JPH0373474U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0373474U
JPH0373474U JP13441889U JP13441889U JPH0373474U JP H0373474 U JPH0373474 U JP H0373474U JP 13441889 U JP13441889 U JP 13441889U JP 13441889 U JP13441889 U JP 13441889U JP H0373474 U JPH0373474 U JP H0373474U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wavelength selection
selection element
laser device
excimer laser
oscillation excimer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13441889U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP13441889U priority Critical patent/JPH0373474U/ja
Publication of JPH0373474U publication Critical patent/JPH0373474U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による狭帯域発振エキシマレー
ザ装置の実施例の基本概略図、第２図は移動の機
構を備えた狭帯域発振エキシマレーザ装置の実施
例の概略図、第３図は移動の制御の機構を備えた
狭帯域発振エキシマレーザ装置の実施例の概略図
、第４図は従来の狭帯域発振エキシマレーザ装置
概略図、第５図は本考案による狭帯域発振エキシ
マレーザ装置において波長選択素子の使用有効範
囲径の大きさの違いによるレーザ光透過部の変位
を示した図である。 図中の番号１はレーザチヤンバ、２はウインド
、３はフロントミラー、４はリアミラー、５は波
長選択素子、６は可動ステージ、７はモーター、
８はドライバー、９はＣＰＵ、１０は測定器、１
１はビームスプリツタ、１２は光軸、１３は波長
選択素子の使用有効範囲径、１４は波長選択素子
のレーザ光透過部である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) レーザ共振器内に波長選択素子を配設した
    狭帯域発振エキシマレーザ装置において、レーザ
    光の光軸の直交平面上を直線移動および光軸を中
    心に回転移動する可動ステージに波長選択素子を
    配設することによつて波長選択素子のレーザ光透
    過部を変位させるようにしたことを特徴とする狭
    帯域発振エキシマレーザ装置。 (2) 前記波長選択素子のレーザ光透過部の変位
    はモーター等により可動ステージを移動させるこ
    とで変位する請求項１記載の狭帯域発振エキシマ
    レーザ装置。 (3) 前記波長選択素子の変位はモーター等をＣ
    ＰＵにより制御し可動ステージを移動させること
    で変位する請求項２記載の狭帯域発振エキシマレ
    ーザ装置。
JP13441889U 1989-11-21 1989-11-21 Pending JPH0373474U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13441889U JPH0373474U (ja) 1989-11-21 1989-11-21

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13441889U JPH0373474U (ja) 1989-11-21 1989-11-21

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0373474U true JPH0373474U (ja) 1991-07-24

Family

ID=31681757

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13441889U Pending JPH0373474U (ja) 1989-11-21 1989-11-21

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0373474U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01233785A (ja) * 1988-03-14 1989-09-19 Mitsubishi Electric Corp 狭帯域化レーザ
JPH02309687A (ja) * 1989-05-24 1990-12-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd エキシマレーザ装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01233785A (ja) * 1988-03-14 1989-09-19 Mitsubishi Electric Corp 狭帯域化レーザ
JPH02309687A (ja) * 1989-05-24 1990-12-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd エキシマレーザ装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5594744A (en) Singlemode laser source tunable in wavelength with a self-aligned external cavity
JPS62199283U (ja)
JPH11307879A (ja) 波長可変レーザー
US5272707A (en) Laser path switching mechanism
EP0383586A3 (en) Laser device
JPS6242267U (ja)
JPS6464279A (en) Laser equipment
JPH0227109U (ja)
JPS6467989A (en) Narrow-band laser device
JPH0211521U (ja)
JPH0365270U (ja)
JPH031780U (ja)
JPH0376144U (ja)
JPH0258361U (ja)
JPH01156845U (ja)
JPH0255925U (ja)
JPS6371563U (ja)
JPS63105369U (ja)
JPH0334263U (ja)
JPH02118284U (ja)
JPH01159985U (ja)
JPS62211977A (ja) 狭帯域発振エキシマレ−ザ
JPH0453506U (ja)
JPH02140627U (ja)
JPS642460U (ja)