JPH0373431U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0373431U JPH0373431U JP13511089U JP13511089U JPH0373431U JP H0373431 U JPH0373431 U JP H0373431U JP 13511089 U JP13511089 U JP 13511089U JP 13511089 U JP13511089 U JP 13511089U JP H0373431 U JPH0373431 U JP H0373431U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- ion implantation
- semiconductor substrate
- implantation device
- substrate support
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例に係るイオン注入装
置の特徴となる基板支持台の一部破断斜視図、第
２図は第１図−線に沿つた要部断面図、第３
図及び第４図は何れも半導体基板の位置決め状態
を順を追つて示す要部断面図、第５図は本考案の
他の実施例に係るイオン注入装置で使用される基
板支持台の斜視図、第６図は第５図のＪ−Ｊ線に
沿つた要部断面図、第７図は一般的な中電流型イ
オン注入装置の概略説明図、第８図はその半導体
基板を支持する基板支持台の動作を示す側面図、
第９図はイオンの未注入領域を示す正面図である
。 １……基板支持台、２０，３０……基板検知手
段、Ｗ……半導体基板。
置の特徴となる基板支持台の一部破断斜視図、第
２図は第１図−線に沿つた要部断面図、第３
図及び第４図は何れも半導体基板の位置決め状態
を順を追つて示す要部断面図、第５図は本考案の
他の実施例に係るイオン注入装置で使用される基
板支持台の斜視図、第６図は第５図のＪ−Ｊ線に
沿つた要部断面図、第７図は一般的な中電流型イ
オン注入装置の概略説明図、第８図はその半導体
基板を支持する基板支持台の動作を示す側面図、
第９図はイオンの未注入領域を示す正面図である
。 １……基板支持台、２０，３０……基板検知手
段、Ｗ……半導体基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板支持台上に支持した半導体基板に不純物イ
オンを注入するイオン注入装置であつて、 上記基板支持台に、半導体基板の支持位置を検
知するための基板検知手段を設けたことを特徴と
するイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13511089U JPH0373431U (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13511089U JPH0373431U (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0373431U true JPH0373431U (ja) | 1991-07-24 |
Family
ID=31682399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13511089U Pending JPH0373431U (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0373431U (ja) |
-
1989
- 1989-11-21 JP JP13511089U patent/JPH0373431U/ja active Pending