JPH0376178A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0376178A JPH0376178A JP21140589A JP21140589A JPH0376178A JP H0376178 A JPH0376178 A JP H0376178A JP 21140589 A JP21140589 A JP 21140589A JP 21140589 A JP21140589 A JP 21140589A JP H0376178 A JPH0376178 A JP H0376178A
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- JP
- Japan
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- laser
- laser gas
- gas
- passage
- discharge
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、放電部のガス流路を改良したガスレーザ発振
装置に関する。
装置に関する。
（従来の技術）
従来、ガスレーザ発振装置として、第４図に示すように
構成したものがある。図において、１はガスレーザ本体
で、このガスレーザ本体１は中央部に枠体１ａを配し、
この枠体１ａの周囲に沿ってレーザガスが封入される風
洞１ｂを形成している。そして、この風洞１ｂのガスレ
ーザ本体１の内面と筒体１ａの相対向する位置に一対の
基盤２．２を設け、これら基盤２．２に半球状の放電電
極３．３を空隙４を介して配置している。これら放電電
極３．３は図示しない高電圧電源が接続されている。ま
た、風洞１ｂには、冷却器５およびレーザガス循環用の
送風＄１１６を配設している。
構成したものがある。図において、１はガスレーザ本体
で、このガスレーザ本体１は中央部に枠体１ａを配し、
この枠体１ａの周囲に沿ってレーザガスが封入される風
洞１ｂを形成している。そして、この風洞１ｂのガスレ
ーザ本体１の内面と筒体１ａの相対向する位置に一対の
基盤２．２を設け、これら基盤２．２に半球状の放電電
極３．３を空隙４を介して配置している。これら放電電
極３．３は図示しない高電圧電源が接続されている。ま
た、風洞１ｂには、冷却器５およびレーザガス循環用の
送風＄１１６を配設している。
送風機６には、駆動用モータ７を設けている。
しかして、駆動用モータ７により送風機６が駆動される
と、風洞１ｂのレーザガスが図示矢印方向に循環され放
電電極３．３の間に供給され、これら間の放電により励
起される。そして、励起されたエネルギーがレーザビー
ムとしてレーザガスの循環流路に直行して外部に取り出
されるようになる。一方、レーザ発振されたレーザガス
は、放電により得たエネルギーの大部分を熱として保持
するが、冷却器５での熱交換により冷却され、再び送風
機６に戻され、放電電極３．３側に供給される。
と、風洞１ｂのレーザガスが図示矢印方向に循環され放
電電極３．３の間に供給され、これら間の放電により励
起される。そして、励起されたエネルギーがレーザビー
ムとしてレーザガスの循環流路に直行して外部に取り出
されるようになる。一方、レーザ発振されたレーザガス
は、放電により得たエネルギーの大部分を熱として保持
するが、冷却器５での熱交換により冷却され、再び送風
機６に戻され、放電電極３．３側に供給される。
（発明が解決しようとする課題）
ところが、このような構成によると、レーザガスが供給
される放電電極３．３は、レーザガスの循環流路に突出
して設けられるので、空隙４を流れるレーザガスに対す
る循環抵抗が大きくなる。
される放電電極３．３は、レーザガスの循環流路に突出
して設けられるので、空隙４を流れるレーザガスに対す
る循環抵抗が大きくなる。
このことは、所定のレーザガスを供給するためには送風
機６に大きな送風能力を有するものが必要となり、駆動
モータ７の出力が大きくなり、しいては装置全体の運転
効率が低下することになる。
機６に大きな送風能力を有するものが必要となり、駆動
モータ７の出力が大きくなり、しいては装置全体の運転
効率が低下することになる。
また、放電電極３．３がレーザガスの循−環路に突出し
ていることは、この部分でのレーザガスの流速分布を乱
す原因ともなり、このため放電電極３．３における放電
の安定が悪くなり、レーザビームの安定性が悪化するお
それがあった。
ていることは、この部分でのレーザガスの流速分布を乱
す原因ともなり、このため放電電極３．３における放電
の安定が悪くなり、レーザビームの安定性が悪化するお
それがあった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、放電電極
に供給されるレーザガスの流れをスムーズにでき、運転
効率の向上を図り視るとともに、安定したレーザビーム
を発生できるガスレーザ発振装置を提供することを目的
とする。
に供給されるレーザガスの流れをスムーズにでき、運転
効率の向上を図り視るとともに、安定したレーザビーム
を発生できるガスレーザ発振装置を提供することを目的
とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、レーザガスが封入されるガスレーザ本体内部
にレーザガスを循環させる送風手段と該循環されるレー
ザガスを冷却する冷却手段を設けるとともに、上記レー
ザガスの循環流路に設けられ且つ放電が行われる部分を
残して基盤に埋設された一対の放電電極、該放電電極へ
のレーザガス流入口に設けられたベルマウス形状の縮流
路、上記放電電極からのレーザガス流出口に設けられた
デイフユーザ−形状の拡大流路を有する放電部を設ける
ようにしている。
にレーザガスを循環させる送風手段と該循環されるレー
ザガスを冷却する冷却手段を設けるとともに、上記レー
ザガスの循環流路に設けられ且つ放電が行われる部分を
残して基盤に埋設された一対の放電電極、該放電電極へ
のレーザガス流入口に設けられたベルマウス形状の縮流
路、上記放電電極からのレーザガス流出口に設けられた
デイフユーザ−形状の拡大流路を有する放電部を設ける
ようにしている。
（作用）
本発明によれば、放電部の一対の放電電極がレーザガス
循環流路に突出することがなく、しかもレーザガス流入
口の縮流路およびレーザガス流出口の拡大流路により放
電部に供給されるレーザガスの流れをスムーズにできる
ので、レーザガスが放電部を通過するときの圧力損失を
小さくでき、さらに放電部に流れるレーザガスの流速分
布を均一にすることもできる。
循環流路に突出することがなく、しかもレーザガス流入
口の縮流路およびレーザガス流出口の拡大流路により放
電部に供給されるレーザガスの流れをスムーズにできる
ので、レーザガスが放電部を通過するときの圧力損失を
小さくでき、さらに放電部に流れるレーザガスの流速分
布を均一にすることもできる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を図面にしたがい説明する。
第１図は、同実施例の側断面図であり、第４図と同一部
分には同符号を付して示している。この場合、ガスレー
ザ本体１に設けられる放電部１０は、所定間隔を介して
配置される電極支持板１１．１２を有し、これら支持板
１１．１２の相対向する板面にそれぞれ基盤１３．１４
を設けている。Ｍｆｆｉ１３は、中央部に凹部１３ａを
形成し、この四部１３ａに半球状の放電電極１５を埋設
し、基盤１４も、中央部に四部１４ａを形成し、この凹
部１４ａに半球状の放電電極１６を埋設している。この
場合、基盤１３．１４の表面は、第２図に示すように長
手方向を中央部に向けて傾斜させ、且つ、第３図に示す
ように幅方向を互いに平行になるようにしている。また
、基盤１３．１４の凹部１３ｇ、１４ａ周縁部を中心方
向に延出させ、放電電極１５．１６表面の一部を覆うよ
うにして、これら放？！！電極１５．１６の放電が行わ
れる一部分のみを露出させるようにしている。
分には同符号を付して示している。この場合、ガスレー
ザ本体１に設けられる放電部１０は、所定間隔を介して
配置される電極支持板１１．１２を有し、これら支持板
１１．１２の相対向する板面にそれぞれ基盤１３．１４
を設けている。Ｍｆｆｉ１３は、中央部に凹部１３ａを
形成し、この四部１３ａに半球状の放電電極１５を埋設
し、基盤１４も、中央部に四部１４ａを形成し、この凹
部１４ａに半球状の放電電極１６を埋設している。この
場合、基盤１３．１４の表面は、第２図に示すように長
手方向を中央部に向けて傾斜させ、且つ、第３図に示す
ように幅方向を互いに平行になるようにしている。また
、基盤１３．１４の凹部１３ｇ、１４ａ周縁部を中心方
向に延出させ、放電電極１５．１６表面の一部を覆うよ
うにして、これら放？！！電極１５．１６の放電が行わ
れる一部分のみを露出させるようにしている。
放電部１０のレーザガス流入口１７側には、放電電極１
５．１６の間にスムーズにレーザガスを供給するための
縮流路１８を形成している。この縮流路１８は表面を湾
曲させた２つのブロック１８１．１８２からなるもので
、それぞれのブロック１８１．１８２を上記電極支持板
１１．１２上の基ｆｆ１１３．１４に隣接して配置し、
ベルマウス形状に構成している。また、放電部１０のレ
ーザガス流出口１つ側には、放電電極１５．１６の間に
供給されたレーザガスをスムーズに送り出スための拡大
路２０を形成している。この拡大路２０も表面を湾曲さ
せた２つのブロック２０１．２０２からなるもので、そ
れぞれのブロック２０１．２０２を上記電極支持板１１
．１２上の基盤１３．１４に隣接して配置し、デイフユ
ーザ−形状に構成している。この場合、拡大路２０の傾
斜角度２０ａは８°〜１３°程度に設定されている。
５．１６の間にスムーズにレーザガスを供給するための
縮流路１８を形成している。この縮流路１８は表面を湾
曲させた２つのブロック１８１．１８２からなるもので
、それぞれのブロック１８１．１８２を上記電極支持板
１１．１２上の基ｆｆ１１３．１４に隣接して配置し、
ベルマウス形状に構成している。また、放電部１０のレ
ーザガス流出口１つ側には、放電電極１５．１６の間に
供給されたレーザガスをスムーズに送り出スための拡大
路２０を形成している。この拡大路２０も表面を湾曲さ
せた２つのブロック２０１．２０２からなるもので、そ
れぞれのブロック２０１．２０２を上記電極支持板１１
．１２上の基盤１３．１４に隣接して配置し、デイフユ
ーザ−形状に構成している。この場合、拡大路２０の傾
斜角度２０ａは８°〜１３°程度に設定されている。
そして、このような放電部１０は電極支持板１１をＯリ
ング２１を介してガスレーザ本体１に取り付け、縮流路
１８、放電電極１５．１６、拡大路２０がレーザガス循
環流路に位置するように設定する。
ング２１を介してガスレーザ本体１に取り付け、縮流路
１８、放電電極１５．１６、拡大路２０がレーザガス循
環流路に位置するように設定する。
その他は、第４図と同一であり、ここでの説明を省略す
る。
る。
このように構成したガスレーザ発振装置は、駆動用モー
タ７により送風機６が駆動されると、ガスレーザ本体１
内部のレーザガスは図示矢印方向に循環され、縮流路１
８を通って放電電極１５．１６の間に供給され、これら
間の放電により励起される。そして、励起されたエネル
ギーがレーザビームとしてレーザガスの循環流路に直行
して外部に取り出されるようになる。一方、レーザ発振
されたレーザガスは、拡大路２０を通って冷却器５に送
られ、ここでの熱交換により冷却され、再び送風機６に
戻され、放電電極１５．１６ｍに供給されるようになる
。
タ７により送風機６が駆動されると、ガスレーザ本体１
内部のレーザガスは図示矢印方向に循環され、縮流路１
８を通って放電電極１５．１６の間に供給され、これら
間の放電により励起される。そして、励起されたエネル
ギーがレーザビームとしてレーザガスの循環流路に直行
して外部に取り出されるようになる。一方、レーザ発振
されたレーザガスは、拡大路２０を通って冷却器５に送
られ、ここでの熱交換により冷却され、再び送風機６に
戻され、放電電極１５．１６ｍに供給されるようになる
。
したがって、このようにすれば放電電極１５．１６がレ
ーザガス循環流路に突出することがなく、しかもレーザ
ガス流入口１７の縮流路１８およびレーザガス流出口１
９の拡大流路２０により放電部１０に供給されるレーザ
ガスの流れをスムーズにできるので、レーザガスが放電
部１０を流れるときの圧力損失を低減することができる
とともに、放電部１０に流れるレーザガスの流速分布を
均一にできるようになる。
ーザガス循環流路に突出することがなく、しかもレーザ
ガス流入口１７の縮流路１８およびレーザガス流出口１
９の拡大流路２０により放電部１０に供給されるレーザ
ガスの流れをスムーズにできるので、レーザガスが放電
部１０を流れるときの圧力損失を低減することができる
とともに、放電部１０に流れるレーザガスの流速分布を
均一にできるようになる。
なお、本発明は上記実施例にのみ限定されず、要旨を変
更しない範囲で適宜変形して実施できる。
更しない範囲で適宜変形して実施できる。
例えば、上述の実施例では、縮流路１８および拡大路２
０にブロック状のものを用いたが、薄板状のものを曲げ
て形成するようにしてもよい。
０にブロック状のものを用いたが、薄板状のものを曲げ
て形成するようにしてもよい。
［発明の効果］
本発明によれば、ガスレーザ本体内のレーザガス流路に
設けられる放電部の一対の放電電極を、放電が行われる
一部分を残して基盤に埋設するとともに、放電部のレー
ザガス流入口にベルマウス形状の縮流路を設け、レーザ
ガス流出口にデイフユーザ−形状の拡大流路を設けるよ
うにしたので、放電電極がレーザガス循環流路に突出す
ることがなく、しかもレーザガス流入口の縮流路および
レーザガス流出口の拡大流路により放電部に供給される
レーザガスの流れをスムーズにできるようになる。これ
により、レーザガスが放電部を流れるときの圧力損失を
低減することができ、送風機の出力を小さし、送風機久
遠モータの出力を小さくできることから装置の運転効率
を高めることができる。さらに放電部に流れるレーザガ
スの流速分布を均一にすることもできるので、放電を安
定させることができ、安定したレーザビームを得ること
ができる。
設けられる放電部の一対の放電電極を、放電が行われる
一部分を残して基盤に埋設するとともに、放電部のレー
ザガス流入口にベルマウス形状の縮流路を設け、レーザ
ガス流出口にデイフユーザ−形状の拡大流路を設けるよ
うにしたので、放電電極がレーザガス循環流路に突出す
ることがなく、しかもレーザガス流入口の縮流路および
レーザガス流出口の拡大流路により放電部に供給される
レーザガスの流れをスムーズにできるようになる。これ
により、レーザガスが放電部を流れるときの圧力損失を
低減することができ、送風機の出力を小さし、送風機久
遠モータの出力を小さくできることから装置の運転効率
を高めることができる。さらに放電部に流れるレーザガ
スの流速分布を均一にすることもできるので、放電を安
定させることができ、安定したレーザビームを得ること
ができる。
第１図は本発明の二実施例を示す側断面図、第２図は同
実施例の要部を拡大して示す構成図、第３図は第２図の
Ａ−Ａ線に沿って示す断面図、第４図は従来のガスレー
ザ発振装置の一例を示す側断面図である。 １４１．ガスレーザ本体、５・・・冷却器、６・・・送
風機、７・・・駆動用モータ、１０・・・放電部、１１
，１２．。 電極支持板、１３．１４・・・基盤、１３ａ、 １４
ａ・・・凹部、１５．１６・・・放電電極、１７・・・
レーザガス流入口、１８・・・縮流路、１９・・・レー
ザガス流出口、２０・・・拡大路。
実施例の要部を拡大して示す構成図、第３図は第２図の
Ａ−Ａ線に沿って示す断面図、第４図は従来のガスレー
ザ発振装置の一例を示す側断面図である。 １４１．ガスレーザ本体、５・・・冷却器、６・・・送
風機、７・・・駆動用モータ、１０・・・放電部、１１
，１２．。 電極支持板、１３．１４・・・基盤、１３ａ、 １４
ａ・・・凹部、１５．１６・・・放電電極、１７・・・
レーザガス流入口、１８・・・縮流路、１９・・・レー
ザガス流出口、２０・・・拡大路。
Claims (1)
- レーザガスが封入されるガスレーザ本体と、このガス
レーザ本体内部にレーザガスを循環させる送風手段と、
循環されるレーザガスを冷却する冷却手段と、上記レー
ザガスの循環流路に設けられ且つ放電が行われる部分を
残して基盤に埋設された一対の放電電極、該放電電極へ
のレーザガス流入口に設けられた縮流路、上記放電電極
からのレーザガス流出口に設けられた拡大流路を有する
放電部とを具備したことを特徴とするガスレーザ発振装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21140589A JPH0376178A (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21140589A JPH0376178A (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0376178A true JPH0376178A (ja) | 1991-04-02 |
Family
ID=16605415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21140589A Pending JPH0376178A (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0376178A (ja) |
-
1989
- 1989-08-18 JP JP21140589A patent/JPH0376178A/ja active Pending
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