

なお、前記ＩＴＯ膜の屈折率の測定値は１．９であった
。

比較例２および３ 成膜後の真空雰囲気中での熱処理を実施しない以外は比
較例１と同様の方法によって行い、その結果は表２およ
び図１に示す。

得られた比較例２および３のものは、テーノへ一試験で
膜がなくなり、耐摩耗性がないもので単板として使用不
可能と言わざるを得ないものであり、単層膜の耐薬品性
も悪く、電波シールド性を有するものであった。いずれ
にしても優れた特性をもつ単板の断熱ガラスとは言い難
いし使用できないものである。

比較例４〜１０ 実施例１と同様の方法によって実施し、実施例１で示し
た測定法等で実施し、同様の評価手段で行い、その結果
を表２にそれぞれ示す。

それぞれ、実施例に比して、光学特性において必ずしも
優れた単板の断熱ガラスとは言い難いものであった。特
に実施例４ならびに１０のものは膜が必ずしも強くない
ものである。

なお、前記ＺｎＯ膜の屈折率の測定値は２．０であった
。

（以下余白） １ ２ ［発明の効果］ 以上前述したように、本発明は特定の透明着色ガラス基
板にスパッタ法またはＣＶＤ法で、特定の屈折率あるい
は光学厚みで誘電体膜を単層膜として成膜せしめ、しか
も光学上ならびに安全上の特性値が特定できるものとな
し得、断熱ガラスであって耐摩耗性、耐食性ならびに耐
候耐久性に優れ、電波透過性のよい特異なものとなり、
複層あるいは合せガラスはもちろん単板で使用できる居
住性のよい、ガラスアンテナ等を備えて効果的で有用な
単板の断熱ガラスを効率よく提供できるものである。

【図面の簡単な説明】

図１は、電波シールド効果における透明着色ガラス基板
と実施例１ならびに比較例１，２３との差に関する一例
を示す図である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）可視光透過率が６５％以上ならびに日射透過率が
   ７５％以下である透明着色ガラス基板の表面上に、屈折
   率が１．９〜２．４の透明誘電体膜をスパッタ法または
   ＣＶＤ法によって２２００〜３１００Åの光学厚みで成
   膜したものであって、可視光透過率が６５％以上、可視
   光反射率が１５％以下ならびに日射透過率が前記透明着
   色ガラス基板に比し５％以上低下するものであり、さら
   にＣＳ−１０Ｆによるテーバー試験において１０００回
   回転後の透過率とヘーズの変化量が試験前に比し１０％
   以内、ならびに表面体積抵抗が１００Ω・ＣＭ以上であ
   ることを特徴とする単板の断熱ガラス。
2. （２）前記成膜において、前記屈折率が１．９〜２．４
   の透明誘電体膜としてＳｎＯ＿ｘ、ＺｒＯ＿ｘ、ＴｉＯ
   ＿ｘ、ＴａＯ＿ｘを用いることを特徴とする請求項１記
   載の単板の断熱ガラス。