JPH0382004A - 積層コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、積層コンデンサ及びその製造方法に関し、よ
り特定やには、内部電極と誘電体側面との間のサイドマ
ージン領域の形成工程が改良された積層コンデンサ及び
その製造方法に関する。

〔従来の技術〕

コンデンサの小型・大容量化を果たすために、積層コン
デンサが広く用いられている。積層コンデンサは、例え
ば第２図（ａ）及び（ｂ）に示すように、導電ペースト
よりなる内部電極材１．　２が塗布されたセラ壽ツクグ
リーンシート３．４を用意し、それぞれを交互に複数枚
積層し、得られた積層体を厚み方向に圧着した後に焼成
し、内部電極材１．　２の引出されている焼結体側面に
外部電極を形成することにより得られている。

ところで、セラミックグリーンシート３．４上に形成さ
れている内部電極材１．２は、各セラミックグリーンシ
ート３．４の第１の端縁３ａ、４ａから第２の端縁３ｂ
、４ｂ側に向かって延びるように形成されている。また
、各内部電極材ｌ。

２は、セラミックグリーンシート３．４の側端縁３ｃ、
３ｄ、４ｃ、４ｄとの間に、幅Ｘのサイドマージン領域
５を残すような幅に形成されている。

サイドマージン領域５を設けているのは、内部電極材１
．２の上下に位置するセラミックグリーンシート同士の
密着性を高めると共に、内部電極材１．２が焼結後に焼
結体側面に露出することを防止するためである。従って
、従来より、積層コンデンサにおいては、内部電極材１
．２の側方に幅Ｘのサイドマージン領域５を形成するこ
とが必須不可欠であった。

〔発明が解決しようとする技術的課題〕しかしながら、
サイドマージン領域５の幅Ｘが広い場合には、当然のこ
とながら、内部電極材１゜２の幅が挟まり、大容量化を
妨げることになる。

従って、より小型・大容量化を果たすには、サイドマー
ジン領域５の幅Ｘは狭い方が好ましい。

他方、積層コンデンサの量産に際しては、第３図（ａ）
、（ｂ）に示すように、比較的大きな母セラミックグリ
ーンシート６．７を用意し、その一方主面に複数の母内
部電極材８．９を形成したものを交互に複数枚積層した
後に、−点鎖線Ａ。

Ｂに沿って積層体を切断することにより、個々の積層体
を得、該個々の積層体を焼成することにより個々の積層
コンデンサを製造している。

ところが、複数の母内部電極材８．９が形成された母セ
ラくツクグリーンシート６．７の積層に際しては、幾分
かの積層ずれが生じざるを得す、その結果、切断後に個
々の積層体内において内部電極材が積層体の側面に露出
する恐れがある。内部電極材が積層体の側面に露出する
と、耐圧不良や内部電極材同士の短絡が生じる。

また、露出しないまでも、内部電極材が焼結体の側面近
傍にまで至っている場合、すなわち第２図（ａ）、（ｂ
）のサイドマージン領域５が小さい場合には、上下のセ
ラミック層の密着強度が充分でなく、焼結後に層剥がれ
が生じる原因となる。

さらに、積層ずれが生じた場合には、内部電極材同士の
重なり面積も小さくなり、容量値が設計容量よりも低下
するおそれがあった。

上記の諸理由により、サイドマージン領域５の幅Ｘが狭
い方が好ましいにも関わらず、該幅Ｘを必要以上に大き
くする必要があり、小型化・大容量化の妨げとなってい
た。また、積層ずれによる容量値のばらつきやデラξネ
ーシッンも生じがちであった。

よつア、本発明の目的は、従来の積層コンデンサに比べ
て、より一層小型化・大容量化が可能であり、容量値の
ばらつきが少なく、かつ比較的簡単な工程で製造し得る
安価な積層コンデンサ及びその製造方法を提供すること
にある。

〔技術的課題を解決するための手段〕

本発明は、間に内部電極を介在させて複数の誘電体層が
積層された積層型の誘電体を有し、誘電体層よりも内部
電極の幅が狭くされており、それによって内部電極の側
方にサイドマージン領域が設けられた積層コンデンサに
おいて、上記サイドマージン領域が、誘電体層の幅と同
一幅の内部電極の側端縁が露出している誘電体の側面で
露出している内部電極の側端縁部分をエツチングまたは
物理的に除去することにより形成されていることを特徴
とする。

また、本発明の製造方法は、内部電極が間に介在されて
複数の誘電体層が積層されており、かつ内部電極の幅が
誘電体層と同一幅とされた積層型の誘電体を用意する工
程と、上記内部電極の側端縁が露出している積層型の誘
電体の側面において、内部電極の側端縁部分をエツチン
グまたは物理的に除去することにより内部電極の側方に
サイドマージン領域を形成する工程とを特徴とする。

なお、上記の物理的除去方法としては、内部電極材をス
パッタリングにより飛散させる逆スパツタ法や、内部電
極材を電気泳動法により列部へ移動させる方法がある。

また、本発明の積層コンデンサの製造方法においては、
矩形の厚状電体シートの一方主面に、厚状電体シートの
対向している端縁間に延びるように複数の母内部電極を
形成し、母内部電極の形成された厚状電体シートを積層
し、該積層された母誘電体を積層方向に切断することに
より、上述した積層型の個別誘電体を得てもよい。

〔作用〕

本発明では、サイドマージン領域が積層型の誘電体を得
た後に、エツチングまたは物理的除去により形成される
。従って、サイドマージン領域の暢を正確に形成するこ
とかで合、内部電極の重なり面積を正確に制御すること
ができ、引いては容量ばらつきを低減することができる
。

また、誘電体Ｎｔ同一幅の内部電極を積層しておき、積
層後にエツチングまたは物理的除去によりサイドマージ
ン領域を形成するものであるため、積層ずれ考慮して必
要以」二にサイドマージン領域の幅を拡げる必要がない
、よって、より小型・大容量の積層コンデンサを得るこ
とができる。

しかも、誘電体層の輻と同一幅の内部電極が積層された
積層体を用いるものであるため、積層ずれに対する許容
度が大きいので、積層作業を容易に行うここかで赤、か
つ必要最小限の輻のサイドマージン領域を有する積層コ
ンデンサを得ることができる。

〔実施例の説明〕

第４図〜第１０図を参照して、本発明の一実施例の製造
方法を説明する。本実施例は、誘電体セラミックスを用
いた積層コンデンサの製造方法に適用したものである。

第４図は、本実施例の製造に用いられる誘電体層として
のセラミックグリーンシート及びその上に形成される内
部電極材を説明するための斜視図である。矩形のセラミ
ックグリーンシート１１゜１２の上面に、それぞれ、内
部電極材１３．１４が膜状に形成されている。

セラミックグリーンシート１１．１２は、誘電体セラミ
ックスを主体とするセラミック・スラリーを図示の形状
に成形するこたにより得られる。

内部電極材１３．１４は、ＮｉまたはＣｕのような導電
性材料を主体とする導電ペーストを塗布することにより
構成されている。内部電極材を構成する材料としては、
Ｎｉ及びＣｕの他、ＡｇまたはＡｇ−Ｐｄのような種々
の金属材料を用いることができる。もっとも、後述する
エツチングに際し、適宜のエッチャントにより蝕刻され
得る材料により構成することが必要である。

内部電極材１３は、矩形のセラミックグリーンシート１
１の一方端縁１１ａから反対側の＠縁１１ｂ側に向かっ
て延びるように、かつ端縁１１ｂには至らないように形
成されている。また、内部を極相１３の幅は、セラミッ
クグリーンシート１１の幅と同一とされている。すなわ
ち、セラミックグリーンシート１１の側端縁ｌｉｃ、ｌ
ｉｄ間の全幅に至る輻に、西部電極材１３が形成されて
いる。

内部電極材１４についても、内部電極材１３と同様に構
成されている。但し、セラミックグリーンシート１１．
１２を積層した際に、内部電極材１３、！：内部電極材
１４とが積層体の対向する側面に引出されるように、内
部電極材１４が引出されているセラミックグリーンシー
ト１２の一方端縁１２ａは、セラミックグリーンシート
１１の一方端縁１１ａと反対側に位置されているや第４
図に示したセラミックグリーンシート１１゜１２を、交
互に複数枚積層することにより、第５図に示す積層体１
５を得ることができる。積層体１５では、第１．第２の
セラミックグリーンシー）１１．１２が３枚ずつ、交互
に積層されており、さらに最上部に（必要により最下部
にも）内部電極材の付与されていないセラくツタグリー
ンシー）１６が適宜数積層されている。

ここでは、３枚の一方の内部電極１３ａ＝１３Ｃが積層
体１５の第１の側面１５ａに、他方の内部電極材１４　
ａｘｌ　４　ｃが第２の側面１５ｂに引出されている。

また、各内部電極材１３ａ−１３ｃ、１４ａｘ１４ｃは
、共に、積層体１５の第３゜第４の側面１５ｃ、１５ｄ
にも露出している。

なお、積層体１５を得るに際しては、実際の量産工程で
は、第６図に示す母セラ逅ツクグリーンシートを用いる
ことが好ましい、すなわち、比較的大きな矩形の母セラ
ミックグリーンシート１７上に、所定距離を隔てて一方
端縁１７ａから他方端縁１７ｂに至る厚内部電極材１８
ａ、１８ｂを形成する。同様に、厚状電体シートとして
のセラミックグリーンシート１９上にも厚内部電極材２
０ａ、２０ｂをセラミックグリーンシート１９の一方端
縁１９ａから他方端縁１９ｂに至るように形成する。

そして、セラミックグリーンシート１７．１９を図示の
向きのまま交互に複数枚積層し、−点鎖線Ａ、Ｂに沿う
部分に相当する部分で切断することにより、第５図に示
す積層体１５と同様の構造を多数得ることができる。

このように、母セラξツクグリーンシート１７゜１９を
利用することにより、第５図に示した積層体１５を効率
良く量産することができる。しかも、第５図の積層体１
５では、各内部電極材１３ａ〜１３　ｃ　＋　　１４　
ａ　〜１４　ｃは、第３．第４の側面１５ｃ、１５ｄに
も露出する幅に形成されている。

従って、第６図のセラミックグリーンシート１７゜１９
を積層するに際し、第６図の矢印Ｃ方向に多少ずれが生
じたとしても、得られた積層型の誘電体１５においては
矢印Ｃ方向には内部電極材の重なりずれは生じない、よ
って、母セラ１ツクグリーンシート１７．１９の積層に
際して避けることができない積層ずれが多少生じたとし
ても、電極室なり面積のばらつきが少ない積層体１５を
安定に得ることができる。

さらに、第６図の一点鎖線Ａ、Ｂに相当の部分で切断し
て積層体を得る場合、積層体側面において内部電極材が
垂れるおそれがある。しかし、このような内部電極材の
垂れは、後述のエツチング材により確実に除去される。

また、第２図に示した従来例では、内部電極材ｌを構成
するための導電ペーストを塗布した場合、ペーストの表
面張力により、第７図（ａ）に示すように、内部電極材
ｌの側端縁に隆起部２１ａ。

２１ｂが形成されていた。従って、複数枚のセラミック
グリーンシートを積層した場合、内部電極材の厚みが均
一でないため、焼結後に層剥がれが生じ易い原因の一つ
となっていた。

これに対して、本実施例では、第７図（ｂ）に相当の断
面図で示すように、内部電極材１３は、セラミックグリ
ーンシー）１１の側端縁１１ｃ。

ｌｉｄ間の全幅に至るように形成されるため、内部電極
材１３の厚みが幅方向において一様とされる。従って、
内部電極材の厚みの不均一に起因するデラミネーシヨン
の発生を効果的に防止することができる。

第５図に戻り、積層体１５は、焼成に先立ち、厚み方向
にプレスすることにより各セラミックグリーンシー１間
が密着される。この場合、本実施例の積層体１５では、
内部電極材１３ａ〜１３ｃ。

１４　ａＡｌ　４　Ｃが第３．第４の側面１５ｃ、１５
ａ間の全幅に至るように形成されているので、第５図の
■−■線に沿う第８図（ｂ）の模式的断面図で示すよう
に、第５図のＹ方向において厚みが均一となるように圧
着することができる。

これに対して、第２図に示したセラミックグリーンシー
トを用いた従来例では、サイドマージン領域５が予め形
成されているため、第８図（ａ）に示すように、積層体
１５中のサイドマージン領域が形成されている部分２に
おいて厚みが薄くなり、内部電極材１．２が形成されて
いる部分の積履体の厚みと９イドマージン領域が形成さ
れている側方の部分Ｚとの厚みとの差により、得られる
焼結体の側面においてデラミネーションが生じがちであ
った。

従って、本実施例の積層体では、このような理由による
デラミネーションの発生を効果的に防止できる。

次に、積層方向に圧着された第５図の積層体１５を焼成
し、積層型の誘電体としての焼結体を得る。さらに、第
９図に示すように、得られた焼結体２５の第１．第２の
側面をレジスト材２６ａ。

２６ｂで被覆する。このレジスト材２６ａ、２６ｂは、
後述するエツチングに際して用いるエッチャントにより
侵されない材料により構成されており、−例を挙げると
エポキシ樹脂等の合成樹脂を用いることができる。

焼結体２５内には、前述した内部電極材がセラミックス
の焼成に際して焼付けられることにより、内部電極１３
ａ　〜１３ｅ、１４ａ〜１４ｃが形成されている。なお
、内部電極の参照番号は、前述した内部電極材乙同−の
参照番号を付して説明することにする。

各内部電極１３ａ＝１３ｃ、１４ａ　〜１４ｃは、レジ
スト材２６ａ、２６ｂで被覆された部分を除いて、すな
わち焼結体２５の第３．第４の側面２５ｅ、２５ｄに露
出されている。

次に、上記焼結体２５の第３．第４の側面２５Ｃ，２５
ｄを、内部電極１３ａ〜１３ｃ、１４ａ〜１４ｃを樋底
している材料を蝕刻し得るエッチャントによりエツチン
グする。エッチャントとしては、例えば硝酸のような強
酸を用いることができるが、内部電極材料として、Ｃｕ
及びＮｉ以外の金層材料を用いた場合には、そのような
金属材料をエツチングし得る適宜のエッチャントが用い
られる。

エツチング後の状態を第１Ｏ図に平面断面図で示す。第
１Ｏ図から明らかなように、焼結体２５内においては、
内部電極１３ａが焼結体２５の第１の側面２５ａに引出
されている端縁３１と隣接している二辺３２．３３が、
サイドマージン領域３４．３５を第３゜第４の側面２５
ｃ、２５ｄとの間に形成するように、第３．第４の側面
２５Ｃ９２５ｄから内側に後退されている。これは・エ
ツチングにより、内部電極１３ａの両側端縁部分が蝕刻
され、それによってサイドマージン領域３４゜３５が形
成されていることを意味する。

他の内部電極１３ｂ、１３ｃ、１４ａ−１４ｃ部分にお
いても同様にサイドマージン領域が形成されている。

また、第１１図から明らかなように、サイドマージン領
域が形成されている部分には、エツチングにより空辣３
４ａ、３５ａが形成されているやエツチング後、焼結体
２５を水等により洗浄し、エッチャントを除去する。し
かし、水洗いだけでは、残留エッチャント、特に空隙３
４ａ、３５ａ内に残留しているエッチャントを完全に除
去することは難しい場合がある。そこで、本実施例では
、次に焼結体２５を加熱雰囲気下に置き、残留エッチャ
ントを飛散させて除去する。

なお、上記加熱は、後述の外部電極を焼付＆Ｊる工程で
与えられる熱を利用してもよい、その場合には、残留エ
ッチャントの除去と外部電極の焼付けを同一工程で行い
得る。

また、残留エッチャントの除去は、残留エッチャントに
よる内部電極の腐蝕を防止するためである。従って、エ
ツチング作用を奪うことさえ可能であれば、加熱以外の
方法を用いても良い０例えば、強酸のエッチャントであ
れば、アルカリ溶液に浸漬して残留エッチャントを中和
してもよい。

上記残留エッチャントの除去に続いて、レジスト材２６
ａ、２６ｂを除去する。レジスト材２６ａ、２６ｂの除
去は、機械的研磨または薬剤を用いた方法等により行い
得る。

本実施例では、サイドマージン領域３４．３５が、エツ
チングにより形成されるので、焼結体２５の第３．第４
の側面２５ｃ、２５ｄから内側に正確な幅のサイドマー
ジン領域を形成することができる。しかも、セラ逅ツク
グリーンシートと内部電極材上を積層し、積層体を得た
後に、このサイドマージン領域３４．３５が形成される
ものであるため、積層ずれ等を考慮して余分な幅のサイ
ドマージン領域を形成する必要がない、すなわち、従来
例に比べて、より狭い幅にサイドマージン領域３４．３
５を形成することができる。従って、小型・大容量の積
層コンデンサを実現し得ることがわかる。

さらに、エツチングにより側面に露出した内部電極部分
を除去するものであるため、積層体１５の側面で内部電
極材が露出している部分から垂れていたとしても、この
ような垂れは確実に除去される。

最後に、レジスト材２６ａ、２６ｂが除去された面に例
えばＡｇを主体とする導電ペーストを塗布し、焼付ける
ことにより、第１図及び第１２図に示すように、一対の
外部電極３６．３７を形成する。外部電極３６は、内部
電極１３ａ〜１３ｃに、外部電極３７は内部型１１４ａ
ｘ１４ｃに電気的に接続される。

好ましくは、外部電極３６．３７を形成した後に、焼結
体２５の第３．第４の側面２５ｃ、２５ｄに酸化処理を
施してもよい、酸化処理は、例えば第１２図の積層コン
デンサを酸化雰囲気中において所定の時間加熱処理を行
うことにより達成される０本実施例では、焼結体２５の
第３．第４の側面２５ｃ、２５ｄにおいて、比較的狭い
幅のサイドマージン領域３４．３５を経て内部電極１３
ａ〜１３ｃ、１４ａｘ１４ｃの側端縁が配置されている
ため、またエツチングによりサイドマージン領域が形成
されているものであるため、内部電極の側端縁が酸化雰
囲気により酸化されやすく、それによって内部電極側端
縁に酸化被膜が形成される。そして、この酸化被膜の形
成により、内部電極とセラミックスとの密着強度が効果
的に高められる。これは、酸化される際に、誘電体セラ
ミックスと内部電極との間に化学結合を生じるからであ
る。

よって、上記のような酸化処理を行うことにより、内部
電極１３ａ−１３ｃ、１４ａ−１４ｃと誘電体セラミッ
クスとの密着性をより一層高め得ることが可能となる。

なお、上記酸化処理は、エツチングによりサイドマージ
ン領域３４．３５を形成した後であれば何れの段階にお
いて行ってもよい、すなわち、外部電極３６．３７の形
成に先立って酸化処理を行ってもよい。

また、好ましくは、第１１図の空隙３４ａ、３５ａに、
第１３図に示すように、エポキシ樹脂等の合成樹脂３９
を加圧注入することにより、焼結体２５の側面２５ｃ、
２５ｄをシールすることができる。なお、シール材とし
ては、合成樹脂の他、ゴム等の任意の材料を用い得る。

上記シール処理についても、外部電極の形成後に行って
もよく、あるいは外部電極の形成に先立って行ってもよ
い。

さらに、上述した実施例では、エツチングを施した後に
、一対の外部電極３６．３７を形成したが、外部電極の
形成はエツチングに先立って行ってもよい。

上記実施例では、内部電極１３ａ〜１３ｃ、１４ａ〜１
４ｃが安価なＮｉまたはＣｕを用いて構威されているの
で、電極コストを低減することができる。また、積層ず
れ等を余り気にせずに母セラミックグリーンシートを積
層することができるので、製造工程が簡略化され、積層
コンデンサの量産コストを効果的に低減することができ
る。

なお、好ましくは、外部電極３６．３７が形成される焼
結体側面に、Ｎｉを主体とする導電ペーストをコーティ
ングし、しかる後外部電極３６゜３７を形成するように
すれば、内部電極と外部電極との電気的接続の信頼性を
高めることができる。

また、Ｎ１に代えて、他の導電性材料層を焼結体２５の
第１．第２の側面２５ａ、２５ｂに塗布しておいてもよ
く、その場合、エッチャントにより蝕刻されない材料を
用いれば、上蓮したレジスト材２６ａ、２６ｂの機能を
も持たせることができる。すなわち、外部電極形成用の
下地電極でレジスト材２６ａ、２６ｂを構威し得る。こ
の場合には、レジスト材の除去は必要でない。

上述した実施例では、硝酸等の化学的薬剤をエッチャン
トとして用いて内部電極の側端縁をエッチングしたが、
実際のエツチングは、エッチャントに焼結体を浸漬する
ことにより、あるいは回転バレル内にエッチャントを貯
留しておき、該バレル内に焼結体を投入しバレルを回転
させることにより行い得る。

また、第１４図に断面図で示すように、エラチャン）４
１が貯留されている槽４２に、焼結体２５の第３または
第４の側面２５ｃ、２５ｄのみを浸すようにしてエンチ
ングを施してもよい。この場合には、第３．第４の側面
２５ｃ、２５ｄを順にエッチャントに浸すようにするこ
とにより、焼結体の他の外表面部分へのエッチャントの
付着を防止しつつ、エツチングを行い得る。従って、上
述したようなレジスト材２６ａ、２６ｂの使用を省略す
ることができる。

上述してきた実施例では、誘電体シートとして、セラミ
ックグリーンシートを用いたが、本発明は、セラミンク
グリーンシートを複数枚積層して内部電極材と共に一体
焼成してなる積層セラミックコンデンサに限定されるも
のではない。すなわち、誘電体シートとしては、誘電体
樹脂フィルムを用いることもでき、いわゆる積層型フィ
ルムコンデンサにも本発明を適用することができる。

さらに、長尺状のセラ壽ツクグリーンシートや樹脂フィ
ルムをその主面上に形成された内部電極と共に巻回して
なる巻回型コンデンサにも本発明を適用することができ
、従って、この種の巻回型コンデンサも本発明にいう積
層コンデンサに含まれるものであるここを指摘しておく
。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明の製造方法では、内部電極側方の
サイドマージン領域が、内部電極の引出されている端縁
に隣接する内部電極の２辺をエンチングまたは物理的に
除去することにより形成される。すなわち、積層後にエ
ツチングまたは物理的除去によりサイドマージン領域が
形成されるものであるため、積層ずれ等を考慮すること
なく必要最小限の幅のサイドマージン領域を正確に形成
することができる。よって、小型・大容量であり、かつ
容量値のばらつ赤の少ない積層コンデンサを得ることが
できる。

また、積層後にエツチングまたは物理的除去によりサイ
ドマージン領域を形成するものであるため、上記のよう
な小型・大容量の積層コンデンサを得ることができるだ
けでなく、誘電体シートの積層に際しても位置決め許容
範囲が広がるため、積層作業を比較的簡単に行うことが
できる。さらに、内部電極形成用電極パターンを誘電体
層と同一幅に形成するものであるため、電極パターンの
種類を少なくすることができる。よって、作業工程の簡
略化により、積層コンデンサのコストを低減することが
可能となる。

また、好ましくは、厚状電体シートに母内部電極材を形
成したものを積層し、切断することにより個別の積層型
誘電体を形成すれば、上記した積層コンデンサを効率良
く量産することができる。

さらに誘電体としてセラミックを用い、エツチング等の
処理前に焼結するものの場合には、側面に露出している
内部電極が誘電体内部の焼結を促進する媒体となり、焼
結が短時間で良好に行い得

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の積層コンデンサの平面断面
図、第２図（ａ）及び（ｂ）は従来の積層コンデンサを
製造するのに用いられるセラミックグリーンシート及び
その上に形成される内部電極材形状を示す各平面図、第
３図（ａ）及び（ｂ）は従来の積層コンデンサの量産に
際して用いられる母セラ逅ツクグリーンシート及びその
上に形成される母内部電極材の形状を説明するための各
平面図、第４図は本発明の一実施例の製造に用いられる
誘電体シートとしてのセラ６７クグリーンシート及びモ
の上に形成される内部電極材の形状を説明するための斜
視図、第５図は積層体を示す斜視図、第６図は母セラ攬
ツクグリーンシートを積層する工程を説明するための斜
視図、第７図（ａ）及び（ｂ）は、従来例及び実施例に
おける内部電極材の側端縁の形状を説明するための各断
面図であり、第８図（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、従
来例及び実施例における積層体の圧着後の形状を説明す
るための略図的断面図であり、第８図（ｂ）は第５図の
■−■線に沿う部分の断面図、第９図は焼結体の側面に
レジスト材を付与した状態を示す斜視図、第１Ｏ図はエ
ツチング後の内部電極形状を説明するための平面断面図
、第１１図はエツチングにより生じた空隙を示す略図的
拡大断面図、第１２図は本発明の一実施例の積層コンデ
ンサの斜視図、第１３図はシール材を空隙に充填した状
態の断面図、第１４図はエツチングの一例を説明するた
めの断面図である。 図において、１１．１２母誘電体層としてのセラミック
グリーンシート、ｌｌａ、ｌｌｂ、１２ａ、１２ｂは端
縁、ｌｌｃ、ｌｉｄ、１２ｃ、１２ｄは側端縁、１３．
１３ａ〜１３ｃ、１４．１４ａ〜１４ｃは内部電極材、
１７．１９は母セラミックグリーンシート、１８ａ、１
８ｂ、２０ａ。 ２０ｂは厚内部電極材、２５は焼結体、２５ａ。 ２５ｂは第１．第２の側面、２５ｃ、２５ｄは第３、第
４の側面、２６ａ、２６ｂはレジスト材、３４．３５は
サイドマージン領域、３４ａ、３５ａは空隙、 ３６゜ ３７は外部電極を示す。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）間に内部電極を介在させて複数の誘電体層が積層
   された積層型の誘電体を有し、前記誘電体層よりも内部
   電極の幅が狭くされており、それによって内部電極の側
   方にサイドマージン領域が設けられた積層コンデンサに
   おいて、 前記サイドマージン領域が、前記誘電体層の幅と同一幅
   の内部電極の側端縁が露出している積層型の誘電体の側
   面において、露出している内部電極の側端縁部分をエッ
   チングまたは物理的に除去することにより形成されてい
   ることを特徴とする、積層コンデンサ。
2. （２）間に内部電極を介在させて複数の誘電体層が積層
   されており、前記誘電体層よりも内部電極の幅が狭くさ
   れており、それによって内部電極の側方にサイドマージ
   ン領域が設けられた積層コンデンサの製造方法であって
   、 内部電極が間に介在されて複数の誘電体層が積層されて
   おり、かつ内部電極の幅が誘電体層の幅と同一にされて
   いる積層型の誘電体を得る工程と、前記内部電極の側端
   縁が露出している積層型の誘電体の側面において、露出
   している内部電極の側端縁部分をエッチングまたは物理
   的に除去することにより、内部電極の側方にサイドマー
   ジン領域を形成する工程とを備えることを特徴とする、
   積層コンデンサの製造方法。
3. （３）矩形の母誘電体シートの一方主面に、該母誘電体
   シートの対向している端縁間に延びるように複数の母内
   部電極材を所定距離を隔てて平衡に形成する工程と、 前記母内部電極材が形成された母誘電体シートを積層し
   、積層型の母誘電体を得る工程と、前記積層型の母誘電
   体を積層方向に切断することにより、請求項２に記載の
   積層型の誘電体を得る工程を備えることを特徴とする、
   積層コンデンサの製造方法。