JPH0371625U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0371625U JPH0371625U JP13322289U JP13322289U JPH0371625U JP H0371625 U JPH0371625 U JP H0371625U JP 13322289 U JP13322289 U JP 13322289U JP 13322289 U JP13322289 U JP 13322289U JP H0371625 U JPH0371625 U JP H0371625U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust pipe
- bellows
- integrated circuit
- measuring device
- horizontal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の側面図、第２図は
従来の一般的な減圧ＣＶＤ装置の一例の構成図で
ある。 １……排気管、２……ベローズ、３……重量検
出器、４……真空ポンプ、５……ウエハー処理室
、６……ヒーター、７……ウエハー。
従来の一般的な減圧ＣＶＤ装置の一例の構成図で
ある。 １……排気管、２……ベローズ、３……重量検
出器、４……真空ポンプ、５……ウエハー処理室
、６……ヒーター、７……ウエハー。
Claims (1)
- 水平方向に配設される排気管の前後をベローズ
で接続すると共に、この排気管の支え部に重量測
定器を備えたことを特徴とする半導体集積回路製
造装置用排気管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13322289U JPH0371625U (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13322289U JPH0371625U (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0371625U true JPH0371625U (ja) | 1991-07-19 |
Family
ID=31680633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13322289U Pending JPH0371625U (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0371625U (ja) |
-
1989
- 1989-11-15 JP JP13322289U patent/JPH0371625U/ja active Pending